RTO Газоочистка Полупроводниковая промышленность

Введение

Регенеративное термическое окисление (РТО) — эффективный метод контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников. Эта технология основана на использовании высоких температур для разложения опасных соединений в отходящих газах, выделяемых в процессе производства полупроводников. В условиях быстрого роста полупроводниковой промышленности крайне важно внедрять эффективные меры контроля загрязнения воздуха для поддержания стандартов качества воздуха и минимизации воздействия производства полупроводников на окружающую среду.

Что такое очистка газа RTO?

• Обработка газа RTO — это процесс, в котором для расщепления опасных соединений в отходящих газах производственных процессов используются высокие температуры.
• Этот процесс весьма эффективен для снижения уровня загрязнения и широко применяется в полупроводниковой промышленности.
• Системы РТО состоят из камеры сгорания, керамического теплообменника и системы управления.
• Система работает по принципу предварительного нагрева входящего газового потока перед его поступлением в камеру сгорания, где он нагревается до температуры около 1500°F.
• Затем горячий газ проходит через керамический теплообменник, где отдает свое тепло входящему потоку газа.
• Затем исходящий поток газа охлаждается до температуры около 100°F перед выбросом в атмосферу.

Как работает технология очистки газа RTO?

• система РТОработают, используя комбинацию высоких температур и времени выдержки для расщепления опасных соединений в отходящих газах производственных процессов.
• Процесс начинается с предварительного нагрева входящего газового потока до температуры около 800°F.
• Затем предварительно нагретый газ поступает в камеру сгорания, где нагревается до температуры около 1500°F.
• Высокая температура заставляет опасные соединения в газовом потоке распадаться на менее вредные соединения, такие как вода и углекислый газ.
• Полученный поток газа затем направляется через керамический теплообменник, где тепло передается входящему потоку газа.
• Затем исходящий поток газа охлаждается до температуры около 100°F перед выбросом в атмосферу.

Преимущества очистки газа методом РТО

• Технология очистки газа RTO высокоэффективна для снижения уровня загрязнения и поддержания стандартов качества воздуха в полупроводниковой промышленности.
• Это экономически эффективное решение для контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников.
• Системы RTO просты в эксплуатации и требуют минимального обслуживания.
• Они также энергоэффективны, поскольку тепло, извлеченное из исходящего газового потока, может быть использовано для предварительного нагрева входящего газового потока.
• Системы RTO также могут быть адаптированы к конкретным потребностям заводов по производству полупроводников.

Применение газоочистки RTO в полупроводниковой промышленности

• Технология очистки газа RTO широко применяется в полупроводниковой промышленности для контроля выбросов загрязняющих веществ в атмосферу.
• Он используется при производстве различных полупроводниковых изделий, включая микросхемы, интегральные схемы и устройства памяти.
• Системы RTO также используются в процессах травления, литографии и осаждения в производстве полупроводников.

Будущее газоочистки RTO в полупроводниковой промышленности

• Ожидается, что технология очистки газа RTO станет еще более популярной в полупроводниковой промышленности в будущем, поскольку эта отрасль продолжает расти.
• Для удовлетворения особых потребностей заводов по производству полупроводников разрабатываются более новые и эффективные системы RTO.
• Ожидается, что использование технологии очистки газа RTO также возрастет, поскольку ужесточаются экологические нормы.

Заключение

Система очистки газа RTO — эффективный метод контроля загрязнения воздуха на заводах по производству полупроводников. В условиях быстрого роста полупроводниковой промышленности крайне важно иметь эффективные меры контроля загрязнения воздуха для поддержания стандартов качества воздуха и минимизации воздействия производства полупроводников на окружающую среду. Системы RTO высокоэффективны, экономичны, энергоэффективны и просты в эксплуатации и обслуживании. Они широко используются в полупроводниковой промышленности для контроля выбросов загрязняющих веществ в атмосферу и, как ожидается, станут ещё популярнее в будущем.

Мы являемся высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на комплексной переработке летучих органических соединений (ЛОС), отходящих газов, снижении выбросов углерода и энергосберегающих технологиях для производства высокотехнологичного оборудования. Наша основная техническая команда состоит из сотрудников Научно-исследовательского института аэрокосмических жидкостных ракетных двигателей (Шестой аэрокосмический институт); в ней работают более 60 специалистов по НИОКР, включая 3 старших инженера-исследователя и 16 старших инженеров. Компания использует четыре основные технологии: тепловая энергия, горение, герметизация и автоматическое управление; имеет возможность моделировать температурные поля и моделирование и расчет полей воздушных потоков; имеет возможность тестировать характеристики керамических теплоаккумулирующих материалов, выбирать адсорбционные материалы на основе молекулярных сит и проводить экспериментальные испытания характеристик высокотемпературного сжигания и окисления органических веществ ЛОС. Компания построила центр исследований и разработок в области технологии РТО и центр инженерных технологий снижения выбросов углерода в выхлопных газах в древнем городе Сиань, а также производственную базу площадью 30 000 м2 в Янлине. Объемы производства и продаж оборудования РТО значительно опережают мировые показатели.

Введение в наши платформы исследований и разработок

1. Испытательный стенд для высокоэффективной технологии управления горением

Этот испытательный стенд предназначен для оценки и оптимизации процесса сжигания для эффективной очистки отходящих газов. Он позволяет нам изучать и разрабатывать передовые методы сжигания, обеспечивающие высокую эффективность деструкции и низкое энергопотребление.

2. Стенд для испытания эффективности адсорбции молекулярных сит

С помощью этого испытательного стенда мы можем исследовать и оценивать эффективность различных адсорбционных материалов на основе молекулярных сит. Это позволяет нам определить наиболее эффективные адсорбенты для удаления ЛОС, что приводит к повышению эффективности очистки.

3. Испытательный стенд для высокоэффективной керамической технологии аккумулирования тепла

Этот испытательный стенд предназначен для разработки и оценки керамических теплоаккумулирующих материалов для рекуперации отходящего тепла. Он позволяет нам тестировать и оптимизировать теплоаккумулирующую способность, долговечность и эффективность теплопередачи различных керамических материалов.

4. Испытательный стенд для рекуперации отходящего тепла при сверхвысоких температурах

Используя этот испытательный стенд, мы можем исследовать инновационные технологии рекуперации и использования сверхвысокотемпературного отходящего тепла. Он позволяет нам оценить эффективность и практическую возможность различных методов рекуперации отходящего тепла, способствуя энергосбережению.

5. Испытательный стенд для технологии герметизации газовой жидкости

Испытательный стенд для испытаний герметизации газожидкостных сред предназначен для изучения и улучшения герметичности оборудования, используемого в системах очистки отходящих газов. Он помогает нам разрабатывать передовые решения для герметизации, минимизирующие утечки и обеспечивающие эксплуатационную безопасность.

Мы добились выдающихся успехов в наших исследованиях и разработках, что привело к получению многочисленных патентов и наград. Мы подали в общей сложности 68 патентов, включая 21 патент на изобретение, охватывающих важнейшие компоненты наших технологий. В том числе нам были выданы 4 патента на изобретение, 41 патент на полезную модель, 6 патентов на промышленный образец и 7 патентов на программное обеспечение.

Производственная мощность

1. Автоматическая линия дробеструйной очистки и покраски стальных листов и профилей

Данная производственная линия обеспечивает эффективную обработку поверхности стальных листов и профилей, используемых в производстве нашего оборудования. Она обеспечивает отличную адгезию покрытия и коррозионную стойкость, что позволяет получать долговечную и высококачественную продукцию.

2. Линия ручной дробеструйной обработки

Линия ручной дробеструйной обработки способна очищать и подготавливать к дальнейшей обработке небольшие и сложные детали. Она обеспечивает точную и тщательную обработку поверхности, гарантируя оптимальную производительность и долговечность.

3. Оборудование для пылеудаления и защиты окружающей среды

Наша производственная база располагает передовыми мощностями для производства пылеулавливающего и природоохранного оборудования. Эти системы эффективно улавливают и удаляют вредные частицы и газы, обеспечивая чистую и безопасную рабочую среду.

4. Автоматическая покрасочная камера

Мы располагаем современной автоматической окрасочной камерой, которая обеспечивает равномерное и высококачественное покрытие нашего оборудования. Она гарантирует превосходный внешний вид и стойкость к коррозии, отвечая самым высоким отраслевым стандартам.

5. Сушильная комната

Наш сушильный цех оснащён передовыми технологиями, облегчающими процесс сушки производимой нами продукции. Это обеспечивает оптимальные условия сушки, что обеспечивает превосходное качество и производительность продукции.

Мы приглашаем наших клиентов к сотрудничеству и воспользуемся нашим опытом в области очистки отходящих газов и энергосберегающих технологий. Вот шесть преимуществ сотрудничества с нами:

• 1. Передовые возможности НИОКР, обеспечивающие инновационные и эффективные решения.
• 2. Обширный опыт в очистке отходящих газов от летучих органических соединений и снижении выбросов углерода.
• 3. Передовые научно-исследовательские и испытательные мощности для проверки технологий.
• 4. Подтвержденный опыт успешных патентов и технических достижений.
• 5. Высококачественные производственные возможности для надежного и долговечного оборудования.
• 6. Приверженность охране окружающей среды и энергосбережению.

Автор: Мия