RTO Газоочистка Полупроводниковая промышленность

Введение

Регенеративное термическое окисление (РТО) — эффективный метод контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников. Эта технология основана на использовании высоких температур для разложения опасных соединений в отходящих газах, выделяемых в процессе производства полупроводников. В условиях быстрого роста полупроводниковой промышленности крайне важно внедрять эффективные меры контроля загрязнения воздуха для поддержания стандартов качества воздуха и минимизации воздействия производства полупроводников на окружающую среду.

Что такое очистка газа RTO?

• Обработка газа RTO — это процесс, в котором для расщепления опасных соединений в отходящих газах производственных процессов используются высокие температуры.
• Этот процесс весьма эффективен для снижения уровня загрязнения и широко применяется в полупроводниковой промышленности.
• Системы РТО состоят из камеры сгорания, керамического теплообменника и системы управления.
• Система работает по принципу предварительного нагрева входящего газового потока перед его поступлением в камеру сгорания, где он нагревается до температуры около 1500°F.
• Затем горячий газ проходит через керамический теплообменник, где отдает свое тепло входящему потоку газа.
• Затем исходящий поток газа охлаждается до температуры около 100°F перед выбросом в атмосферу.

Как работает технология очистки газа RTO?

• система РТОработают, используя комбинацию высоких температур и времени выдержки для расщепления опасных соединений в отходящих газах производственных процессов.
• Процесс начинается с предварительного нагрева входящего газового потока до температуры около 800°F.
• Затем предварительно нагретый газ поступает в камеру сгорания, где нагревается до температуры около 1500°F.
• Высокая температура заставляет опасные соединения в газовом потоке распадаться на менее вредные соединения, такие как вода и углекислый газ.
• Полученный поток газа затем направляется через керамический теплообменник, где тепло передается входящему потоку газа.
• Затем исходящий поток газа охлаждается до температуры около 100°F перед выбросом в атмосферу.

Преимущества очистки газа методом РТО

• Технология очистки газа RTO высокоэффективна для снижения уровня загрязнения и поддержания стандартов качества воздуха в полупроводниковой промышленности.
• Это экономически эффективное решение для контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников.
• Системы RTO просты в эксплуатации и требуют минимального обслуживания.
• Они также энергоэффективны, поскольку тепло, извлеченное из исходящего газового потока, может быть использовано для предварительного нагрева входящего газового потока.
• Системы RTO также могут быть адаптированы к конкретным потребностям заводов по производству полупроводников.

Применение газоочистки RTO в полупроводниковой промышленности

• Технология очистки газа RTO широко применяется в полупроводниковой промышленности для контроля выбросов загрязняющих веществ в атмосферу.
• Он используется при производстве различных полупроводниковых изделий, включая микросхемы, интегральные схемы и устройства памяти.
• Системы RTO также используются в процессах травления, литографии и осаждения в производстве полупроводников.

Будущее газоочистки RTO в полупроводниковой промышленности

• Ожидается, что технология очистки газа RTO станет еще более популярной в полупроводниковой промышленности в будущем, поскольку эта отрасль продолжает расти.
• Для удовлетворения особых потребностей заводов по производству полупроводников разрабатываются более новые и эффективные системы RTO.
• Ожидается, что использование технологии очистки газа RTO также возрастет, поскольку ужесточаются экологические нормы.

Заключение

Система очистки газа RTO — эффективный метод контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников. В условиях быстрого роста полупроводниковой промышленности крайне важно иметь эффективные меры контроля загрязнения воздуха для поддержания стандартов качества воздуха и минимизации воздействия производства полупроводников на окружающую среду. Системы RTO высокоэффективны, экономичны, энергоэффективны и просты в эксплуатации и обслуживании. Они широко используются в полупроводниковой промышленности для контроля выбросов загрязняющих веществ в атмосферу и, как ожидается, станут ещё популярнее в будущем.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Введение в наши платформы исследований и разработок

1. Испытательный стенд для высокоэффективной технологии управления горением

Этот испытательный стенд предназначен для оценки и оптимизации процесса сжигания для эффективной очистки отходящих газов. Он позволяет нам изучать и разрабатывать передовые методы сжигания, обеспечивающие высокую эффективность деструкции и низкое энергопотребление.

2. Стенд для испытания эффективности адсорбции молекулярных сит

С помощью этого испытательного стенда мы можем исследовать и оценивать эффективность различных адсорбционных материалов на основе молекулярных сит. Это позволяет нам определить наиболее эффективные адсорбенты для удаления ЛОС, что приводит к повышению эффективности очистки.

3. Испытательный стенд для высокоэффективной керамической технологии аккумулирования тепла

Этот испытательный стенд предназначен для разработки и оценки керамических теплоаккумулирующих материалов для рекуперации отходящего тепла. Он позволяет нам тестировать и оптимизировать теплоаккумулирующую способность, долговечность и эффективность теплопередачи различных керамических материалов.

4. Испытательный стенд для рекуперации отходящего тепла при сверхвысоких температурах

Используя этот испытательный стенд, мы можем исследовать инновационные технологии рекуперации и использования сверхвысокотемпературного отходящего тепла. Он позволяет нам оценить эффективность и практическую возможность различных методов рекуперации отходящего тепла, способствуя энергосбережению.

5. Испытательный стенд для технологии герметизации газовой жидкости

Испытательный стенд для испытаний герметизации газожидкостных сред предназначен для изучения и улучшения герметичности оборудования, используемого в системах очистки отходящих газов. Он помогает нам разрабатывать передовые решения для герметизации, минимизирующие утечки и обеспечивающие эксплуатационную безопасность.

Мы добились выдающихся успехов в наших исследованиях и разработках, что привело к получению многочисленных патентов и наград. Мы подали в общей сложности 68 патентов, включая 21 патент на изобретение, охватывающих важнейшие компоненты наших технологий. В том числе нам были выданы 4 патента на изобретение, 41 патент на полезную модель, 6 патентов на промышленный образец и 7 патентов на программное обеспечение.

Производственная мощность

1. Автоматическая линия дробеструйной очистки и покраски стальных листов и профилей

Данная производственная линия обеспечивает эффективную обработку поверхности стальных листов и профилей, используемых в производстве нашего оборудования. Она обеспечивает отличную адгезию покрытия и коррозионную стойкость, что позволяет получать долговечную и высококачественную продукцию.

2. Линия ручной дробеструйной обработки

Линия ручной дробеструйной обработки способна очищать и подготавливать к дальнейшей обработке небольшие и сложные детали. Она обеспечивает точную и тщательную обработку поверхности, гарантируя оптимальную производительность и долговечность.

3. Оборудование для пылеудаления и защиты окружающей среды

Наша производственная база располагает передовыми мощностями для производства пылеулавливающего и природоохранного оборудования. Эти системы эффективно улавливают и удаляют вредные частицы и газы, обеспечивая чистую и безопасную рабочую среду.

4. Автоматическая покрасочная камера

Мы располагаем современной автоматической окрасочной камерой, которая обеспечивает равномерное и высококачественное покрытие нашего оборудования. Она гарантирует превосходный внешний вид и стойкость к коррозии, отвечая самым высоким отраслевым стандартам.

5. Сушильная комната

Наш сушильный цех оснащён передовыми технологиями, облегчающими процесс сушки производимой нами продукции. Это обеспечивает оптимальные условия сушки, что обеспечивает превосходное качество и производительность продукции.

Мы приглашаем наших клиентов к сотрудничеству и воспользуемся нашим опытом в области очистки отходящих газов и энергосберегающих технологий. Вот шесть преимуществ сотрудничества с нами:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Обширный опыт в очистке отходящих газов от летучих органических соединений и снижении выбросов углерода.
• 3. Передовые научно-исследовательские и испытательные мощности для проверки технологий.
• 4. Подтвержденный опыт успешных патентов и технических достижений.
• 5. Высококачественные производственные возможности для надежного и долговечного оборудования.
• 6. Приверженность охране окружающей среды и энергосбережению.

Автор: Мия