Рекуперативный термический окислитель для полупроводниковой промышленности

Введение

Производство полупроводников предполагает использование различных химикатов и растворителей, которые выделяют в атмосферу вредные газы. Эти газы способствуют загрязнению воздуха, что представляет собой серьёзную экологическую проблему. Для решения этой проблемы в полупроводниковой промышленности всё чаще используются рекуперативные термоокислители. Рекуперативные термоокислители – это устройства для контроля загрязнения окружающей среды, которые уничтожают вредные газы и запахи, выделяющиеся в процессе производства, преобразуя их в безвредные вещества.

Как работает Рекуперативный термический окислитель работа?

Рекуперативный термический окислитель работает, используя высокие температуры для преобразования вредных газов в безвредные вещества. Процесс включает в себя нагрев загрязнённого воздуха до температуры около 1500°F (740°C) с последующим смешиванием с достаточным количеством кислорода. Затем смесь проходит через теплообменник, который рекуперирует выделяющееся в процессе тепло. Это тепло используется для предварительного нагрева поступающего загрязнённого воздуха, что снижает энергозатраты на достижение желаемой температуры. Проходя через камеру сгорания, газы окисляются и преобразуются в углекислый газ, водяной пар и тепло. Очищенный воздух выбрасывается в атмосферу, а выделяющееся тепло может быть рекуперировано и использовано для предварительного нагрева поступающего воздуха, что снижает энергопотребление.

Преимущества использования рекуперативных термических окислителей в полупроводниковой промышленности

Использование рекуперативных термических окислителей в производстве полупроводников имеет ряд преимуществ, в том числе:

• Сокращение загрязнения воздуха: рекуперативные термические окислители сокращают количество вредных газов, выбрасываемых в окружающую среду, тем самым уменьшая загрязнение воздуха.
• Соблюдение нормативных требований: использование рекуперативных термических окислителей помогает соблюдать экологические нормы и избегать штрафных санкций, которые могут возникнуть в случае несоблюдения требований.
• Энергоэффективность: рекуперативные термические окислители энергоэффективны, а тепло, выделяемое в ходе процесса, можно рекуперировать и использовать для предварительного нагрева входящего воздуха, что снижает потребление энергии.
• Экономия средств: рекуперация тепла, выделяемого в ходе процесса, может привести к значительной экономии средств на счетах за электроэнергию, что делает рекуперативные термические окислители экономически эффективным решением.
• Повышение безопасности на рабочем месте: использование рекуперативных термических окислителей повышает безопасность на рабочем месте за счет устранения вредных газов, которые могут быть опасны при вдыхании рабочими.

Типы рекуперативных термических окислителей

Существует два основных типа рекуперативных термических окислителей: рекуперативный термический окислитель с прямым нагревом и рекуперативный термический окислитель с косвенным нагревом.

Рекуперативный термический окислитель прямого нагрева

Рекуперативные термические окислители с прямым нагревом применяются при относительно высокой концентрации летучих органических соединений (ЛОС). Процесс заключается в сжигании газов непосредственно в камере сгорания, а выделяющееся тепло используется для предварительного нагрева поступающего воздуха.

Рекуперативный термический окислитель с косвенным нагревом

Рекуперативные термические окислители с косвенным нагревом применяются при низкой концентрации ЛОС. Процесс заключается в косвенном нагреве газов путем их пропускания через теплообменник. Вырабатываемое тепло затем используется для предварительного нагрева поступающего воздуха.

Заключение

Рекуперативные термоокислители – эффективное решение для снижения выбросов вредных газов в полупроводниковой промышленности. Преимущества использования этих устройств включают снижение загрязнения воздуха, соблюдение нормативных требований, энергоэффективность, экономию средств и повышение безопасности на рабочем месте. Существует два основных типа рекуперативных термоокислителей: с прямым и косвенным нагревом, каждый из которых имеет свою специфику применения. Внедрение рекуперативных термоокислителей в производстве полупроводников не только способствует защите окружающей среды, но и обеспечивает соблюдение государственных норм и повышение безопасности на рабочем месте.

Введение в компанию

Мы являемся высокотехнологичным производственным предприятием, специализирующимся на комплексной очистке отходящих газов летучих органических соединений (ЛОС), снижении выбросов углерода и энергосберегающих технологиях. Наши основные технологии включают в себя тепловую энергию, сжигание, герметизацию и автоматическое управление. Мы располагаем возможностями для моделирования температурных полей, моделирования полей воздушных потоков, анализа характеристик керамических теплоаккумулирующих материалов, подбора адсорбционных материалов на основе молекулярных сит, а также проведения экспериментальных испытаний высокотемпературного сжигания и окисления ЛОС.

Преимущества команды

Мы создали центр исследований и разработок в области технологий RTO и центр технологий снижения выбросов углерода в отработавших газах в Сиане, а также производственную базу площадью 30 000 квадратных метров в Янлине. Мы являемся ведущим мировым производителем оборудования RTO и оборудования с молекулярными ситами по объёму производства и продаж. Наша основная техническая команда состоит из сотрудников Научно-исследовательского института жидкостных ракетных двигателей для аэрокосмической отрасли. В настоящее время в компании работает более 360 сотрудников, включая более 60 специалистов по НИОКР, в том числе 3 старших инженера с квалификацией научно-исследовательского уровня, 6 старших инженеров и 55 докторов наук в области термодинамики.

Основные продукты

Наша основная продукция включает в себя термический окислитель с поворотным клапаном (RTO) и адсорбционно-концентрационный центр на основе молекулярного сита. Благодаря нашему опыту в области охраны окружающей среды и проектирования систем тепловой энергетики, мы можем предложить клиентам комплексные решения для очистки промышленных отходящих газов, снижения выбросов углерода и использования тепловой энергии в различных условиях эксплуатации.

Сертификаты, патенты и награды

• Сертификация системы управления интеллектуальной собственностью
• Сертификация системы менеджмента качества
• Сертификация системы экологического менеджмента
• Квалификация предприятия строительной отрасли
• Высокотехнологичное предприятие
• Патент на термический окислитель с поворотным клапаном
• Патент на роторное оборудование для хранения тепла и сжигания отходов
• Патент на дисковое молекулярное сито

Выбор правильного оборудования RTO

• Определить характеристики выхлопных газов
• Понимание местных правил и стандартов выбросов
• Оценить энергоэффективность
• Рассмотрим эксплуатацию и техническое обслуживание
• Анализ бюджета и затрат
• Выберите подходящий тип RTO
• Учитывайте факторы окружающей среды и безопасности
• Тестирование и проверка производительности

Объяснение:

Процесс обслуживания

• Консультации и оценка
• Разработка дизайна и решений
• Производство и изготовление
• Монтаж и наладка
• Послепродажная поддержка

Объяснение:

Мы являемся комплексным поставщиком решений с профессиональной командой, занимающейся разработкой индивидуальных решений RTO для наших клиентов.

Об авторе

Автор: Мия