RTO Gas Treatment Semiconductor Industry

Introducere

RTO, or Regenerative Thermal Oxidation, is an effective method of air pollution control for semiconductor manufacturing plants. This technology works by using high temperatures to break down hazardous compounds in exhaust gases emitted by semiconductor manufacturing processes. With the semiconductor industry rapidly growing, it is essential to have effective air pollution control measures in place to maintain air quality standards and minimize the environmental impact of semiconductor manufacturing.

What is RTO Gas Treatment?

• RTO Gas Treatment is a process that uses high temperatures to break down hazardous compounds in exhaust gases from manufacturing processes.
• This process is highly effective in reducing pollution levels, and it is widely used in the semiconductor industry.
• RTO systems consist of a combustion chamber, a ceramic heat exchanger, and a control system.
• The system works by preheating the incoming gas stream before it enters the combustion chamber, where it is heated to a temperature of around 1500¡ãF.
• The hot gas then passes through the ceramic heat exchanger, where it gives up its heat to the incoming gas stream.
• The outgoing gas stream is then cooled down to a temperature of around 100¡ãF before being released into the atmosphere.

How Does RTO Gas Treatment Work?

• sistem RTOs work by using a combination of high temperatures and residence time to break down hazardous compounds in exhaust gases from manufacturing processes.
• The process starts by preheating the incoming gas stream to a temperature of around 800¡ãF.
• The preheated gas then enters the combustion chamber, where it is heated to a temperature of around 1500¡ãF.
• The high temperature causes the hazardous compounds in the gas stream to break down into less harmful compounds such as water and carbon dioxide.
• The resulting gas stream is then directed through a ceramic heat exchanger, where the heat is transferred to the incoming gas stream.
• The outgoing gas stream is then cooled down to a temperature of around 100¡ãF before being released into the atmosphere.

Benefits of RTO Gas Treatment

• RTO Gas Treatment is highly effective in reducing pollution levels and maintaining air quality standards in the semiconductor industry.
• It is a cost-effective solution for controlling air pollution in semiconductor manufacturing plants.
• RTO systems are easy to operate and require minimal maintenance.
• They are also energy-efficient, as the heat recovered from the outgoing gas stream can be used to preheat the incoming gas stream.
• RTO systems can also be customized to meet the specific needs of semiconductor manufacturing plants.

Applications of RTO Gas Treatment in Semiconductor Industry

• RTO Gas Treatment is commonly used in the semiconductor industry for controlling air pollution emissions.
• It is used in the manufacturing of various semiconductor products, including microchips, integrated circuits, and memory devices.
• RTO systems are also used in the etching, lithography, and deposition processes in semiconductor manufacturing.

The Future of RTO Gas Treatment in Semiconductor Industry

• RTO Gas Treatment is expected to become even more popular in the semiconductor industry in the future as the industry continues to grow.
• Newer and more efficient RTO systems are being developed to meet the specific needs of semiconductor manufacturing plants.
• The use of RTO Gas Treatment is also expected to increase as environmental regulations become more stringent.

Concluzie

RTO Gas Treatment is an effective method of air pollution control for semiconductor manufacturing plants. With the semiconductor industry rapidly growing, it is essential to have effective air pollution control measures in place to maintain air quality standards and minimize the environmental impact of semiconductor manufacturing. RTO systems are highly effective, cost-effective, energy-efficient, and easy to operate and maintain. They are widely used in the semiconductor industry for controlling air pollution emissions and are expected to become even more popular in the future.

Suntem o întreprindere de înaltă tehnologie specializată în tratarea cuprinzătoare a compușilor organici volatili (COV) gazele reziduale și reducerea carbonului și tehnologie de economisire a energiei pentru fabricarea de echipamente de ultimă generație. Echipa noastră tehnică de bază provine de la Institutul de Cercetare a Motoarelor de rachete cu lichid aerospațial (Aerospace Sixth Institute); are peste 60 de tehnicieni R&D, inclusiv 3 ingineri seniori la nivel de cercetător și 16 ingineri seniori. Are patru tehnologii de bază: energie termică, ardere, etanșare și control automat; are capacitatea de a simula câmpurile de temperatură și modelarea și calculul de simulare a câmpului de flux de aer; are capacitatea de a testa performanța materialelor ceramice de stocare termică, selectarea materialelor de adsorbție prin sită moleculară și testarea experimentală a caracteristicilor de incinerare și oxidare la temperatură înaltă a materiei organice COV. Compania a construit un centru de cercetare și dezvoltare a tehnologiei RTO și un centru tehnologic de reducere a carbonului a gazelor de eșapament în orașul antic Xi'an și o bază de producție de 30.000 m2 în Yangling. Volumul producției și vânzărilor de echipamente RTO este cu mult înainte în lume.

Introducere în platformele noastre de cercetare și dezvoltare

1. Banc de testare a tehnologiei de control al arderii de înaltă eficiență

Acest banc de testare este conceput pentru a evalua și optimiza procesul de ardere pentru tratarea eficientă a gazelor reziduale. Ne permite să studiem și să dezvoltăm tehnici avansate de ardere, asigurând o eficiență ridicată a distrugerii și un consum redus de energie.

2. Banc de testare a eficienței adsorbției prin sită moleculară

Cu acest banc de testare, putem investiga și evalua performanța diferitelor materiale de adsorbție prin sită moleculară. Ne permite să identificăm cei mai eficienți adsorbanți pentru îndepărtarea COV, ceea ce duce la o eficiență îmbunătățită a tratamentului.

3. Banc de testare pentru tehnologie de stocare termică ceramică de înaltă eficiență

Acest banc de testare se concentrează pe dezvoltarea și evaluarea materialelor ceramice de stocare termică pentru recuperarea căldurii reziduale. Ne permite să testăm și să optimizăm capacitatea de stocare termică, durabilitatea și eficiența transferului de căldură a diferitelor materiale ceramice.

4. Banc de testare pentru recuperarea căldurii reziduale la temperaturi ultra-înalte

Folosind acest banc de testare, putem explora tehnologii inovatoare pentru recuperarea și utilizarea căldurii reziduale la temperaturi ultra-înalte. Ne permite să evaluăm performanța și fezabilitatea diferitelor metode de recuperare a căldurii reziduale, contribuind la conservarea energiei.

5. Banc de testare pentru tehnologie de etanșare a fluidelor de gaz

Bancul de testare a tehnologiei de etanșare a fluidului gazos este dedicat studierii și îmbunătățirii performanței de etanșare a echipamentelor utilizate în tratarea gazelor reziduale. Ne ajută să dezvoltăm soluții avansate de etanșare care minimizează scurgerile și asigură siguranța operațională.

Am obținut un succes remarcabil în eforturile noastre de cercetare și dezvoltare, rezultând numeroase brevete și onoruri. Am aplicat pentru un total de 68 de brevete, inclusiv 21 de brevete de invenție, care acoperă componentele critice ale tehnologiilor noastre. Dintre acestea, ni s-au acordat 4 brevete de invenție, 41 de brevete de model de utilitate, 6 brevete de design și 7 drepturi de autor pentru software.

Capacitatea de producție

1. Linie de producție automată de sablare și vopsire din plăci de oțel și profil

Această linie de producție permite tratarea eficientă a suprafeței plăcilor și profilelor de oțel utilizate în fabricarea echipamentelor noastre. Asigură o aderență excelentă a stratului și rezistență la coroziune, rezultând produse durabile și de înaltă calitate.

2. Linie de producție de sablare manuală

Linia de producție de sablare manuală este capabilă să curețe și să pregătească componente mici și complexe pentru prelucrare ulterioară. Oferă un tratament precis și amănunțit al suprafeței, asigurând performanțe optime și longevitate.

3. Echipamente pentru îndepărtarea prafului și protecția mediului

În baza noastră de producție, avem facilități avansate pentru fabricarea echipamentelor de îndepărtare a prafului și de protecție a mediului. Aceste sisteme captează și îndepărtează eficient particulele și gazele dăunătoare, promovând un mediu de lucru curat și sigur.

4. Cabina automată de vopsire

Avem o cabină automată de vopsire de ultimă generație care asigură acoperiri consistente și de înaltă calitate pe echipamentele noastre. Garantează un aspect estetic excelent și rezistență la coroziune, îndeplinind cele mai înalte standarde din industrie.

5. Camera de uscare

Camera noastră de uscare este echipată cu tehnologie avansată pentru a facilita procesul de uscare pentru produsele noastre fabricate. Asigură condiții optime de uscare, conducând la o calitate și performanță superioară a produsului.

Ne invităm clienții să colaboreze cu noi și să beneficieze de expertiza noastră în tratarea gazelor reziduale și tehnologii de economisire a energiei. Iată șase avantaje ale parteneriatului cu noi:

• 1. Capacități de cercetare și dezvoltare de ultimă oră, asigurând soluții inovatoare și eficiente.
• 2. Experiență vastă în tratarea gazelor reziduale COV și reducerea carbonului.
• 3. Facilități avansate de cercetare și testare pentru validarea tehnologiei.
• 4. Istoricul dovedit de brevete de succes și realizări tehnice.
• 5. Capacități de producție de înaltă calitate pentru echipamente fiabile și durabile.
• 6. Angajamentul față de protecția mediului și conservarea energiei.

Autor: Miya