Polovodičový priemysel na úpravu plynov RTO

Úvod

RTO alebo regeneratívna termálna oxidácia je účinná metóda kontroly znečistenia ovzdušia v závodoch na výrobu polovodičov. Táto technológia funguje na princípe vysokých teplôt, ktoré rozkladajú nebezpečné zlúčeniny vo výfukových plynoch emitovaných pri procesoch výroby polovodičov. Vzhľadom na rýchlo rastúci polovodičový priemysel je nevyhnutné mať zavedené účinné opatrenia na kontrolu znečistenia ovzdušia, aby sa udržali štandardy kvality ovzdušia a minimalizoval vplyv výroby polovodičov na životné prostredie.

Čo je úprava plynu RTO?

• Čistenie plynov RTO je proces, ktorý využíva vysoké teploty na rozklad nebezpečných zlúčenín vo výfukových plynoch z výrobných procesov.
• Tento proces je vysoko účinný pri znižovaní úrovne znečistenia a je široko používaný v polovodičovom priemysle.
• Systémy RTO pozostávajú zo spaľovacej komory, keramického výmenníka tepla a riadiaceho systému.
• Systém funguje tak, že predhrieva privádzaný prúd plynu pred jeho vstupom do spaľovacej komory, kde sa zahrieva na teplotu približne 1500 °F.
• Horúci plyn potom prechádza cez keramický výmenník tepla, kde odovzdáva svoje teplo privádzanému prúdu plynu.
• Vychádzajúci prúd plynu sa potom ochladí na teplotu približne 100 °F a potom sa vypustí do atmosféry.

Ako funguje úprava plynu RTO?

• Systém RTOfungujú na princípe kombinácie vysokých teplôt a doby zdržania na rozklad nebezpečných zlúčenín vo výfukových plynoch z výrobných procesov.
• Proces začína predhriatím privádzaného prúdu plynu na teplotu približne 800 °F.
• Predhriaty plyn potom vstupuje do spaľovacej komory, kde sa zahrieva na teplotu okolo 1500 °F.
• Vysoká teplota spôsobuje, že sa nebezpečné zlúčeniny v prúde plynu rozkladajú na menej škodlivé zlúčeniny, ako je voda a oxid uhličitý.
• Výsledný prúd plynu je potom smerovaný cez keramický výmenník tepla, kde sa teplo prenáša do prichádzajúceho prúdu plynu.
• Vychádzajúci prúd plynu sa potom ochladí na teplotu približne 100 °F a potom sa vypustí do atmosféry.

Výhody úpravy plynu RTO

• Čistenie plynu RTO je vysoko účinné pri znižovaní úrovne znečistenia a udržiavaní štandardov kvality ovzdušia v polovodičovom priemysle.
• Je to nákladovo efektívne riešenie na kontrolu znečistenia ovzdušia v závodoch na výrobu polovodičov.
• Systémy RTO sa ľahko ovládajú a vyžadujú si minimálnu údržbu.
• Sú tiež energeticky úsporné, pretože teplo získané z odchádzajúceho prúdu plynu sa môže použiť na predhriatie prichádzajúceho prúdu plynu.
• Systémy RTO je možné prispôsobiť aj špecifickým potrebám závodov na výrobu polovodičov.

Aplikácie úpravy plynu RTO v polovodičovom priemysle

• Čistenie plynu RTO sa bežne používa v polovodičovom priemysle na kontrolu emisií znečistenia ovzdušia.
• Používa sa pri výrobe rôznych polovodičových produktov vrátane mikročipov, integrovaných obvodov a pamäťových zariadení.
• Systémy RTO sa používajú aj v procesoch leptania, litografie a nanášania pri výrobe polovodičov.

Budúcnosť úpravy plynu RTO v polovodičovom priemysle

• Očakáva sa, že úprava plynu metódou RTO sa v budúcnosti stane v polovodičovom priemysle ešte populárnejšou, keďže toto odvetvie bude naďalej rásť.
• Na splnenie špecifických potrieb závodov na výrobu polovodičov sa vyvíjajú novšie a efektívnejšie systémy RTO.
• Očakáva sa, že používanie úpravy plynu RTO sa zvýši aj sprísnením environmentálnych predpisov.

Záver

Čistenie plynu RTO je účinná metóda kontroly znečistenia ovzdušia v závodoch na výrobu polovodičov. Vzhľadom na rýchlo rastúci polovodičový priemysel je nevyhnutné mať zavedené účinné opatrenia na kontrolu znečistenia ovzdušia, aby sa udržali štandardy kvality ovzdušia a minimalizoval vplyv výroby polovodičov na životné prostredie. Systémy RTO sú vysoko účinné, nákladovo efektívne, energeticky úsporné a ľahko sa ovládajú a udržiavajú. V polovodičovom priemysle sa široko používajú na kontrolu emisií znečistenia ovzdušia a očakáva sa, že v budúcnosti sa stanú ešte populárnejšími.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Úvod k našim výskumným a vývojovým platformám

1. Testovacia lavica pre vysokoúčinnú technológiu regulácie spaľovania

Táto skúšobná lavica je navrhnutá na vyhodnotenie a optimalizáciu procesu spaľovania pre efektívne čistenie odpadových plynov. Umožňuje nám študovať a vyvíjať pokročilé techniky spaľovania, ktoré zabezpečujú vysokú účinnosť ničenia a nízku spotrebu energie.

2. Testovacia lavica na účinnosť adsorpcie molekulárnym sitom

Pomocou tejto testovacej lavice môžeme skúmať a hodnotiť výkonnosť rôznych adsorpčných materiálov s molekulárnymi sitami. Umožňuje nám identifikovať najúčinnejšie adsorbenty na odstraňovanie prchavých organických zlúčenín (VOC), čo vedie k zvýšenej účinnosti čistenia.

3. Vysokoúčinná skúšobná lavica pre keramickú technológiu tepelného akumulovania

Táto testovacia lavica sa zameriava na vývoj a hodnotenie keramických tepelných akumulačných materiálov na spätné získavanie odpadového tepla. Umožňuje nám testovať a optimalizovať tepelnú akumulačnú kapacitu, trvanlivosť a účinnosť prenosu tepla rôznych keramických materiálov.

4. Skúšobná lavica na spätné získavanie odpadového tepla pri ultravysokých teplotách

Pomocou tejto testovacej lavice môžeme skúmať inovatívne technológie na spätné získavanie a využitie odpadového tepla s ultravysokými teplotami. Umožňuje nám posúdiť výkonnosť a uskutočniteľnosť rôznych metód spätného získavania odpadového tepla, čo prispieva k úspore energie.

5. Skúšobná lavica pre technológiu tesnenia plynnými kvapalinami

Testovacia lavica pre technológiu tesnenia plynných kvapalín je určená na štúdium a zlepšovanie tesniaceho výkonu zariadení používaných pri čistení odpadových plynov. Pomáha nám vyvíjať pokročilé tesniace riešenia, ktoré minimalizujú úniky a zaisťujú prevádzkovú bezpečnosť.

V našom výskumnom a vývojovom úsilí sme dosiahli pozoruhodný úspech, čo viedlo k získaniu množstva patentov a ocenení. Požiadali sme o celkovo 68 patentov, vrátane 21 patentov na vynálezy, ktoré pokrývajú kľúčové komponenty našich technológií. Z nich nám boli udelené 4 patenty na vynálezy, 41 patentov na úžitkové vzory, 6 patentov na dizajn a 7 autorských práv na softvér.

Výrobná kapacita

1. Automatická tryskacia a lakovacia výrobná linka na oceľové plechy a profily

Táto výrobná linka umožňuje efektívnu povrchovú úpravu oceľových plechov a profilov používaných pri výrobe našich zariadení. Zaisťuje vynikajúcu priľnavosť povlakov a odolnosť proti korózii, čoho výsledkom sú odolné a vysoko kvalitné výrobky.

2. Výrobná linka na manuálne tryskanie

Ručná tryskacia výrobná linka je schopná čistiť a pripravovať malé a zložité súčiastky na ďalšie spracovanie. Poskytuje presnú a dôkladnú úpravu povrchu, čím zaisťuje optimálny výkon a dlhú životnosť.

3. Zariadenia na odstraňovanie prachu a ochranu životného prostredia

V našej výrobnej základni máme moderné zariadenia na výrobu zariadení na odstraňovanie prachu a ochranu životného prostredia. Tieto systémy efektívne zachytávajú a odstraňujú škodlivé častice a plyny, čím podporujú čisté a bezpečné pracovné prostredie.

4. Automatická lakovacia kabína

Disponujeme najmodernejšou automatickou lakovacou kabínou, ktorá zabezpečuje konzistentné a vysoko kvalitné nátery na našich zariadeniach. Zaručuje vynikajúci estetický vzhľad a odolnosť proti korózii, čím spĺňa najvyššie priemyselné štandardy.

5. Sušiareň

Naša sušiareň je vybavená pokročilou technológiou, ktorá uľahčuje proces sušenia našich vyrábaných produktov. Zaisťuje optimálne podmienky sušenia, čo vedie k vynikajúcej kvalite a výkonu produktov.

Pozývame našich klientov k spolupráci a k ​​využitiu našich odborných znalostí v oblasti čistenia odpadových plynov a technológií na úsporu energie. Tu je šesť výhod partnerstva s nami:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Rozsiahle skúsenosti s čistením odpadových plynov z prchavých organických zlúčenín a znižovaním emisií uhlíka.
• 3. Pokročilé výskumné a testovacie zariadenia na overovanie technológií.
• 4. Preukázateľné výsledky v oblasti úspešných patentov a technických úspechov.
• 5. Vysokokvalitné výrobné kapacity pre spoľahlivé a odolné zariadenia.
• 6. Záväzok k ochrane životného prostredia a úspore energie.

Autor: Miya