Traitement des gaz RTO Industrie des semi-conducteurs

Introduction

L'oxydation thermique régénérative (RTO) est une méthode efficace de contrôle de la pollution atmosphérique dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Cette technologie utilise des températures élevées pour décomposer les composés dangereux contenus dans les gaz d'échappement émis par les procédés de fabrication. Face à la croissance rapide de l'industrie des semi-conducteurs, il est essentiel de mettre en place des mesures efficaces de contrôle de la pollution atmosphérique afin de maintenir les normes de qualité de l'air et de minimiser l'impact environnemental de la fabrication des semi-conducteurs.

Qu'est-ce que le traitement des gaz RTO ?

• Le traitement des gaz RTO est un processus qui utilise des températures élevées pour décomposer les composés dangereux présents dans les gaz d’échappement des processus de fabrication.
• Ce procédé est très efficace pour réduire les niveaux de pollution et il est largement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs.
• Les systèmes RTO se composent d’une chambre de combustion, d’un échangeur de chaleur en céramique et d’un système de contrôle.
• Le système fonctionne en préchauffant le flux de gaz entrant avant qu'il n'entre dans la chambre de combustion, où il est chauffé à une température d'environ 1 500 °F.
• Le gaz chaud passe ensuite à travers l’échangeur de chaleur en céramique, où il cède sa chaleur au flux de gaz entrant.
• Le flux de gaz sortant est ensuite refroidi à une température d'environ 100 °F avant d'être rejeté dans l'atmosphère.

Comment fonctionne le traitement des gaz RTO ?

• Système RTOs fonctionne en utilisant une combinaison de températures élevées et de temps de séjour pour décomposer les composés dangereux dans les gaz d'échappement des processus de fabrication.
• Le processus commence par le préchauffage du flux de gaz entrant à une température d'environ 800 °F.
• Le gaz préchauffé entre ensuite dans la chambre de combustion, où il est chauffé à une température d'environ 1 500 °F.
• La température élevée provoque la décomposition des composés dangereux présents dans le flux gazeux en composés moins nocifs tels que l’eau et le dioxyde de carbone.
• Le flux de gaz résultant est ensuite dirigé à travers un échangeur de chaleur en céramique, où la chaleur est transférée au flux de gaz entrant.
• Le flux de gaz sortant est ensuite refroidi à une température d'environ 100 °F avant d'être rejeté dans l'atmosphère.

Avantages du traitement des gaz RTO

• Le traitement des gaz RTO est très efficace pour réduire les niveaux de pollution et maintenir les normes de qualité de l’air dans l’industrie des semi-conducteurs.
• Il s’agit d’une solution rentable pour contrôler la pollution de l’air dans les usines de fabrication de semi-conducteurs.
• Les systèmes RTO sont faciles à utiliser et nécessitent un minimum d’entretien.
• Ils sont également économes en énergie, car la chaleur récupérée du flux de gaz sortant peut être utilisée pour préchauffer le flux de gaz entrant.
• Les systèmes RTO peuvent également être personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques des usines de fabrication de semi-conducteurs.

Applications du traitement des gaz RTO dans l'industrie des semi-conducteurs

• Le traitement des gaz RTO est couramment utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs pour contrôler les émissions de pollution atmosphérique.
• Il est utilisé dans la fabrication de divers produits semi-conducteurs, notamment des micropuces, des circuits intégrés et des dispositifs de mémoire.
• Les systèmes RTO sont également utilisés dans les processus de gravure, de lithographie et de dépôt dans la fabrication de semi-conducteurs.

L'avenir du traitement des gaz RTO dans l'industrie des semi-conducteurs

• Le traitement des gaz RTO devrait devenir encore plus populaire dans l’industrie des semi-conducteurs à l’avenir, à mesure que l’industrie continue de croître.
• Des systèmes RTO plus récents et plus efficaces sont en cours de développement pour répondre aux besoins spécifiques des usines de fabrication de semi-conducteurs.
• L’utilisation du traitement des gaz RTO devrait également augmenter à mesure que les réglementations environnementales deviennent plus strictes.

Conclusion

Le traitement des gaz RTO est une méthode efficace de contrôle de la pollution atmosphérique dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Face à la croissance rapide de l'industrie des semi-conducteurs, il est essentiel de mettre en place des mesures efficaces de contrôle de la pollution atmosphérique afin de maintenir les normes de qualité de l'air et de minimiser l'impact environnemental de la fabrication des semi-conducteurs. Les systèmes RTO sont très efficaces, rentables, économes en énergie et faciles à utiliser et à entretenir. Ils sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs pour contrôler les émissions de polluants atmosphériques et devraient gagner en popularité à l'avenir.

Nous sommes une entreprise de haute technologie spécialisée dans le traitement complet des gaz résiduaires des composés organiques volatils (COV), la réduction des émissions de carbone et les technologies d'économie d'énergie pour la fabrication d'équipements haut de gamme. Notre équipe technique principale est issue de l'Institut de recherche sur les moteurs-fusées liquides aérospatiaux (Aerospace Sixth Institute) ; elle compte plus de 60 techniciens R&D, dont 3 ingénieurs chercheurs seniors et 16 ingénieurs seniors. Elle s'appuie sur quatre technologies clés : l'énergie thermique, la combustion, l'étanchéité et le contrôle automatique. Elle est capable de simuler les champs de température et les champs d'écoulement d'air, de modéliser et de calculer ; de tester les performances des matériaux céramiques de stockage thermique, de sélectionner des matériaux d'adsorption par tamis moléculaires et de réaliser des essais expérimentaux sur les caractéristiques d'incinération et d'oxydation à haute température des matières organiques contenant des COV. L'entreprise a construit un centre de recherche et développement sur les technologies RTO et un centre d'ingénierie sur la réduction des émissions de carbone des gaz d'échappement dans la vieille ville de Xi'an, ainsi qu'une base de production de 30 000 m² à Yangling. Le volume de production et de vente d'équipements RTO est très élevé au niveau mondial.

Présentation de nos plateformes de recherche et développement

1. Banc d'essai de technologie de contrôle de combustion à haute efficacité

Ce banc d'essai est conçu pour évaluer et optimiser le processus de combustion pour un traitement efficace des gaz résiduaires. Il nous permet d'étudier et de développer des techniques de combustion avancées, garantissant une efficacité de destruction élevée et une faible consommation d'énergie.

2. Banc d'essai d'efficacité d'adsorption sur tamis moléculaire

Grâce à ce banc d'essai, nous pouvons étudier et évaluer les performances de différents matériaux d'adsorption à tamis moléculaires. Cela nous permet d'identifier les adsorbants les plus efficaces pour l'élimination des COV, améliorant ainsi l'efficacité du traitement.

3. Banc d'essai de technologie de stockage thermique en céramique à haute efficacité

Ce banc d'essai est consacré au développement et à l'évaluation de matériaux céramiques de stockage thermique pour la récupération de chaleur résiduelle. Il nous permet de tester et d'optimiser la capacité de stockage thermique, la durabilité et l'efficacité du transfert thermique de différents matériaux céramiques.

4. Banc d'essai de récupération de chaleur perdue à ultra-haute température

Grâce à ce banc d'essai, nous pouvons explorer des technologies innovantes de récupération et d'utilisation de la chaleur fatale à ultra-haute température. Il nous permet d'évaluer la performance et la faisabilité de différentes méthodes de récupération de chaleur fatale, contribuant ainsi aux économies d'énergie.

5. Banc d'essai de technologie d'étanchéité aux fluides gazeux

Le banc d'essai de technologie d'étanchéité gaz-fluide est dédié à l'étude et à l'amélioration des performances d'étanchéité des équipements utilisés dans le traitement des gaz résiduaires. Il nous aide à développer des solutions d'étanchéité avancées qui minimisent les fuites et garantissent la sécurité opérationnelle.

Nos efforts de recherche et développement ont connu un succès remarquable, qui s'est traduit par de nombreux brevets et distinctions. Nous avons déposé 68 brevets au total, dont 21 brevets d'invention, couvrant des composants essentiels de nos technologies. Parmi eux, nous avons obtenu 4 brevets d'invention, 41 brevets de modèle d'utilité, 6 brevets de conception et 7 droits d'auteur sur des logiciels.

Capacité de production

1. Ligne de production automatique de grenaillage et de peinture de plaques et de profilés en acier

Cette ligne de production permet un traitement de surface efficace des plaques et profilés d'acier utilisés dans la fabrication de nos équipements. Elle garantit une excellente adhérence du revêtement et une excellente résistance à la corrosion, pour des produits durables et de haute qualité.

2. Ligne de production de grenaillage manuel

La ligne de production de grenaillage manuel permet de nettoyer et de préparer des pièces petites et complexes pour un traitement ultérieur. Elle assure un traitement de surface précis et complet, garantissant des performances et une longévité optimales.

3. Équipement de dépoussiérage et de protection de l'environnement

Notre site de production dispose d'installations de pointe pour la fabrication d'équipements de dépoussiérage et de protection de l'environnement. Ces systèmes capturent et éliminent efficacement les particules et gaz nocifs, favorisant ainsi un environnement de travail propre et sûr.

4. Cabine de peinture automatique

Nous disposons d'une cabine de peinture automatique à la pointe de la technologie qui garantit des revêtements uniformes et de haute qualité sur nos équipements. Elle garantit un excellent rendu esthétique et une excellente résistance à la corrosion, répondant aux normes industrielles les plus strictes.

5. Salle de séchage

Notre salle de séchage est équipée d'une technologie de pointe pour faciliter le séchage de nos produits. Elle garantit des conditions de séchage optimales, pour une qualité et des performances supérieures.

Nous invitons nos clients à collaborer avec nous et à bénéficier de notre expertise en matière de traitement des gaz résiduaires et de technologies d'économie d'énergie. Voici six avantages à collaborer avec nous :

• 1. Des capacités de R&D de pointe, garantissant des solutions innovantes et efficaces.
• 2. Vaste expérience dans le traitement des gaz résiduaires COV et la réduction du carbone.
• 3. Installations de recherche et d’essai avancées pour la validation de la technologie.
• 4. Expérience avérée en matière de brevets réussis et de réalisations techniques.
• 5. Capacités de production de haute qualité pour des équipements fiables et durables.
• 6. Engagement en faveur de la protection de l’environnement et de la conservation de l’énergie.

Auteur : Miya