Oxidante térmico RTO para la industria de semiconductores

Oxidador térmico RTO para la industria de semiconductores

El Oxidador Térmico Regenerativo (RTO) es una tecnología avanzada ampliamente utilizada en la industria de semiconductores para el tratamiento de compuestos orgánicos volátiles (COV) y contaminantes atmosféricos peligrosos (HAP). Este sistema altamente eficiente garantiza el cumplimiento de la normativa ambiental y promueve prácticas sostenibles en la fabricación de semiconductores.

Beneficios del oxidante térmico RTO

  • Alta eficiencia de destrucción de COV
  • Los oxidadores térmicos RTO están diseñados para lograr una alta eficiencia de destrucción de COV, generalmente superior a 99%. Esto garantiza la eliminación eficaz de las emisiones nocivas liberadas durante los procesos de fabricación de semiconductores.

  • Eficiencia energética y ahorro de costes
  • El diseño regenerativo de Oxidador térmico RTO
    Permite recuperar la energía térmica generada durante la combustión de COV. Esta energía recuperada se utiliza para precalentar el flujo de gas de proceso entrante, lo que genera un ahorro energético significativo y reduce los costos operativos.

  • Requisitos de bajo mantenimiento
  • Los oxidadores térmicos RTO tienen un diseño simple y robusto, lo que facilita su operación y mantenimiento. La ausencia de componentes complejos reduce la necesidad de mantenimiento frecuente, minimizando el tiempo de inactividad y maximizando la eficiencia de la producción.

  • Cumplimiento ambiental
  • Los oxidadores térmicos RTO desempeñan un papel crucial para que los fabricantes de semiconductores cumplan con las estrictas normativas ambientales. Al destruir eficazmente los COV y los HAP, estos sistemas evitan su liberación a la atmósfera, reduciendo así el impacto ambiental de la fabricación de semiconductores.

Operación del oxidante térmico RTO

El funcionamiento de un oxidante térmico RTO implica varios pasos clave:

  1. Adsorción
  2. El gas de proceso cargado de COV se dirige al primer regenerador, donde un medio cerámico con una gran área superficial adsorbe los COV.

  3. Precalentamiento
  4. El gas de proceso limpio se precalienta a medida que pasa por el regenerador, utilizando el calor almacenado del ciclo anterior.

  5. Combustión
  6. El gas precalentado entra en la cámara de combustión, donde alcanza la temperatura requerida para la combustión. Los COV se oxidan a dióxido de carbono y vapor de agua.

  7. Recuperación de calor
  8. El gas caliente y limpio que sale de la cámara de combustión pasa a través del segundo regenerador, transfiriendo su calor al medio cerámico.

  9. Enfriamiento y descarga
  10. El gas tratado se enfría antes de descargarse a la atmósfera, mientras que el medio cerámico del primer regenerador se purga de COV adsorbidos mediante un flujo de aire limpio.

En general, el funcionamiento de un oxidante térmico RTO garantiza la destrucción eficiente de COV al tiempo que minimiza el consumo de energía y mantiene el cumplimiento ambiental.

Presentación de la empresa

Somos una empresa de fabricación de equipos de alta tecnología especializada en la gestión integral de emisiones de compuestos orgánicos volátiles (COV) y la reducción de emisiones de carbono, así como en tecnologías de ahorro energético en la industria de semiconductores. Nuestras tecnologías principales incluyen energía térmica, combustión, sellado y control automático, con capacidad para simular campos de temperatura y flujo de aire, realizar cálculos de modelos, seleccionar materiales cerámicos de almacenamiento de calor, materiales de adsorción mediante tamices moleculares y realizar experimentos de incineración y oxidación de COV a alta temperatura.

We have RTO technology R&D center and waste gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, and a 30,000©O production base in Yangling. We are the leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve rotary equipment in terms of output and sales volume worldwide. Our core technology team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace 6th Institute). We have more than 360 employees, including over 60 R&D technical backbones, 3 research fellows, 6 senior engineers, and 197 thermodynamic doctors.

Nuestros productos principales son dispositivos rotativos de adsorción y concentración por tamiz molecular y RTO. Gracias a nuestra experiencia en protección ambiental e ingeniería de sistemas de energía térmica, podemos ofrecer a nuestros clientes soluciones integrales para el tratamiento de gases de escape industriales, el aprovechamiento de la energía térmica, la reducción de emisiones de carbono y mucho más.

Certificaciones, Patentes y Honores

Nuestra empresa ha obtenido las siguientes certificaciones y calificaciones:

  • Certificación del Sistema de Gestión de la Propiedad Intelectual
  • Certificación del Sistema de Gestión de Calidad
  • Certificación del Sistema de Gestión Ambiental
  • Calificación de empresas de la industria de la construcción
  • Certificación de empresas de alta tecnología
  • Patentes de válvulas RTO para hornos de oxidación con almacenamiento de calor rotatorio, equipos de incineración con almacenamiento de calor rotatorio y equipos rotatorios de tamiz molecular en forma de disco, etc.

Imagen:

Cómo elegir el equipo RTO adecuado

Para elegir el equipo RTO adecuado se requieren los siguientes pasos:

  1. Determinar las características de los gases de escape.
  2. Comprenda las regulaciones locales y los estándares de emisiones.
  3. Evaluar la eficiencia energética
  4. Considere la operación y el mantenimiento
  5. Análisis de presupuestos y costos
  6. Seleccione el tipo de RTO apropiado
  7. Considere factores ambientales y de seguridad
  8. Pruebas y verificación de rendimiento

Explicación:

Nuestro proceso de servicio

Nuestro proceso de servicio incluye los siguientes pasos:

  1. Consulta y evaluación: consulta preliminar, inspección in situ, análisis de necesidades
  2. Diseño y planificación: diseño de programas, simulación y modelado, revisión de programas
  3. Producción y fabricación: producción personalizada, control de calidad, pruebas en fábrica.
  4. Instalación y puesta en marcha: instalación, puesta en marcha y operación en sitio, servicios de capacitación
  5. Soporte postventa: mantenimiento periódico, soporte técnico, suministro de repuestos.

Explicación:

We are a one-stop solution provider with a professional team that tailors RTO solutions to customers’ needs.

Autor: Miya

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