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用于半导体行业的RTO热氧化器

蓄热式热氧化器（RTO）是一种先进技术，广泛应用于半导体行业，用于处理挥发性有机化合物（VOCs）和有害空气污染物（HAPs）。这种高效的系统确保符合环境法规，并促进半导体制造的可持续发展。

RTO热氧化器的优点

高效去除挥发性有机化合物

RTO热氧化器旨在实现高VOC去除效率，通常高于99%。这确保了有效消除半导体制造过程中释放的有害排放物。

能源效率和成本节约

再生设计 RTO 热氧化器
该方法能够回收VOC燃烧过程中产生的热能。回收的能量随后用于预热进入的工艺气流，从而显著节省能源并降低运行成本。

维护要求低

RTO热氧化器设计简单坚固，易于操作和维护。由于没有复杂的部件，减少了频繁维护的需求，从而最大限度地减少了停机时间，提高了生产效率。

环境合规性

RTO热氧化器在帮助半导体制造商满足严格的环境法规方面发挥着至关重要的作用。这些系统能够有效去除挥发性有机化合物（VOCs）和有害空气污染物（HAPs），防止其释放到大气中，从而降低半导体制造对环境的影响。

RTO热氧化器运行

RTO热氧化器的运行包括以下几个关键步骤：

吸附

含有挥发性有机化合物的工艺气体被导入第一再生器，其中具有高表面积的陶瓷介质吸附挥发性有机化合物。

预热

清洁的工艺气体在通过再生器时被预热，利用了上一个循环中储存的热量。

燃烧

预热后的气体进入燃烧室，在那里被加热到燃烧所需的温度。挥发性有机化合物（VOCs）被氧化成二氧化碳和水蒸气。

热回收

离开燃烧室的热洁净气体流经第二个再生器，将其热量传递给陶瓷介质。

冷却和排气

处理后的气体在排放到大气之前会被冷却，同时，第一再生器中的陶瓷介质会被一股洁净的空气吹扫掉吸附的 VOC。

总体而言，RTO 热氧化器的运行可确保高效去除 VOC，同时最大限度地减少能源消耗并保持环境合规性。

公司介绍

我们是一家高科技设备制造企业，专注于半导体行业挥发性有机化合物（VOCs）尾气综合治理、碳减排及节能技术。我们的核心技术包括热能、燃烧、密封和自动控制，具备模拟温度场和气流场、模型计算、陶瓷储热材料和分子筛吸附材料筛选以及开展VOCs高温焚烧氧化实验的能力。

We have RTO technology R&D center and waste gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, and a 30,000©O production base in Yangling. We are the leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve rotary equipment in terms of output and sales volume worldwide. Our core technology team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace 6th Institute). We have more than 360 employees, including over 60 R&D technical backbones, 3 research fellows, 6 senior engineers, and 197 thermodynamic doctors.

我们的核心产品是旋转蒸发仪（RTO）和分子筛吸附浓缩旋转装置。结合我们自身在环境保护和热能系统工程技术方面的专长，我们可以为客户提供工业废气处理、热能利用、碳减排等方面的综合解决方案。