Rekuperačný termický oxidátor pre polovodičový priemysel

Úvod

Výroba polovodičov zahŕňa používanie rôznych chemikálií a rozpúšťadiel, ktoré do atmosféry uvoľňujú škodlivé plyny. Tieto plyny prispievajú k znečisteniu ovzdušia, čo predstavuje významný environmentálny problém. Na zmiernenie tohto problému sa v polovodičovom priemysle čoraz viac používajú rekuperatívne termické oxidátory. Rekuperatívne termické oxidátory sú zariadenia na reguláciu znečistenia, ktoré ničia škodlivé plyny a pachy uvoľňované počas výrobného procesu ich premenou na neškodné látky.

Ako sa Rekuperačný tepelný oxidátor práca?

Rekuperačný termický oxidátor funguje na princípe vysokých teplôt, ktoré premieňajú škodlivé plyny na neškodné látky. Proces zahŕňa ohrev znečisteného vzduchu na teplotu približne 760 °C a jeho zmiešanie s dostatočným množstvom kyslíka. Zmes potom prechádza cez výmenník tepla, ktorý spätne získava teplo vytvorené počas procesu. Toto teplo sa potom používa na predhriatie privádzaného znečisteného vzduchu, čím sa znižuje množstvo energie potrebnej na dosiahnutie požadovanej teploty. Keď plyny prúdia spaľovacou komorou, oxidujú sa a premieňajú na oxid uhličitý, vodnú paru a teplo. Vyčistený vzduch sa uvoľňuje do atmosféry, zatiaľ čo vytvorené teplo sa môže spätne získať a použiť na predhriatie privádzaného vzduchu, čím sa znižuje spotreba energie.

Výhody použitia rekuperatívnych termických oxidátorov v polovodičovom priemysle

Použitie rekuperatívnych termických oxidátorov pri výrobe polovodičov prináša niekoľko výhod vrátane:

• Znížené znečistenie ovzdušia: Rekuperatívne termické oxidátory znižujú množstvo škodlivých plynov vypúšťaných do životného prostredia, a tým znižujú znečistenie ovzdušia.
• Súlad s predpismi: Používanie rekuperatívnych termických oxidátorov pomáha dodržiavať environmentálne predpisy a predchádzať sankciám, ktoré môžu vzniknúť v dôsledku ich nedodržiavania.
• Energetická účinnosť: Rekuperačné termické oxidátory sú energeticky účinné a teplo generované počas procesu je možné spätne získať späť a použiť na predhriatie privádzaného vzduchu, čím sa znižuje spotreba energie.
• Úspora nákladov: Rekuperácia tepla generovaného počas procesu môže viesť k významným úsporám nákladov na energiu, vďaka čomu sú rekuperatívne termické oxidátory nákladovo efektívnym riešením.
• Zlepšená bezpečnosť na pracovisku: Používanie rekuperačných tepelných oxidátorov zlepšuje bezpečnosť na pracovisku elimináciou škodlivých plynov, ktoré môžu byť nebezpečné pri vdýchnutí pracovníkmi.

Typy rekuperatívnych termických oxidátorov

Existujú dva hlavné typy rekuperačných termických oxidátorov: priamy rekuperačný termický oxidátor a nepriamy rekuperačný termický oxidátor.

Priamy rekuperatívny termický oxidátor

Priame rekuperačné termické oxidátory sa používajú, keď je koncentrácia prchavých organických zlúčenín (VOC) relatívne vysoká. Proces zahŕňa spaľovanie plynov priamo v spaľovacej komore a vytvorené teplo sa používa na predhriatie privádzaného vzduchu.

Nepriamo spaľovaný rekuperatívny termický oxidátor

Nepriamo spaľované rekuperačné termické oxidátory sa používajú, keď je koncentrácia prchavých organických zlúčenín nízka. Proces zahŕňa nepriame ohrievanie plynov ich prechodom cez výmenník tepla. Vygenerované teplo sa potom používa na predhriatie privádzaného vzduchu.

Záver

Rekuperačné termické oxidátory sú účinným riešením na zníženie emisií škodlivých plynov v polovodičovom priemysle. Medzi výhody používania týchto zariadení patrí zníženie znečistenia ovzdušia, súlad s predpismi, energetická účinnosť, úspora nákladov a zvýšená bezpečnosť na pracovisku. Dva hlavné typy rekuperačných termických oxidátorov sú priame a nepriame, pričom každý má svoje špecifické použitie. Používanie rekuperačných termických oxidátorov vo výrobe polovodičov nielen pomáha chrániť životné prostredie, ale tiež zabezpečuje súlad s vládnymi predpismi a podporuje bezpečnosť na pracovisku.

Predstavenie spoločnosti

Sme high-tech výrobný podnik špecializujúci sa na komplexnú úpravu výfukových plynov z prchavých organických zlúčenín (VOC) a redukciu uhlíka a technológie na úsporu energie. Medzi naše hlavné technológie patrí tepelná energia, spaľovanie, tesnenie a automatické riadenie. Máme schopnosti v oblasti simulácie teplotného poľa, simulácie prúdenia vzduchu, výkonu keramických materiálov na akumuláciu tepla, výberu materiálov na adsorpciu molekulárnych sít a experimentálneho testovania vysokoteplotného spaľovania a oxidácie VOC.

Výhody tímu

V meste Xi'an sme zriadili výskumné a vývojové centrum pre technológie RTO a technologické centrum pre redukciu emisií uhlíka z výfukových plynov, ako aj výrobnú základňu s rozlohou 30 000 metrov štvorcových v meste Yangling. Sme popredným výrobcom zariadení RTO a zariadení s kolesami molekulových sít z hľadiska objemu výroby a predaja na celom svete. Náš hlavný technický tím pochádza z Výskumného ústavu pre raketové motory na kvapalné palivá. V súčasnosti máme viac ako 360 zamestnancov vrátane viac ako 60 technologických chrbtic pre výskum a vývoj, vrátane 3 vedúcich inžinierov s kvalifikáciou na výskumnej úrovni, 6 vedúcich inžinierov a 55 doktorandov z termodynamiky.

Hlavné produkty

Medzi naše hlavné produkty patrí rotačný ventilový termálny oxidátor (RTO) a adsorpčné koncentračné koleso s molekulovým sitom. V kombinácii s našimi odbornými znalosťami v oblasti ochrany životného prostredia a inžinierstva tepelnoenergetických systémov vieme zákazníkom poskytnúť komplexné riešenia pre priemyselné čistenie výfukových plynov, redukciu uhlíka a využitie tepelnej energie za rôznych prevádzkových podmienok.

Certifikáty, patenty a vyznamenania

• Certifikácia systému správy duševného vlastníctva
• Certifikácia systému manažérstva kvality
• Certifikácia systému environmentálneho manažérstva
• Kvalifikácia stavebného podniku
• High-tech Enterprise
• Patent na rotačný ventilový termálny oxidátor
• Patent na zariadenie na spaľovanie rotačného tepla
• Patent na diskové molekulárne sito

Výber správneho vybavenia RTO

• Určenie charakteristík výfukových plynov
• Pochopte miestne predpisy a emisné normy
• Vyhodnoťte energetickú účinnosť
• Zvážte prevádzku a údržbu
• Analýza rozpočtu a nákladov
• Vyberte vhodný typ RTO
• Zvážte environmentálne a bezpečnostné faktory
• Testovanie a overovanie výkonu

Vysvetlenie:

Proces služby

• Konzultácia a hodnotenie
• Návrh a vývoj riešení
• Výroba a spracovanie
• Inštalácia a uvedenie do prevádzky
• Popredajná podpora

Vysvetlenie:

Sme poskytovateľom komplexných riešení s profesionálnym tímom, ktorý sa venuje prispôsobovaniu RTO riešení pre našich zákazníkov.

O autorovi

Autor: Miya