RTO 가스 처리 반도체 산업

소개

RTO(Regenerative Thermal Oxidation)는 반도체 제조 공장의 효과적인 대기 오염 방지 방법입니다. 이 기술은 고온을 이용하여 반도체 제조 공정에서 배출되는 배기가스에 포함된 유해 화합물을 분해합니다. 반도체 산업이 빠르게 성장함에 따라, 대기질 기준을 유지하고 반도체 제조의 환경적 영향을 최소화하기 위한 효과적인 대기 오염 방지 조치를 마련하는 것이 필수적입니다.

RTO 가스 처리란 무엇인가요?

• RTO 가스 처리란 제조 공정에서 발생하는 배기가스에 포함된 유해 화합물을 고온을 이용해 분해하는 공정입니다.
• 이 공정은 오염 수준을 낮추는 데 매우 효과적이며 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.
• RTO 시스템은 연소실, 세라믹 열교환기, 제어 시스템으로 구성됩니다.
• 이 시스템은 연소실로 들어가기 전에 유입 가스 흐름을 예열하여 약 1500¡ãF의 온도로 가열하는 방식으로 작동합니다.
• 그런 다음 뜨거운 가스는 세라믹 열교환기를 통과하면서 유입되는 가스 흐름에 열을 전달합니다.
• 배출되는 가스 흐름은 대기 중으로 방출되기 전에 약 100°F의 온도로 냉각됩니다.

RTO 가스 처리 과정은 어떻게 진행되나요?

• RTO 시스템제조 공정에서 배출되는 가스에 포함된 유해 화합물을 분해하기 위해 고온과 체류 시간을 조합하여 사용하는 기술입니다.
• 이 과정은 유입되는 가스 흐름을 약 800¡ãF의 온도로 예열하는 것으로 시작됩니다.
• 예열된 가스는 연소실로 들어가 약 1500¡ãF의 온도로 가열됩니다.
• 고온으로 인해 가스 흐름 속의 유해 화합물이 물과 이산화탄소와 같은 덜 유해한 화합물로 분해됩니다.
• 생성된 가스 흐름은 세라믹 열교환기를 통해 보내지고, 여기서 열이 유입 가스 흐름으로 전달됩니다.
• 배출되는 가스 흐름은 대기 중으로 방출되기 전에 약 100°F의 온도로 냉각됩니다.

RTO 가스 처리의 이점

• RTO 가스 처리 기술은 반도체 산업에서 오염 수준을 낮추고 대기 질 기준을 유지하는 데 매우 효과적입니다.
• 이는 반도체 제조 공장의 대기 오염을 제어하는 ​​비용 효율적인 솔루션입니다.
• RTO 시스템은 작동하기 쉽고 최소한의 유지관리만 필요합니다.
• 또한, 배출되는 가스 흐름에서 회수된 열을 유입되는 가스 흐름을 예열하는 데 사용할 수 있으므로 에너지 효율성도 높습니다.
• RTO 시스템은 반도체 제조 공장의 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의가 가능합니다.

반도체 산업에서의 RTO 가스 처리 응용

• RTO 가스 처리 기술은 반도체 산업에서 대기 오염 배출을 제어하는 ​​데 일반적으로 사용됩니다.
• 마이크로칩, 집적 회로, 메모리 장치 등 다양한 반도체 제품의 제조에 사용됩니다.
• RTO 시스템은 반도체 제조 과정에서 에칭, 리소그래피, 증착 공정에도 사용됩니다.

반도체 산업에서 RTO 가스 처리의 미래

• 반도체 산업이 지속적으로 성장함에 따라 미래에는 RTO 가스 처리가 반도체 산업에서 더욱 인기를 끌 것으로 예상됩니다.
• 반도체 제조 공장의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 더욱 새롭고 효율적인 RTO 시스템이 개발되고 있습니다.
• 환경 규제가 더욱 엄격해짐에 따라 RTO 가스 처리 기술의 사용도 증가할 것으로 예상됩니다.

결론

RTO 가스 처리는 반도체 제조 공장의 대기 오염을 효과적으로 제어하는 ​​방법입니다. 반도체 산업이 빠르게 성장함에 따라, 대기질 기준을 유지하고 반도체 제조 과정에서 발생하는 환경적 영향을 최소화하기 위해 효과적인 대기 오염 제어 조치를 마련하는 것이 필수적입니다. RTO 시스템은 매우 효과적이고, 비용 효율적이며, 에너지 효율적일 뿐만 아니라 운영 및 유지 보수가 용이합니다. RTO 시스템은 반도체 산업에서 대기 오염 배출을 제어하는 ​​데 널리 사용되고 있으며, 앞으로 더욱 널리 사용될 것으로 예상됩니다.

당사는 휘발성 유기 화합물(VOC) 폐가스 종합 처리 및 고급 장비 제조를 위한 탄소 저감 및 에너지 절감 기술을 전문으로 하는 첨단 기술 기업입니다. 핵심 기술팀은 항공우주 액체 로켓 엔진 연구소(항공우주 제6연구소) 출신으로, 연구원급 선임 엔지니어 3명과 선임 엔지니어 16명을 포함하여 60명 이상의 R&D 기술자를 보유하고 있습니다. 당사는 열에너지, 연소, 밀봉, 자동 제어의 4가지 핵심 기술을 보유하고 있으며, 온도장 및 공기 유동장 시뮬레이션 모델링 및 계산 능력을 보유하고 있습니다. 또한 세라믹 축열재 성능 시험, 분자체 흡착재 선정, VOC 유기물의 고온 소각 및 산화 특성 실험 시험을 수행할 수 있는 역량을 보유하고 있습니다. 당사는 고대 도시 시안(西安)에 RTO 기술 연구개발 센터와 배기가스 탄소 저감 엔지니어링 기술 센터를, 양링(楊陵)에 3만m² 규모의 생산 기지를 건설했습니다. RTO 장비의 생산량과 판매량은 세계 최고 수준입니다.

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5. 가스 유체 밀봉 기술 테스트 벤치

가스 유체 밀봉 기술 테스트 벤치는 폐가스 처리 장비의 밀봉 성능을 연구하고 개선하는 데 전념합니다. 이를 통해 누출을 최소화하고 운영 안전을 보장하는 첨단 밀봉 솔루션을 개발할 수 있습니다.

저희는 연구 개발 노력에서 놀라운 성과를 거두어 수많은 특허와 명예를 획득했습니다. 저희는 총 68건의 특허를 출원했으며, 이 중 21건은 발명 특허이고, 4건은 저희 기술의 핵심 구성 요소를 포함합니다. 이 중 4건은 발명 특허, 41건은 실용신안 특허, 6건은 디자인 특허, 그리고 7건은 소프트웨어 저작권을 보유하고 있습니다.

생산능력

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본 생산 라인은 당사 장비 제조에 사용되는 강판 및 프로파일의 효율적인 표면 처리를 가능하게 합니다. 뛰어난 코팅 접착력과 내식성을 보장하여 내구성이 뛰어나고 고품질의 제품을 생산합니다.

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수동 샷 블라스팅 생산 라인은 작고 복잡한 부품을 세척하고 추가 가공을 위해 준비할 수 있습니다. 정밀하고 철저한 표면 처리를 통해 최적의 성능과 수명을 보장합니다.

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저희 생산 기지에는 먼지 제거 및 환경 보호 장비 제조를 위한 첨단 시설이 갖춰져 있습니다. 이러한 시스템은 유해 입자와 가스를 효과적으로 포집하고 제거하여 깨끗하고 안전한 작업 환경을 조성합니다.

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최첨단 자동 도장 부스를 통해 장비에 일관되고 고품질의 코팅을 보장합니다. 뛰어난 미적 감각과 내식성을 보장하며, 업계 최고 기준을 충족합니다.

5. 건조실

당사의 건조실은 제조된 제품의 건조 과정을 원활하게 하기 위해 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 최적의 건조 조건을 보장하여 탁월한 제품 품질과 성능을 보장합니다.

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저자: 미야