Rekuperativer thermischer Oxidationsapparat für die Halbleiterindustrie

Einführung

Die Halbleiterherstellung erfordert den Einsatz verschiedener Chemikalien und Lösungsmittel, die schädliche Gase in die Atmosphäre freisetzen. Diese Gase tragen zur Luftverschmutzung bei, die ein erhebliches Umweltproblem darstellt. Um dieses Problem zu mindern, werden in der Halbleiterindustrie zunehmend rekuperative thermische Oxidationsanlagen eingesetzt. Diese Anlagen zur Schadstoffminderung zerstören schädliche Gase und Gerüche, die während des Herstellungsprozesses entstehen, indem sie diese in unschädliche Substanzen umwandeln.

Wie funktioniert ein Rekuperativer thermischer Oxidator arbeiten?

Ein rekuperativer thermischer Oxidator wandelt schädliche Gase mithilfe hoher Temperaturen in unschädliche Substanzen um. Dabei wird die verschmutzte Luft auf etwa 815 °C erhitzt und mit ausreichend Sauerstoff vermischt. Das Gemisch durchläuft anschließend einen Wärmetauscher, der die dabei entstehende Wärme zurückgewinnt. Diese Wärme wird genutzt, um die einströmende, verschmutzte Luft vorzuwärmen und so den Energieaufwand zum Erreichen der gewünschten Temperatur zu reduzieren. Beim Durchströmen der Brennkammer werden die Gase oxidiert und in Kohlendioxid, Wasserdampf und Wärme umgewandelt. Die gereinigte Luft wird in die Atmosphäre abgegeben, während die erzeugte Wärme zurückgewonnen und zur Vorwärmung der einströmenden Luft genutzt werden kann, wodurch der Energieverbrauch gesenkt wird.

Vorteile des Einsatzes von rekuperativen thermischen Oxidationsanlagen in der Halbleiterindustrie

Der Einsatz rekuperativer thermischer Oxidationsmittel in der Halbleiterfertigung bietet mehrere Vorteile, darunter:

• Verringerte Luftverschmutzung: Rekuperative thermische Oxidationsanlagen verringern die Menge an schädlichen Gasen, die in die Umwelt abgegeben werden, und tragen so zur Verringerung der Luftverschmutzung bei.
• Einhaltung von Vorschriften: Der Einsatz von rekuperativen thermischen Oxidationsanlagen trägt zur Einhaltung von Umweltvorschriften bei und vermeidet Strafen, die sich aus der Nichteinhaltung ergeben könnten.
• Energieeffizienz: Rekuperative thermische Oxidationsanlagen sind energieeffizient, und die während des Prozesses erzeugte Wärme kann zurückgewonnen und zur Vorwärmung der einströmenden Luft genutzt werden, wodurch der Energieverbrauch reduziert wird.
• Kosteneinsparungen: Durch die Rückgewinnung der bei dem Prozess entstehenden Wärme können erhebliche Energiekosten eingespart werden, wodurch rekuperative thermische Oxidationsanlagen eine kostengünstige Lösung darstellen.
• Verbesserte Sicherheit am Arbeitsplatz: Der Einsatz von regenerativen thermischen Oxidationsanlagen verbessert die Sicherheit am Arbeitsplatz durch die Beseitigung schädlicher Gase, die beim Einatmen für die Arbeiter gefährlich sein können.

Arten von regenerativen thermischen Oxidationsanlagen

Es gibt zwei Haupttypen von rekuperativen thermischen Oxidationsanlagen: die direkt befeuerte rekuperative thermische Oxidationsanlage und die indirekt befeuerte rekuperative thermische Oxidationsanlage.

Direkt befeuerter rekuperativer thermischer Oxidator

Direkt befeuerte, rekuperative thermische Oxidationsanlagen kommen zum Einsatz, wenn die Konzentration flüchtiger organischer Verbindungen (VOCs) relativ hoch ist. Dabei werden die Gase direkt in der Brennkammer verbrannt, und die erzeugte Wärme dient zur Vorwärmung der Zuluft.

Indirekt befeuerter rekuperativer thermischer Oxidator

Indirekt befeuerte, rekuperative thermische Oxidationsanlagen kommen zum Einsatz, wenn die VOC-Konzentration niedrig ist. Dabei werden die Gase indirekt durch einen Wärmetauscher erhitzt. Die erzeugte Wärme dient anschließend zur Vorwärmung der Zuluft.

Abschluss

Rekuperative thermische Oxidationsanlagen sind eine effektive Lösung zur Reduzierung schädlicher Gasemissionen in der Halbleiterindustrie. Zu den Vorteilen dieser Anlagen zählen geringere Luftverschmutzung, Einhaltung gesetzlicher Vorschriften, Energieeffizienz, Kosteneinsparungen und verbesserte Arbeitssicherheit. Es gibt zwei Haupttypen von rekuperativen thermischen Oxidationsanlagen: direkt befeuerte und indirekt befeuerte Anlagen, die jeweils spezifische Anwendungsgebiete haben. Der Einsatz rekuperativer thermischer Oxidationsanlagen in der Halbleiterfertigung trägt nicht nur zum Umweltschutz bei, sondern gewährleistet auch die Einhaltung gesetzlicher Vorschriften und fördert die Arbeitssicherheit.

Unternehmensvorstellung

Wir sind ein Hightech-Fertigungsunternehmen, das sich auf die umfassende Behandlung von Abgasen mit flüchtigen organischen Verbindungen (VOC) sowie auf Technologien zur CO₂-Reduzierung und Energieeinsparung spezialisiert hat. Zu unseren Kerntechnologien zählen thermische Energie, Verbrennung, Abdichtung und Automatisierungstechnik. Wir verfügen über Kompetenzen in der Temperaturfeldsimulation, der Modellierung von Luftströmungsfeldern, der Leistungsbewertung keramischer Wärmespeichermaterialien, der Auswahl von Molekularsieb-Adsorptionsmaterialien sowie in experimentellen Untersuchungen zur Hochtemperaturverbrennung und -oxidation von VOC.

Teamvorteile

Wir haben in Xi’an ein Forschungs- und Entwicklungszentrum für RTO-Technologie und ein Technologiezentrum für Abgas-Kohlenstoffreduktion sowie in Yangling eine 30.000 Quadratmeter große Produktionsstätte errichtet. Wir sind weltweit ein führender Hersteller von RTO- und Molekularsiebradanlagen, sowohl hinsichtlich Produktions- als auch Absatzvolumen. Unser technisches Kernteam stammt vom Forschungsinstitut für Flüssigkeitsraketentriebwerke der Luft- und Raumfahrt. Wir beschäftigen derzeit über 360 Mitarbeiter, darunter mehr als 60 Technologieexperten in Forschung und Entwicklung, darunter 3 leitende Ingenieure mit Forschungsqualifikation, 6 leitende Ingenieure und 55 promovierte Thermodynamiker.

Kernprodukte

Zu unseren Kernprodukten zählen der Drehventil-Thermooxidator (RTO) und das Molekularsieb-Adsorptionskonzentrationsrad. Dank unserer Expertise im Umweltschutz und der Entwicklung thermischer Energiesysteme bieten wir unseren Kunden umfassende Lösungen für die industrielle Abgasreinigung, die CO₂-Reduzierung und die thermische Energienutzung unter verschiedensten Betriebsbedingungen.

Zertifizierungen, Patente und Auszeichnungen

• Zertifizierung des Intellectual Property Management Systems
• Zertifizierung des Qualitätsmanagementsystems
• Zertifizierung des Umweltmanagementsystems
• Qualifikation als Bauunternehmen
• High-Tech-Unternehmen
• Patent für thermischen Oxidator mit Drehventil
• Patent für Rotationswärmespeicher-Verbrennungsanlage
• Patent für Scheibenmolekularsiebrad

Auswahl der richtigen RTO-Ausrüstung

• Abgaseigenschaften bestimmen
• Informieren Sie sich über örtliche Vorschriften und Emissionsstandards
• Energieeffizienz bewerten
• Berücksichtigen Sie Betrieb und Wartung
• Budget- und Kostenanalyse
• Wählen Sie den entsprechenden RTO-Typ
• Berücksichtigen Sie Umwelt- und Sicherheitsfaktoren
• Leistungstests und -überprüfung

Erläuterung:

Serviceprozess

• Beratung und Evaluation
• Design und Lösungsentwicklung
• Produktion und Fertigung
• Installation und Inbetriebnahme
• Kundendienst

Erläuterung:

Wir sind ein Komplettlösungsanbieter mit einem professionellen Team, das sich auf die individuelle Anpassung von RTO-Lösungen für unsere Kunden spezialisiert hat.

Über den Autor

Autor: Miya