Recuperatieve thermische oxidator voor de halfgeleiderindustrie

Invoering

Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende chemicaliën en oplosmiddelen gebruikt die schadelijke gassen in de atmosfeer uitstoten. Deze gassen dragen bij aan luchtvervuiling, een belangrijke milieukwestie. Om dit probleem te verminderen, worden recuperatieve thermische oxidatoren steeds vaker gebruikt in de halfgeleiderindustrie. Recuperatieve thermische oxidatoren zijn apparaten voor vervuilingsbeheersing die schadelijke gassen en geuren die tijdens het productieproces vrijkomen, vernietigen door ze om te zetten in onschadelijke stoffen.

Hoe werkt een Recuperatieve thermische oxidator werk?

Een recuperatieve thermische oxidator werkt door hoge temperaturen te gebruiken om schadelijke gassen om te zetten in onschadelijke stoffen. Het proces omvat het verwarmen van de vervuilde lucht tot een temperatuur van ongeveer 730 °C, terwijl deze wordt gemengd met voldoende zuurstof. Het mengsel stroomt vervolgens door een warmtewisselaar die de tijdens het proces gegenereerde warmte terugwint. Deze warmte wordt vervolgens gebruikt om de binnenkomende vervuilde lucht voor te verwarmen, waardoor er minder energie nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken. Terwijl de gassen door de verbrandingskamer stromen, worden ze geoxideerd en omgezet in koolstofdioxide, waterdamp en warmte. De gezuiverde lucht wordt vrijgegeven aan de atmosfeer, terwijl de gegenereerde warmte kan worden teruggewonnen en gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen, wat het energieverbruik verlaagt.

Voordelen van het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren in de halfgeleiderindustrie

Het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren bij de productie van halfgeleiders brengt verschillende voordelen met zich mee, waaronder:

• Minder luchtvervuiling: Recuperatieve thermische oxidatoren beperken de hoeveelheid schadelijke gassen die in het milieu worden uitgestoten en verminderen zo de luchtvervuiling.
• Naleving van regelgeving: Door gebruik te maken van recuperatieve thermische naverbranders kunt u voldoen aan de milieuregelgeving en voorkomt u boetes die kunnen voortvloeien uit het niet naleven ervan.
• Energie-efficiëntie: Recuperatieve thermische oxidatoren zijn energie-efficiënt. De warmte die tijdens het proces wordt gegenereerd, kan worden teruggewonnen en gebruikt om de inkomende lucht voor te verwarmen, waardoor het energieverbruik wordt verlaagd.
• Kostenbesparing: Door de warmte die tijdens het proces wordt gegenereerd terug te winnen, kunt u flink besparen op uw energierekening. Recuperatieve thermische naverbranders zijn daarom een ​​kosteneffectieve oplossing.
• Verbeterde veiligheid op de werkplek: Het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren verbetert de veiligheid op de werkplek door het elimineren van schadelijke gassen, die gevaarlijk kunnen zijn als werknemers ze inademen.

Soorten recuperatieve thermische oxidatoren

Er zijn twee hoofdtypen recuperatieve thermische oxidatoren: de direct gestookte recuperatieve thermische oxidator en de indirect gestookte recuperatieve thermische oxidator.

Direct gestookte recuperatieve thermische oxidator

Direct gestookte recuperatieve thermische oxidatoren worden gebruikt wanneer de concentratie vluchtige organische stoffen (VOS) relatief hoog is. Het proces omvat het direct verbranden van de gassen in de verbrandingskamer en de gegenereerde warmte wordt gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen.

Indirect gestookte recuperatieve thermische oxidator

Indirect gestookte recuperatieve thermische oxidatoren worden gebruikt wanneer de concentratie vluchtige organische stoffen laag is. Het proces omvat het indirect verwarmen van de gassen door ze door een warmtewisselaar te leiden. De gegenereerde warmte wordt vervolgens gebruikt om de binnenkomende lucht voor te verwarmen.

Conclusie

Recuperatieve thermische oxidatoren zijn een effectieve oplossing voor het verminderen van de uitstoot van schadelijke gassen in de halfgeleiderindustrie. De voordelen van het gebruik van deze apparaten zijn onder andere minder luchtvervuiling, naleving van regelgeving, energie-efficiëntie, kostenbesparingen en verbeterde veiligheid op de werkplek. De twee belangrijkste typen recuperatieve thermische oxidatoren zijn direct gestookte en indirect gestookte, elk met hun specifieke toepassingen. Het gebruik van recuperatieve thermische oxidatoren in de halfgeleiderproductie draagt ​​niet alleen bij aan de bescherming van het milieu, maar waarborgt ook de naleving van overheidsvoorschriften en bevordert de veiligheid op de werkplek.

Bedrijfsintroductie

Wij zijn een hightech productiebedrijf dat gespecialiseerd is in de volledige behandeling van uitlaatgassen van vluchtige organische stoffen (VOS) en in koolstofreductie en energiebesparende technologieën. Onze kerntechnologieën omvatten thermische energie, verbranding, afdichting en automatische regeling. We beschikken over expertise op het gebied van temperatuurveldsimulatie, veldsimulatiemodellering van luchtstroom, prestaties van keramische warmteopslagmaterialen, materiaalselectie voor moleculaire zeefadsorptie en experimentele testen met hogetemperatuurverbranding en oxidatie van VOS.

Teamvoordelen

We hebben een onderzoeks- en ontwikkelingscentrum voor RTO-technologie en een technologiecentrum voor uitlaatgasreductie opgericht in Xi'an, evenals een productielocatie van 30.000 vierkante meter in Yangling. We zijn wereldwijd een toonaangevende fabrikant van RTO-apparatuur en apparatuur voor moleculaire zeefwielen qua productie- en verkoopvolume. Ons technische kernteam is afkomstig van het Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute. We hebben momenteel meer dan 360 medewerkers, waaronder meer dan 60 R&D-technologische backbones, waaronder 3 senior engineers met onderzoekskwalificaties, 6 senior engineers en 55 doctoraten in de thermodynamica.

Kernproducten

Onze kernproducten omvatten de Rotary Valve Thermal Oxidizer (RTO) en het moleculaire zeef-adsorptieconcentratiewiel. Gecombineerd met onze expertise in milieubescherming en engineering van thermische energiesystemen kunnen we klanten complete oplossingen bieden voor industriële rookgasbehandeling, koolstofreductie en thermische energiebenutting onder diverse bedrijfsomstandigheden.

Certificeringen, patenten en onderscheidingen

• Certificering van het Intellectueel Eigendomsbeheersysteem
• Certificering van kwaliteitsmanagementsysteem
• Certificering van milieumanagementsystemen
• Kwalificatie voor ondernemingen in de bouwsector
• Hightech-onderneming
• Patent voor roterende klep thermische oxidator
• Patent voor roterende warmteopslagverbrandingsapparatuur
• Patent voor schijfvormig moleculair zeefwiel

De juiste RTO-apparatuur kiezen

• Bepaal de kenmerken van uitlaatgassen
• Begrijp de lokale regelgeving en emissienormen
• Energie-efficiëntie evalueren
• Houd rekening met de werking en het onderhoud
• Budget- en kostenanalyse
• Selecteer het juiste RTO-type
• Houd rekening met milieu- en veiligheidsfactoren
• Prestatietesten en verificatie

Uitleg:

Serviceproces

• Consultatie en evaluatie
• Ontwerp en oplossingsontwikkeling
• Productie en fabricage
• Installatie en inbedrijfstelling
• Aftersales-ondersteuning

Uitleg:

Wij zijn een one-stop solution provider met een professioneel team dat zich toelegt op het op maat maken van RTO-oplossingen voor onze klanten.

Over de auteur

Auteur: Miya