Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende chemicaliën en oplosmiddelen gebruikt die schadelijke gassen in de atmosfeer uitstoten. Deze gassen dragen bij aan luchtvervuiling, een belangrijke milieukwestie. Om dit probleem te verminderen, worden recuperatieve thermische oxidatoren steeds vaker gebruikt in de halfgeleiderindustrie. Recuperatieve thermische oxidatoren zijn apparaten voor vervuilingsbeheersing die schadelijke gassen en geuren die tijdens het productieproces vrijkomen, vernietigen door ze om te zetten in onschadelijke stoffen.
Een recuperatieve thermische oxidator werkt door hoge temperaturen te gebruiken om schadelijke gassen om te zetten in onschadelijke stoffen. Het proces omvat het verwarmen van de vervuilde lucht tot een temperatuur van ongeveer 730 °C, terwijl deze wordt gemengd met voldoende zuurstof. Het mengsel stroomt vervolgens door een warmtewisselaar die de tijdens het proces gegenereerde warmte terugwint. Deze warmte wordt vervolgens gebruikt om de binnenkomende vervuilde lucht voor te verwarmen, waardoor er minder energie nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken. Terwijl de gassen door de verbrandingskamer stromen, worden ze geoxideerd en omgezet in koolstofdioxide, waterdamp en warmte. De gezuiverde lucht wordt vrijgegeven aan de atmosfeer, terwijl de gegenereerde warmte kan worden teruggewonnen en gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen, wat het energieverbruik verlaagt.
Het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren bij de productie van halfgeleiders brengt verschillende voordelen met zich mee, waaronder:
Er zijn twee hoofdtypen recuperatieve thermische oxidatoren: de direct gestookte recuperatieve thermische oxidator en de indirect gestookte recuperatieve thermische oxidator.
Direct gestookte recuperatieve thermische oxidatoren worden gebruikt wanneer de concentratie vluchtige organische stoffen (VOS) relatief hoog is. Het proces omvat het direct verbranden van de gassen in de verbrandingskamer en de gegenereerde warmte wordt gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen.
Indirect gestookte recuperatieve thermische oxidatoren worden gebruikt wanneer de concentratie vluchtige organische stoffen laag is. Het proces omvat het indirect verwarmen van de gassen door ze door een warmtewisselaar te leiden. De gegenereerde warmte wordt vervolgens gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen.
Recuperatieve thermische oxidatoren zijn een effectieve oplossing voor het verminderen van de uitstoot van schadelijke gassen in de halfgeleiderindustrie. De voordelen van het gebruik van deze apparaten zijn onder andere minder luchtvervuiling, naleving van regelgeving, energie-efficiëntie, kostenbesparingen en verbeterde veiligheid op de werkplek. De twee belangrijkste typen recuperatieve thermische oxidatoren zijn direct gestookte en indirect gestookte, elk met hun specifieke toepassingen. Het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren in de halfgeleiderproductie draagt niet alleen bij aan de bescherming van het milieu, maar waarborgt ook de naleving van overheidsvoorschriften en bevordert de veiligheid op de werkplek.
Wij zijn een hightech productiebedrijf dat gespecialiseerd is in de volledige behandeling van uitlaatgassen van vluchtige organische stoffen (VOS) en in koolstofreductie en energiebesparende technologieën. Onze kerntechnologieën omvatten thermische energie, verbranding, afdichting en automatische regeling. We beschikken over expertise op het gebied van temperatuurveldsimulatie, veldsimulatiemodellering van luchtstroom, prestaties van keramische warmteopslagmaterialen, materiaalselectie voor moleculaire zeefadsorptie en experimentele testen met hogetemperatuurverbranding en oxidatie van VOS.
We have established an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, as well as a 30,000 square meter production base in Yangling. We are a leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve wheel equipment in terms of production and sales volume globally. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute. We currently have over 360 employees, including more than 60 R&D technology backbones, including 3 senior engineers with research-level qualifications, 6 senior engineers, and 55 thermodynamics PhDs.
Onze kernproducten omvatten de Rotary Valve Thermal Oxidizer (RTO) en het moleculaire zeef-adsorptieconcentratiewiel. Gecombineerd met onze expertise in milieubescherming en engineering van thermische energiesystemen kunnen we klanten complete oplossingen bieden voor industriële rookgasbehandeling, koolstofreductie en thermische energiebenutting onder diverse bedrijfsomstandigheden.
Uitleg:
Uitleg:
Wij zijn een one-stop solution provider met een professioneel team dat zich toelegt op het op maat maken van RTO-oplossingen voor onze klanten.
Auteur: Miya
RTO for Sterile API Crystallization and Drying Exhaust Treatment How our rotor concentrator plus RTO…
RTO For Revolutionizing Fermentation Exhaust Treatment How our three-bed RTO system efficiently handles esters, alcohols,…
RTO for Soft Capsule/Injection Extract Concentration How our regenerative thermal oxidizer system efficiently handles acetone,…
RTO For Revolutionizing Tablet/Capsule Fluid Bed Coating How our three-bed regenerative thermal oxidizer system efficiently…