Oksidator Termal RTO untuk Industri Semikonduktor

Regenerative Thermal Oxidizer (RTO) adalah teknologi canggih yang banyak digunakan dalam industri semikonduktor untuk mengolah senyawa organik volatil (VOC) dan polutan udara berbahaya (HAP). Sistem yang sangat efisien ini memastikan kepatuhan terhadap peraturan lingkungan dan mendorong praktik berkelanjutan dalam manufaktur semikonduktor.

Manfaat Oksidator Termal RTO

• Efisiensi Penghancuran VOC Tinggi

Oksidator termal RTO dirancang untuk mencapai efisiensi penghancuran VOC yang tinggi, biasanya di atas 99%. Hal ini memastikan penghapusan emisi berbahaya yang dilepaskan selama proses manufaktur semikonduktor secara efektif.

• Efisiensi Energi dan Penghematan Biaya

Desain regeneratif dari Pengoksidasi termal RTO
s memungkinkan pemulihan energi panas yang dihasilkan selama pembakaran VOC. Energi yang dipulihkan ini kemudian digunakan untuk memanaskan aliran gas proses yang masuk, menghasilkan penghematan energi yang signifikan dan biaya operasional yang lebih rendah.

• Persyaratan Perawatan Rendah

Oksidator termal RTO memiliki desain yang sederhana dan kokoh, sehingga mudah dioperasikan dan dirawat. Ketiadaan komponen yang rumit mengurangi kebutuhan perawatan rutin, meminimalkan waktu henti, dan memaksimalkan efisiensi produksi.

• Kepatuhan Lingkungan

Oksidator termal RTO berperan penting dalam membantu produsen semikonduktor memenuhi peraturan lingkungan yang ketat. Dengan menghancurkan VOC dan HAP secara efektif, sistem ini mencegah pelepasannya ke atmosfer, sehingga mengurangi dampak lingkungan dari manufaktur semikonduktor.

Operasi Oksidator Termal RTO

Pengoperasian oksidator termal RTO melibatkan beberapa langkah utama:

1. Adsorpsi

Gas proses yang mengandung VOC diarahkan ke regenerator pertama, tempat media keramik dengan luas permukaan tinggi menyerap VOC.

2. Pemanasan awal

Gas proses bersih dipanaskan terlebih dahulu saat melewati regenerator, memanfaatkan panas yang tersimpan dari siklus sebelumnya.

3. Pembakaran

Gas yang telah dipanaskan sebelumnya memasuki ruang bakar, di mana ia mencapai suhu yang dibutuhkan untuk pembakaran. VOC dioksidasi menjadi karbon dioksida dan uap air.

4. Pemulihan Panas

Gas panas dan bersih yang meninggalkan ruang pembakaran melewati regenerator kedua, mentransfer panasnya ke media keramik.

5. Pendinginan dan Pelepasan

Gas yang diolah didinginkan sebelum dibuang ke atmosfer, sementara media keramik dalam regenerator pertama dibersihkan dari VOC yang diserap oleh aliran udara bersih.

Secara keseluruhan, pengoperasian oksidator termal RTO memastikan penghancuran VOC yang efisien sambil meminimalkan konsumsi energi dan menjaga kepatuhan lingkungan.

Pengenalan Perusahaan

Kami adalah perusahaan manufaktur peralatan berteknologi tinggi yang berspesialisasi dalam manajemen komprehensif emisi senyawa organik volatil (VOC), pengurangan emisi karbon, dan teknologi hemat energi di industri semikonduktor. Teknologi inti kami meliputi energi termal, pembakaran, penyegelan, dan kontrol otomatis, dengan kemampuan untuk mensimulasikan medan suhu dan aliran udara, perhitungan model, memilih material penyimpan panas keramik, material adsorpsi saringan molekuler, serta melakukan eksperimen pembakaran dan oksidasi VOC pada suhu tinggi.

Kami memiliki pusat Litbang teknologi RTO dan pusat teknologi rekayasa pengurangan karbon gas buang di Xi'an, serta basis produksi seluas 30.000©O di Yangling. Kami adalah produsen peralatan RTO dan peralatan rotary saringan molekuler terkemuka di dunia dalam hal output dan volume penjualan. Tim teknologi inti kami berasal dari Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace 6th Institute). Kami memiliki lebih dari 360 karyawan, termasuk lebih dari 60 tulang punggung teknis Litbang, 3 peneliti, 6 insinyur senior, dan 197 doktor termodinamika.

Produk inti kami adalah perangkat putar adsorpsi dan konsentrasi RTO serta saringan molekuler. Dikombinasikan dengan keahlian kami sendiri dalam teknologi rekayasa sistem energi termal dan perlindungan lingkungan, kami dapat menyediakan solusi komprehensif bagi pelanggan untuk pengolahan gas buang industri, pemanfaatan energi termal, pengurangan emisi karbon, dan banyak lagi.

Sertifikasi, Paten, dan Penghargaan

Perusahaan kami telah memperoleh sertifikasi dan kualifikasi berikut:

• Sertifikasi Sistem Manajemen Kekayaan Intelektual
• Sertifikasi Sistem Manajemen Mutu
• Sertifikasi Sistem Manajemen Lingkungan
• Kualifikasi Perusahaan Industri Konstruksi
• Sertifikasi Perusahaan Teknologi Tinggi
• Paten untuk katup RTO untuk tungku oksidasi penyimpanan panas putar, peralatan insinerasi penyimpanan panas putar, dan peralatan putar saringan molekuler berbentuk cakram, dll.

Gambar:

Cara Memilih Peralatan RTO yang Tepat

Memilih peralatan RTO yang tepat memerlukan langkah-langkah berikut:

1. Menentukan karakteristik gas buang
2. Memahami peraturan setempat dan standar emisi
3. Mengevaluasi efisiensi energi
4. Pertimbangkan operasi dan pemeliharaan
5. Analisis anggaran dan biaya
6. Pilih jenis RTO yang sesuai
7. Pertimbangkan faktor lingkungan dan keselamatan
8. Pengujian dan verifikasi kinerja

Penjelasan:

Proses Layanan Kami

Proses layanan kami mencakup langkah-langkah berikut:

1. Konsultasi dan evaluasi: konsultasi awal, inspeksi di tempat, analisis kebutuhan
2. Desain dan rencana: desain program, simulasi dan pemodelan, tinjauan program
3. Produksi dan manufaktur: produksi khusus, kontrol kualitas, pengujian pabrik
4. Instalasi dan komisioning: instalasi di tempat, komisioning dan operasi, layanan pelatihan
5. Dukungan purna jual: perawatan rutin, dukungan teknis, pasokan suku cadang

Penjelasan:

Kami adalah penyedia solusi terpadu dengan tim profesional yang menyesuaikan solusi RTO dengan kebutuhan pelanggan.

Penulis: Miya