Tratamiento de gases RTO en la industria de semiconductores

Introducción

La RTO, u Oxidación Térmica Regenerativa, es un método eficaz para controlar la contaminación atmosférica en plantas de fabricación de semiconductores. Esta tecnología funciona mediante el uso de altas temperaturas para descomponer los compuestos peligrosos presentes en los gases de escape emitidos por los procesos de fabricación de semiconductores. Ante el rápido crecimiento de la industria de los semiconductores, es fundamental implementar medidas eficaces de control de la contaminación atmosférica para mantener los estándares de calidad del aire y minimizar el impacto ambiental de la fabricación de semiconductores.

¿Qué es el tratamiento de gas RTO?

• El tratamiento de gases RTO es un proceso que utiliza altas temperaturas para descomponer los compuestos peligrosos en los gases de escape de los procesos de fabricación.
• Este proceso es muy eficaz para reducir los niveles de contaminación y se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores.
• Los sistemas RTO constan de una cámara de combustión, un intercambiador de calor cerámico y un sistema de control.
• El sistema funciona precalentando la corriente de gas entrante antes de que entre en la cámara de combustión, donde se calienta a una temperatura de alrededor de 1500 °F.
• Luego, el gas caliente pasa a través del intercambiador de calor cerámico, donde cede su calor a la corriente de gas entrante.
• Luego, la corriente de gas saliente se enfría a una temperatura de alrededor de 100 °F antes de liberarse a la atmósfera.

¿Cómo funciona el tratamiento de gas RTO?

• Sistema RTONuestro trabajo consiste en utilizar una combinación de altas temperaturas y tiempos de residencia para descomponer compuestos peligrosos en los gases de escape de los procesos de fabricación.
• El proceso comienza precalentando la corriente de gas entrante a una temperatura de alrededor de 800 °F.
• El gas precalentado luego ingresa a la cámara de combustión, donde se calienta a una temperatura de alrededor de 1500 °F.
• La alta temperatura hace que los compuestos peligrosos en la corriente de gas se descompongan en compuestos menos dañinos, como agua y dióxido de carbono.
• La corriente de gas resultante se dirige luego a través de un intercambiador de calor cerámico, donde el calor se transfiere a la corriente de gas entrante.
• Luego, la corriente de gas saliente se enfría a una temperatura de alrededor de 100 °F antes de liberarse a la atmósfera.

Beneficios del tratamiento de gas RTO

• El tratamiento de gas RTO es altamente eficaz para reducir los niveles de contaminación y mantener los estándares de calidad del aire en la industria de semiconductores.
• Es una solución rentable para controlar la contaminación del aire en las plantas de fabricación de semiconductores.
• Los sistemas RTO son fáciles de operar y requieren un mantenimiento mínimo.
• También son energéticamente eficientes, ya que el calor recuperado de la corriente de gas saliente se puede utilizar para precalentar la corriente de gas entrante.
• Los sistemas RTO también se pueden personalizar para satisfacer las necesidades específicas de las plantas de fabricación de semiconductores.

Aplicaciones del tratamiento de gases RTO en la industria de semiconductores

• El tratamiento de gas RTO se utiliza comúnmente en la industria de semiconductores para controlar las emisiones contaminantes del aire.
• Se utiliza en la fabricación de diversos productos semiconductores, incluidos microchips, circuitos integrados y dispositivos de memoria.
• Los sistemas RTO también se utilizan en los procesos de grabado, litografía y deposición en la fabricación de semiconductores.

El futuro del tratamiento de gases RTO en la industria de semiconductores

• Se espera que el tratamiento con gas RTO se vuelva aún más popular en la industria de los semiconductores en el futuro a medida que la industria continúa creciendo.
• Se están desarrollando sistemas RTO más nuevos y más eficientes para satisfacer las necesidades específicas de las plantas de fabricación de semiconductores.
• También se espera que el uso del tratamiento de gas RTO aumente a medida que las regulaciones ambientales se vuelvan más estrictas.

Conclusión

El tratamiento de gases RTO es un método eficaz para controlar la contaminación atmosférica en plantas de fabricación de semiconductores. Dado el rápido crecimiento de la industria de semiconductores, es fundamental implementar medidas eficaces de control de la contaminación atmosférica para mantener los estándares de calidad del aire y minimizar el impacto ambiental de la fabricación de semiconductores. Los sistemas RTO son altamente efectivos, rentables, energéticamente eficientes y fáciles de operar y mantener. Se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores para controlar las emisiones contaminantes y se prevé que su popularidad aumente aún más en el futuro.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Introducción a nuestras plataformas de investigación y desarrollo

1. Banco de pruebas de tecnología de control de combustión de alta eficiencia

Este banco de pruebas está diseñado para evaluar y optimizar el proceso de combustión para un tratamiento eficiente de gases residuales. Nos permite estudiar y desarrollar técnicas de combustión avanzadas, garantizando una alta eficiencia de destrucción y un bajo consumo energético.

2. Banco de pruebas de eficiencia de adsorción de tamiz molecular

Con este banco de pruebas, podemos investigar y evaluar el rendimiento de diversos materiales de adsorción de tamices moleculares. Esto nos permite identificar los adsorbentes más eficaces para la eliminación de COV, lo que se traduce en una mayor eficiencia del tratamiento.

3. Banco de pruebas de tecnología de almacenamiento térmico cerámico de alta eficiencia

Este banco de pruebas se centra en el desarrollo y la evaluación de materiales cerámicos de almacenamiento térmico para la recuperación de calor residual. Nos permite probar y optimizar la capacidad de almacenamiento térmico, la durabilidad y la eficiencia de transferencia de calor de diferentes materiales cerámicos.

4. Banco de pruebas de recuperación de calor residual de temperatura ultraalta

Con este banco de pruebas, podemos explorar tecnologías innovadoras para recuperar y aprovechar el calor residual a temperaturas ultraaltas. Esto nos permite evaluar el rendimiento y la viabilidad de diversos métodos de recuperación de calor residual, contribuyendo así a la conservación de energía.

5. Banco de pruebas de tecnología de sellado de fluidos de gas

El banco de pruebas de tecnología de sellado de fluidos gaseosos se dedica al estudio y la mejora del rendimiento de sellado de los equipos utilizados en el tratamiento de gases residuales. Nos ayuda a desarrollar soluciones de sellado avanzadas que minimizan las fugas y garantizan la seguridad operativa.

Hemos logrado un éxito notable en nuestras iniciativas de investigación y desarrollo, lo que se ha traducido en numerosas patentes y reconocimientos. Hemos solicitado un total de 68 patentes, incluidas 21 patentes de invención, que abarcan componentes esenciales de nuestras tecnologías. Entre ellas, se nos han concedido 4 patentes de invención, 41 patentes de modelo de utilidad, 6 patentes de diseño y 7 derechos de autor de software.

Capacidad de producción

1. Línea de producción automática de granallado y pintura de placas y perfiles de acero

Esta línea de producción permite un tratamiento superficial eficiente de las placas y perfiles de acero utilizados en la fabricación de nuestros equipos. Garantiza una excelente adhesión del recubrimiento y resistencia a la corrosión, lo que resulta en productos duraderos y de alta calidad.

2. Línea de producción de granallado manual

La línea de producción de granallado manual permite limpiar y preparar componentes pequeños y complejos para su posterior procesamiento. Proporciona un tratamiento superficial preciso y exhaustivo, garantizando un rendimiento óptimo y una larga vida útil.

3. Equipos de eliminación de polvo y protección ambiental

En nuestra planta de producción, contamos con instalaciones avanzadas para la fabricación de equipos de eliminación de polvo y protección ambiental. Estos sistemas capturan y eliminan eficazmente partículas y gases nocivos, promoviendo un entorno de trabajo limpio y seguro.

4. Cabina de pintura automática

Contamos con una cabina de pintura automática de última generación que garantiza recubrimientos uniformes y de alta calidad en nuestros equipos. Garantiza una excelente estética y resistencia a la corrosión, cumpliendo con los más altos estándares de la industria.

5. Sala de secado

Nuestra sala de secado está equipada con tecnología avanzada para facilitar el proceso de secado de nuestros productos manufacturados. Esto garantiza condiciones óptimas de secado, lo que se traduce en una calidad y un rendimiento superiores.

Invitamos a nuestros clientes a colaborar con nosotros y a beneficiarse de nuestra experiencia en el tratamiento de gases residuales y tecnologías de ahorro energético. A continuación, seis ventajas de asociarse con nosotros:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Amplia experiencia en el tratamiento de gases residuales COV y reducción de carbono.
• 3. Instalaciones avanzadas de investigación y pruebas para la validación de tecnología.
• 4. Historial comprobado de patentes exitosas y logros técnicos.
• 5. Capacidades de producción de alta calidad para equipos confiables y duraderos.
• 6. Compromiso con la protección del medio ambiente y la conservación de la energía.

Autor: Miya