半導体産業向け回復熱酸化装置

はじめに

半導体製造では、大気中に有害ガスを放出する様々な化学物質や溶剤が使用されます。これらのガスは大気汚染の一因となり、深刻な環境問題となっています。この問題を軽減するため、半導体業界では再生式熱分解装置の使用がますます増加しています。再生式熱分解装置は、製造工程で発生する有害ガスや臭気を無害な物質に変換することで分解する汚染防止装置です。

どのように 再生熱酸化装置 仕事？

回収式熱酸化装置は、高温を利用して有害ガスを無害な物質に変換する仕組みです。このプロセスでは、汚染された空気を約1500°F（約840℃）まで加熱し、適切な量の酸素と混合します。その後、混合気は熱交換器を通過し、そこで発生した熱を回収します。この熱は、流入する汚染された空気を予熱するために利用され、目的の温度に達するために必要なエネルギー量を削減します。ガスは燃焼室を通過する際に酸化され、二酸化炭素、水蒸気、そして熱に変換されます。浄化された空気は大気中に放出されますが、発生した熱は回収され、流入する空気の予熱に利用されるため、エネルギー消費を削減できます。

半導体産業における回復熱酸化装置の使用の利点

半導体製造において回復熱酸化装置を使用すると、次のようないくつかの利点が得られます。

• 大気汚染の軽減: 回復熱酸化装置は環境に排出される有害ガスの量を減らし、大気汚染を軽減します。
• 規制の遵守: 回復熱酸化装置の使用は、環境規制の遵守に役立ち、違反によって生じる可能性のある罰金を回避することができます。
• エネルギー効率: 回復熱酸化装置はエネルギー効率に優れ、処理中に発生した熱を回収して流入空気の予熱に使用できるため、エネルギー消費を削減できます。
• コスト削減: プロセス中に発生する熱を回収することで、エネルギー料金の大幅な節約が可能になり、回復型熱酸化装置はコスト効率の高いソリューションになります。
• 職場の安全性の向上: 回復熱酸化装置を使用すると、作業者が吸入すると危険な有害ガスが除去され、職場の安全性が向上します。

再生熱酸化装置の種類

回復熱酸化装置には、直接燃焼回復熱酸化装置と間接燃焼回復熱酸化装置の 2 つの主なタイプがあります。

直火式再生熱酸化装置

直火式熱回収式酸化装置は、揮発性有機化合物（VOC）の濃度が比較的高い場合に使用されます。このプロセスでは、ガスを燃焼室で直接燃焼させ、発生した熱を利用して流入する空気を予熱します。

間接燃焼式再生熱酸化装置

間接燃焼式熱回収式酸化装置は、VOC濃度が低い場合に使用されます。このプロセスでは、ガスを熱交換器に通すことで間接的に加熱します。発生した熱は、流入する空気の予熱に使用されます。

結論

再生式熱酸化装置は、半導体業界における有害ガス排出削減に効果的なソリューションです。これらの装置を使用することで、大気汚染の軽減、規制遵守、エネルギー効率、コスト削減、職場の安全性向上といったメリットが得られます。再生式熱酸化装置には、主に直火式と間接火式の2種類があり、それぞれに固有の用途があります。半導体製造において再生式熱酸化装置を採用することは、環境保護に貢献するだけでなく、政府規制への準拠を確保し、職場の安全性向上にもつながります。

会社紹介

当社は、揮発性有機化合物（VOC）排ガスの総合処理、低炭素化、省エネ技術を専門とするハイテク製造企業です。コア技術は、熱エネルギー、燃焼、シール、自動制御などです。温度場シミュレーション、気流場シミュレーションモデリング、セラミック蓄熱材性能、分子ふるい吸着材選定、VOC高温焼却・酸化試験などの技術を有しています。

チームのメリット

当社は西安にRTO技術研究開発センターと排ガス炭素削減エンジニアリング技術センターを設立し、楊陵には3万平方メートルの生産拠点を有しています。RTO装置および分子ふるいホイール装置の生産・販売量において、世界トップクラスのメーカーです。当社の中核技術チームは、航空宇宙液体ロケットエンジン研究所出身者です。現在、従業員数は360名を超え、研究開発技術のバックボーンは60名を超え、研究レベルの資格を持つシニアエンジニア3名、シニアエンジニア6名、熱力学博士号取得者55名を擁しています。

コア製品

当社の主力製品には、ロータリーバルブ式熱酸化装置（RTO）と分子ふるい吸着濃縮ホイールがあります。環境保護と熱エネルギーシステムエンジニアリングの専門知識と組み合わせることで、様々な運転条件下での産業排ガス処理、炭素削減、熱エネルギー利用に関する包括的なソリューションをお客様に提供できます。

認定、特許、栄誉

• 知的財産管理システム認証
• 品質管理システム認証
• 環境マネジメントシステム認証
• 建設業企業資格
• ハイテク企業
• ロータリーバルブ式熱酸化装置の特許
• 回転式蓄熱焼却装置の特許
• ディスク型分子ふるいホイールの特許

適切なRTO機器の選択

• 排気ガス特性を決定する
• 地域の規制と排出基準を理解する
• エネルギー効率を評価する
• 運用とメンテナンスを考慮する
• 予算とコストの分析
• 適切なRTOタイプを選択する
• 環境と安全の要素を考慮する
• パフォーマンステストと検証

説明：

サービスプロセス

• 相談と評価
• 設計とソリューション開発
• 生産と製造
• 設置と試運転
• アフターサポート

説明：

当社は、お客様向けに RTO ソリューションをカスタマイズすることに専念する専門チームを擁するワンストップ ソリューション プロバイダーです。

著者について

著者宮