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Oxidante térmico RTO para a indústria de semicondutores

O Oxidante Térmico Regenerativo (RTO) é uma tecnologia avançada amplamente utilizada na indústria de semicondutores para o tratamento de compostos orgânicos voláteis (COVs) e poluentes atmosféricos perigosos (HAPs). Este sistema altamente eficiente garante a conformidade com as normas ambientais e promove práticas sustentáveis ​​na fabricação de semicondutores.

Benefícios do Oxidante Térmico RTO

  • Alta eficiência na destruição de COVs
  • Os oxidadores térmicos RTO são projetados para atingir alta eficiência na destruição de COVs (Compostos Orgânicos Voláteis), tipicamente acima de 99%. Isso garante a eliminação eficaz das emissões nocivas liberadas durante os processos de fabricação de semicondutores.

  • Eficiência energética e redução de custos
  • O design regenerativo de Oxidador térmico RTO
    O sistema permite a recuperação da energia térmica gerada durante a combustão de COVs (Compostos Orgânicos Voláteis). Essa energia recuperada é então utilizada para pré-aquecer o fluxo de gás de processo, resultando em economia significativa de energia e redução dos custos operacionais.

  • Requisitos de baixa manutenção
  • Os oxidadores térmicos RTO possuem um design simples e robusto, o que facilita sua operação e manutenção. A ausência de componentes complexos reduz a necessidade de manutenção frequente, minimizando o tempo de inatividade e maximizando a eficiência da produção.

  • Conformidade Ambiental
  • Os oxidadores térmicos RTO desempenham um papel crucial para ajudar os fabricantes de semicondutores a atender às rigorosas regulamentações ambientais. Ao destruir eficazmente os COVs e os HAPs, esses sistemas impedem sua liberação na atmosfera, reduzindo o impacto ambiental da fabricação de semicondutores.

Operação do oxidante térmico RTO

O funcionamento de um oxidante térmico RTO envolve várias etapas principais:

  1. Adsorção
  2. O gás de processo carregado de COVs é direcionado para o primeiro regenerador, onde um meio cerâmico com alta área superficial adsorve os COVs.

  3. Pré-aquecimento
  4. O gás de processo limpo é pré-aquecido ao passar pelo regenerador, utilizando o calor armazenado do ciclo anterior.

  5. Combustão
  6. O gás pré-aquecido entra na câmara de combustão, onde é levado à temperatura necessária para a combustão. Os COVs são oxidados em dióxido de carbono e vapor de água.

  7. Recuperação de calor
  8. O gás quente e limpo que sai da câmara de combustão passa pelo segundo regenerador, transferindo seu calor para o meio cerâmico.

  9. Resfriamento e descarga
  10. O gás tratado é resfriado antes de ser liberado na atmosfera, enquanto o meio cerâmico no primeiro regenerador é purgado de COVs adsorvidos por um fluxo de ar limpo.

De forma geral, o funcionamento de um oxidante térmico RTO garante a destruição eficiente de COVs, minimizando o consumo de energia e mantendo a conformidade ambiental.

Oxidador térmico RTO

Introdução da empresa

Somos uma empresa de fabricação de equipamentos de alta tecnologia especializada na gestão abrangente da redução das emissões de compostos orgânicos voláteis (COVs) e de carbono, bem como em tecnologias de economia de energia para a indústria de semicondutores. Nossas principais tecnologias incluem energia térmica, combustão, vedação e controle automático, com capacidade para simular campos de temperatura e fluxo de ar, realizar cálculos de modelagem, selecionar materiais cerâmicos para armazenamento de calor, materiais de adsorção de peneiras moleculares e conduzir experimentos de incineração e oxidação de COVs em altas temperaturas.

Possuímos um centro de P&D em tecnologia RTO e um centro de engenharia de redução de carbono em gases residuais em Xi'an, além de uma base de produção de 30.000 m³/h em Yangling. Somos o principal fabricante mundial de equipamentos RTO e equipamentos rotativos para peneiras moleculares em termos de produção e volume de vendas. Nossa equipe técnica principal é formada por profissionais do Instituto de Pesquisa de Motores de Foguete Líquido Aeroespacial (6º Instituto Aeroespacial). Contamos com mais de 360 ​​funcionários, incluindo mais de 60 especialistas técnicos em P&D, 3 pesquisadores, 6 engenheiros seniores e 197 doutores em termodinâmica.

Nossos principais produtos são dispositivos rotativos de adsorção e concentração de RTO e peneiras moleculares. Combinando isso com nossa própria experiência em engenharia de sistemas de energia térmica e proteção ambiental, podemos fornecer aos clientes soluções abrangentes para tratamento de gases de escape industriais, aproveitamento de energia térmica, redução de emissões de carbono e muito mais.

Certificações, Patentes e Honrarias

Nossa empresa obteve as seguintes certificações e qualificações:

  • Certificação do Sistema de Gestão da Propriedade Intelectual
  • Certificação do Sistema de Gestão da Qualidade
  • Certificação do Sistema de Gestão Ambiental
  • Qualificação Empresarial da Indústria da Construção
  • Certificação de Empresas de Alta Tecnologia
  • Patentes para válvula RTO para forno rotativo de oxidação com armazenamento de calor, equipamento rotativo de incineração com armazenamento de calor e equipamento rotativo de peneira molecular em formato de disco, etc.

Foto:

Fábrica RTO

Como escolher o equipamento RTO certo

A escolha do equipamento RTO adequado requer os seguintes passos:

  1. Determinar as características dos gases de escape
  2. Entenda os regulamentos locais e os padrões de emissão
  3. Avaliar a eficiência energética
  4. Considere a operação e a manutenção
  5. Análise de orçamento e custos
  6. Selecione o tipo de RTO apropriado
  7. Considere fatores ambientais e de segurança
  8. Teste e verificação de desempenho

Explicação:

Equipamento RTO

Nosso Processo de Serviço

Nosso processo de serviço inclui as seguintes etapas:

  1. Consulta e avaliação: consulta preliminar, inspeção no local, análise de necessidades
  2. Projeto e planejamento: projeto do programa, simulação e modelagem, revisão do programa.
  3. Produção e fabricação: produção personalizada, controle de qualidade, testes de fábrica
  4. Instalação e comissionamento: instalação, comissionamento e operação no local, serviços de treinamento
  5. Suporte pós-venda: manutenção regular, suporte técnico, fornecimento de peças de reposição

Explicação:

Somos um fornecedor de soluções completas com uma equipe profissional que adapta as soluções RTO às necessidades dos clientes.

Autor: Miya

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