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Tratamento de gás RTO Indústria de semicondutores

Tratamento de gás RTO para a indústria de semicondutores

Introdução

A Oxidação Térmica Regenerativa (RTO) é um método eficaz de controle da poluição do ar em fábricas de semicondutores. Essa tecnologia utiliza altas temperaturas para decompor compostos perigosos presentes nos gases de escape emitidos pelos processos de fabricação de semicondutores. Com o rápido crescimento da indústria de semicondutores, é essencial implementar medidas eficazes de controle da poluição do ar para manter os padrões de qualidade do ar e minimizar o impacto ambiental da fabricação desses produtos.

O que é tratamento de gás RTO?

  • O tratamento de gases RTO é um processo que utiliza altas temperaturas para decompor compostos perigosos presentes nos gases de escape provenientes de processos de fabricação.
  • Esse processo é altamente eficaz na redução dos níveis de poluição e é amplamente utilizado na indústria de semicondutores.
  • Os sistemas RTO consistem em uma câmara de combustão, um trocador de calor cerâmico e um sistema de controle.
  • O sistema funciona pré-aquecendo o fluxo de gás de entrada antes que ele entre na câmara de combustão, onde é aquecido a uma temperatura de cerca de 1500°F.
  • O gás quente passa então pelo trocador de calor cerâmico, onde cede seu calor para o fluxo de gás que entra.
  • O fluxo de gás que sai é então resfriado a uma temperatura de cerca de 100°F antes de ser liberado na atmosfera.

Como funciona o tratamento de gás RTO?

  • Sistema RTOFuncionam utilizando uma combinação de altas temperaturas e tempo de residência para decompor compostos perigosos em gases de escape de processos de fabricação.
  • O processo começa com o pré-aquecimento do fluxo de gás de entrada a uma temperatura de cerca de 800°F.
  • O gás pré-aquecido entra então na câmara de combustão, onde é aquecido a uma temperatura de cerca de 1500°F.
  • A alta temperatura faz com que os compostos perigosos na corrente gasosa se decomponham em compostos menos nocivos, como água e dióxido de carbono.
  • O fluxo de gás resultante é então direcionado através de um trocador de calor cerâmico, onde o calor é transferido para o fluxo de gás de entrada.
  • O fluxo de gás que sai é então resfriado a uma temperatura de cerca de 100°F antes de ser liberado na atmosfera.

Benefícios do tratamento de gás RTO

  • O tratamento com gás RTO é altamente eficaz na redução dos níveis de poluição e na manutenção dos padrões de qualidade do ar na indústria de semicondutores.
  • Trata-se de uma solução economicamente viável para o controle da poluição do ar em fábricas de semicondutores.
  • Os sistemas RTO são fáceis de operar e exigem manutenção mínima.
  • Além disso, são energeticamente eficientes, pois o calor recuperado do fluxo de gás de saída pode ser usado para pré-aquecer o fluxo de gás de entrada.
  • Os sistemas RTO também podem ser personalizados para atender às necessidades específicas das fábricas de semicondutores.

Aplicações do tratamento com gás RTO na indústria de semicondutores

  • O tratamento com gás RTO é comumente usado na indústria de semicondutores para controlar as emissões de poluentes atmosféricos.
  • É utilizado na fabricação de diversos produtos semicondutores, incluindo microchips, circuitos integrados e dispositivos de memória.
  • Os sistemas RTO também são utilizados nos processos de corrosão, litografia e deposição na fabricação de semicondutores.

O futuro do tratamento de gases RTO na indústria de semicondutores

  • Espera-se que o tratamento com gás RTO se torne ainda mais popular na indústria de semicondutores no futuro, à medida que o setor continua a crescer.
  • Sistemas RTO mais modernos e eficientes estão sendo desenvolvidos para atender às necessidades específicas das fábricas de semicondutores.
  • Espera-se também que o uso do tratamento de gás RTO aumente à medida que as regulamentações ambientais se tornem mais rigorosas.

Conclusão

O tratamento de gases por RTO (Oxidação em Tempo Real) é um método eficaz de controle da poluição do ar em fábricas de semicondutores. Com o rápido crescimento da indústria de semicondutores, é essencial implementar medidas eficazes de controle da poluição do ar para manter os padrões de qualidade do ar e minimizar o impacto ambiental da fabricação de semicondutores. Os sistemas RTO são altamente eficazes, econômicos, energeticamente eficientes e fáceis de operar e manter. Eles são amplamente utilizados na indústria de semicondutores para controlar as emissões de poluentes atmosféricos e espera-se que se tornem ainda mais populares no futuro.

Somos uma empresa de alta tecnologia especializada no tratamento abrangente de gases residuais de compostos orgânicos voláteis (COVs), redução de carbono e tecnologia de economia de energia para a fabricação de equipamentos de ponta. Nossa equipe técnica principal é formada pelo Instituto de Pesquisa de Motores de Foguete Líquido Aeroespacial (Aerospace Sixth Institute); conta com mais de 60 técnicos de P&D, incluindo 3 engenheiros seniores em nível de pesquisa e 16 engenheiros seniores. A empresa possui quatro tecnologias principais: energia térmica, combustão, selagem e controle automático; possui a capacidade de simular campos de temperatura e modelagem e cálculo de simulação de campo de fluxo de ar; possui a capacidade de testar o desempenho de materiais cerâmicos de armazenamento térmico, a seleção de materiais de adsorção por peneira molecular e o teste experimental das características de incineração e oxidação em alta temperatura da matéria orgânica de COVs. A empresa construiu um centro de pesquisa e desenvolvimento de tecnologia RTO e um centro de tecnologia de engenharia de redução de carbono de gases de escape na antiga cidade de Xi'an, e uma base de produção de 30.000 m² em Yangling. O volume de produção e vendas de equipamentos RTO está muito à frente do mundo.

Introdução às nossas plataformas de pesquisa e desenvolvimento

1. Bancada de Testes de Tecnologia de Controle de Combustão de Alta Eficiência

Esta bancada de testes foi projetada para avaliar e otimizar o processo de combustão para o tratamento eficiente de gases residuais. Ela nos permite estudar e desenvolver técnicas avançadas de combustão, garantindo alta eficiência de destruição e baixo consumo de energia.

2. Bancada de Teste de Eficiência de Adsorção de Peneiras Moleculares

Com esta bancada de testes, podemos investigar e avaliar o desempenho de diversos materiais adsorventes de peneira molecular. Ela nos permite identificar os adsorventes mais eficazes para a remoção de COVs, resultando em maior eficiência do tratamento.

3. Bancada de Testes para Tecnologia de Armazenamento Térmico Cerâmico de Alta Eficiência

Esta bancada de testes concentra-se no desenvolvimento e avaliação de materiais cerâmicos para armazenamento térmico na recuperação de calor residual. Ela permite testar e otimizar a capacidade de armazenamento térmico, a durabilidade e a eficiência de transferência de calor de diferentes materiais cerâmicos.

4. Bancada de Teste de Recuperação de Calor Residual em Ultra-Altas Temperaturas

Utilizando esta bancada de testes, podemos explorar tecnologias inovadoras para recuperar e aproveitar o calor residual de altíssima temperatura. Ela nos permite avaliar o desempenho e a viabilidade de diversos métodos de recuperação de calor residual, contribuindo para a conservação de energia.

5. Bancada de Testes de Tecnologia de Vedação de Fluidos Gasosos

A bancada de testes de tecnologia de vedação de fluidos gasosos é dedicada ao estudo e aprimoramento do desempenho de vedação de equipamentos utilizados no tratamento de gases residuais. Ela nos auxilia no desenvolvimento de soluções de vedação avançadas que minimizam vazamentos e garantem a segurança operacional.

Plataformas de Pesquisa e Desenvolvimento

Obtivemos um sucesso notável em nossos esforços de pesquisa e desenvolvimento, resultando em inúmeras patentes e prêmios. Solicitamos um total de 68 patentes, incluindo 21 patentes de invenção, que abrangem componentes críticos de nossas tecnologias. Entre elas, obtivemos 4 patentes de invenção, 41 patentes de modelo de utilidade, 6 patentes de design e 7 direitos autorais de software.

Honrarias da empresa

Capacidade de produção

1. Linha de produção automática de jateamento e pintura de chapas e perfis de aço

Esta linha de produção permite o tratamento superficial eficiente de chapas e perfis de aço utilizados na fabricação de nossos equipamentos. Ela garante excelente aderência do revestimento e resistência à corrosão, resultando em produtos duráveis ​​e de alta qualidade.

2. Linha de produção de jateamento manual

A linha de produção de jateamento manual é capaz de limpar e preparar componentes pequenos e complexos para processamento posterior. Ela proporciona um tratamento de superfície preciso e completo, garantindo desempenho ideal e maior durabilidade.

3. Equipamentos para Remoção de Poeira e Proteção Ambiental

Em nossa unidade de produção, contamos com instalações avançadas para a fabricação de equipamentos de remoção de poeira e proteção ambiental. Esses sistemas capturam e removem com eficácia partículas e gases nocivos, promovendo um ambiente de trabalho limpo e seguro.

4. Cabine de Pintura Automática

Possuímos uma cabine de pintura automática de última geração que garante revestimentos consistentes e de alta qualidade em nossos equipamentos. Ela assegura excelente apelo estético e resistência à corrosão, atendendo aos mais altos padrões da indústria.

5. Sala de Secagem

Nossa câmara de secagem está equipada com tecnologia avançada para facilitar o processo de secagem de nossos produtos. Isso garante condições ideais de secagem, resultando em qualidade e desempenho superiores.

Base de Produção

Convidamos nossos clientes a colaborar conosco e a se beneficiarem de nossa experiência em tratamento de gases residuais e tecnologias de economia de energia. Aqui estão seis vantagens de ser nosso parceiro:

  • 1. Capacidades de P&D de ponta, garantindo soluções inovadoras e eficazes.
  • 2. Ampla experiência no tratamento de gases residuais contendo COVs e na redução de carbono.
  • 3. Instalações avançadas de pesquisa e testes para validação de tecnologia.
  • 4. Histórico comprovado de patentes bem-sucedidas e conquistas técnicas.
  • 5. Capacidade de produção de alta qualidade para equipamentos confiáveis ​​e duráveis.
  • 6. Compromisso com a proteção ambiental e a conservação de energia.

Nossas Vantagens

Autor: Miya

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