Термический окислитель RTO для полупроводниковой промышленности

Регенеративный термический окислитель (РТО) — это передовая технология, широко применяемая в полупроводниковой промышленности для очистки от летучих органических соединений (ЛОС) и опасных загрязнителей воздуха (ОЗВ). Эта высокоэффективная система обеспечивает соблюдение экологических норм и способствует внедрению экологически устойчивых методов производства полупроводников.

Преимущества термического окислителя RTO

• Высокая эффективность уничтожения ЛОС

Термические окислители RTO разработаны для достижения высокой эффективности деструкции ЛОС, обычно выше 99%. Это обеспечивает эффективное устранение вредных выбросов, образующихся в процессе производства полупроводников.

• Энергоэффективность и экономия средств

Регенеративная конструкция Термический окислитель RTO
s позволяет рекуперировать тепловую энергию, выделяемую при сжигании ЛОС. Эта рекуперированная энергия затем используется для предварительного нагрева входящего потока технологического газа, что обеспечивает значительную экономию энергии и снижение эксплуатационных расходов.

• Низкие требования к обслуживанию

Термические окислители RTO имеют простую и надежную конструкцию, что обеспечивает удобство эксплуатации и обслуживания. Отсутствие сложных компонентов снижает необходимость в частом техническом обслуживании, минимизируя время простоя и максимально повышая эффективность производства.

• Соблюдение экологических норм

Термические окислители RTO играют ключевую роль в соблюдении производителями полупроводников строгих экологических норм. Эффективно уничтожая летучие органические соединения (ЛОС) и опасные загрязняющие вещества (ОЗВ), эти системы предотвращают их выбросы в атмосферу, снижая воздействие производства полупроводников на окружающую среду.

Эксплуатация термического окислителя RTO

Работа термического окислителя РТО включает несколько основных этапов:

1. Адсорбция

Технологический газ с высоким содержанием ЛОС направляется в первый регенератор, где керамическая среда с большой площадью поверхности адсорбирует ЛОС.

2. Предварительный нагрев

Очищенный технологический газ предварительно подогревается при прохождении через регенератор, используя накопленное тепло предыдущего цикла.

3. Сгорание

Подогретый газ поступает в камеру сгорания, где доводится до необходимой температуры для горения. ЛОС окисляются до углекислого газа и водяного пара.

4. Рекуперация тепла

Горячий чистый газ, выходящий из камеры сгорания, проходит через второй регенератор, передавая свое тепло керамическому материалу.

5. Охлаждение и разрядка

Очищенный газ охлаждается перед выбросом в атмосферу, а керамическая среда в первом регенераторе очищается от адсорбированных ЛОС потоком чистого воздуха.

В целом, работа термического окислителя РТО обеспечивает эффективное разрушение ЛОС при минимизации потребления энергии и соблюдении экологических норм.

Введение в компанию

Мы являемся высокотехнологичным предприятием по производству оборудования, специализирующимся на комплексном управлении выбросами летучих органических соединений (ЛОС), снижении выбросов углерода и энергосберегающих технологиях в полупроводниковой промышленности. Наши основные технологии включают в себя тепловую энергию, горение, герметизацию и автоматическое управление, а также возможность моделирования температурных полей и воздушных потоков, проведения расчетов, выбора керамических теплоаккумулирующих материалов, адсорбционных материалов на основе молекулярных сит, а также проведения экспериментов по высокотемпературному сжиганию и окислению ЛОС.

В Сиане у нас есть центр исследований и разработок в области технологий RTO и центр технологий снижения выбросов углерода из отходящих газов, а также производственная база площадью 30 000 кв. дюймов в Янлине. Мы являемся ведущим мировым производителем оборудования RTO и вращающегося оборудования с молекулярными ситами по объёму производства и продаж. Наша основная технологическая команда состоит из сотрудников Научно-исследовательского института жидкостных ракетных двигателей (6-й аэрокосмический институт). В нашей команде более 360 сотрудников, включая более 60 технических специалистов по исследованиям и разработкам, 3 научных сотрудника, 6 старших инженеров и 197 докторов термодинамики.

Наша основная продукция — это адсорбционно-концентрационные роторные устройства RTO и молекулярные сита. Благодаря нашему опыту в области охраны окружающей среды и проектирования систем тепловой энергетики, мы можем предложить клиентам комплексные решения для очистки промышленных отходящих газов, утилизации тепловой энергии, сокращения выбросов углерода и других задач.

Сертификаты, патенты и награды

Наша компания получила следующие сертификаты и квалификации:

• Сертификация системы управления интеллектуальной собственностью
• Сертификация системы менеджмента качества
• Сертификация системы экологического менеджмента
• Квалификация предприятия строительной отрасли
• Сертификация высокотехнологичного предприятия
• Патенты на клапан RTO для вращающейся печи окисления с накоплением тепла, вращающееся оборудование для сжигания с накоплением тепла и вращающееся оборудование с молекулярным ситом в форме диска и т. д.

Картина:

Как правильно выбрать оборудование RTO

Выбор правильного оборудования RTO требует следующих шагов:

1. Определить характеристики выхлопных газов
2. Изучите местные правила и стандарты выбросов
3. Оценить энергоэффективность
4. Рассмотрим эксплуатацию и техническое обслуживание
5. Анализ бюджета и затрат
6. Выберите подходящий тип RTO
7. Учитывайте факторы окружающей среды и безопасности
8. Тестирование и проверка производительности

Объяснение:

Наш процесс обслуживания

Процесс нашего обслуживания включает следующие этапы:

1. Консультации и оценка: предварительная консультация, осмотр на месте, анализ потребностей
2. Проектирование и планирование: проектирование программы, моделирование и симуляция, обзор программы
3. Производство и изготовление: изготовление по индивидуальному заказу, контроль качества, заводские испытания
4. Монтаж и ввод в эксплуатацию: монтаж на месте, ввод в эксплуатацию и эксплуатация, услуги по обучению
5. Послепродажная поддержка: регулярное обслуживание, техническая поддержка, поставка запасных частей

Объяснение:

Мы являемся комплексным поставщиком решений с профессиональной командой, которая адаптирует решения RTO к потребностям клиентов.

Автор: Мия