Термический окислитель RTO для полупроводниковой промышленности

Регенеративный термический окислитель (РТО) — это передовая технология, широко применяемая в полупроводниковой промышленности для очистки от летучих органических соединений (ЛОС) и опасных загрязнителей воздуха (ОЗВ). Эта высокоэффективная система обеспечивает соблюдение экологических норм и способствует внедрению экологически устойчивых методов производства полупроводников.

Преимущества термического окислителя RTO

• Высокая эффективность уничтожения ЛОС

Термические окислители RTO разработаны для достижения высокой эффективности деструкции ЛОС, обычно выше 99%. Это обеспечивает эффективное устранение вредных выбросов, образующихся в процессе производства полупроводников.

• Энергоэффективность и экономия средств

Регенеративная конструкция Термический окислитель RTO
s позволяет рекуперировать тепловую энергию, выделяемую при сжигании ЛОС. Эта рекуперированная энергия затем используется для предварительного нагрева входящего потока технологического газа, что обеспечивает значительную экономию энергии и снижение эксплуатационных расходов.

• Низкие требования к обслуживанию

Термические окислители RTO имеют простую и надежную конструкцию, что обеспечивает удобство эксплуатации и обслуживания. Отсутствие сложных компонентов снижает необходимость в частом техническом обслуживании, минимизируя время простоя и максимально повышая эффективность производства.

• Соблюдение экологических норм

Термические окислители RTO играют ключевую роль в соблюдении производителями полупроводников строгих экологических норм. Эффективно уничтожая летучие органические соединения (ЛОС) и опасные загрязняющие вещества (ОЗВ), эти системы предотвращают их выбросы в атмосферу, снижая воздействие производства полупроводников на окружающую среду.

Эксплуатация термического окислителя RTO

Работа термического окислителя РТО включает несколько основных этапов:

1. Адсорбция

Технологический газ с высоким содержанием ЛОС направляется в первый регенератор, где керамическая среда с большой площадью поверхности адсорбирует ЛОС.

2. Предварительный нагрев

Очищенный технологический газ предварительно подогревается при прохождении через регенератор, используя накопленное тепло предыдущего цикла.

3. Сгорание

Подогретый газ поступает в камеру сгорания, где доводится до необходимой температуры для горения. ЛОС окисляются до углекислого газа и водяного пара.

4. Рекуперация тепла

Горячий чистый газ, выходящий из камеры сгорания, проходит через второй регенератор, передавая свое тепло керамическому материалу.

5. Охлаждение и разрядка

Очищенный газ охлаждается перед выбросом в атмосферу, а керамическая среда в первом регенераторе очищается от адсорбированных ЛОС потоком чистого воздуха.

В целом, работа термического окислителя РТО обеспечивает эффективное разрушение ЛОС при минимизации потребления энергии и соблюдении экологических норм.

Введение в компанию

Мы являемся высокотехнологичным предприятием по производству оборудования, специализирующимся на комплексном управлении выбросами летучих органических соединений (ЛОС), снижении выбросов углерода и энергосберегающих технологиях в полупроводниковой промышленности. Наши основные технологии включают в себя тепловую энергию, горение, герметизацию и автоматическое управление, а также возможность моделирования температурных полей и воздушных потоков, проведения расчетов, выбора керамических теплоаккумулирующих материалов, адсорбционных материалов на основе молекулярных сит, а также проведения экспериментов по высокотемпературному сжиганию и окислению ЛОС.

We have RTO technology R&D center and waste gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, and a 30,000©O production base in Yangling. We are the leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve rotary equipment in terms of output and sales volume worldwide. Our core technology team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace 6th Institute). We have more than 360 employees, including over 60 R&D technical backbones, 3 research fellows, 6 senior engineers, and 197 thermodynamic doctors.

Наша основная продукция — это адсорбционно-концентрационные роторные устройства RTO и молекулярные сита. Благодаря нашему опыту в области охраны окружающей среды и проектирования систем тепловой энергетики, мы можем предложить клиентам комплексные решения для очистки промышленных отходящих газов, утилизации тепловой энергии, сокращения выбросов углерода и других задач.

Сертификаты, патенты и награды

Наша компания получила следующие сертификаты и квалификации:

• Сертификация системы управления интеллектуальной собственностью
• Сертификация системы менеджмента качества
• Сертификация системы экологического менеджмента
• Квалификация предприятия строительной отрасли
• Сертификация высокотехнологичного предприятия
• Патенты на клапан RTO для вращающейся печи окисления с накоплением тепла, вращающееся оборудование для сжигания с накоплением тепла и вращающееся оборудование с молекулярным ситом в форме диска и т. д.

Картина:

Как правильно выбрать оборудование RTO

Выбор правильного оборудования RTO требует следующих шагов:

1. Определить характеристики выхлопных газов
2. Изучите местные правила и стандарты выбросов
3. Оценить энергоэффективность
4. Рассмотрим эксплуатацию и техническое обслуживание
5. Анализ бюджета и затрат
6. Выберите подходящий тип RTO
7. Учитывайте факторы окружающей среды и безопасности
8. Тестирование и проверка производительности

Объяснение:

Наш процесс обслуживания

Процесс нашего обслуживания включает следующие этапы:

1. Консультации и оценка: предварительная консультация, осмотр на месте, анализ потребностей
2. Проектирование и планирование: проектирование программы, моделирование и симуляция, обзор программы
3. Производство и изготовление: изготовление по индивидуальному заказу, контроль качества, заводские испытания
4. Монтаж и ввод в эксплуатацию: монтаж на месте, ввод в эксплуатацию и эксплуатация, услуги по обучению
5. Послепродажная поддержка: регулярное обслуживание, техническая поддержка, поставка запасных частей

Объяснение:

We are a one-stop solution provider with a professional team that tailors RTO solutions to customers’ needs.

Автор: Мия