Průmysl polovodičů pro úpravu plynů RTO

Zavedení

RTO, neboli regenerativní termální oxidace, je účinná metoda kontroly znečištění ovzduší v závodech na výrobu polovodičů. Tato technologie funguje na principu vysokých teplot, které rozkládají nebezpečné sloučeniny ve výfukových plynech emitovaných při výrobních procesech polovodičů. Vzhledem k rychlému růstu polovodičového průmyslu je nezbytné mít zavedena účinná opatření k regulaci znečištění ovzduší, aby se udržely standardy kvality ovzduší a minimalizoval dopad výroby polovodičů na životní prostředí.

Co je úprava plynu RTO?

• RTO úprava plynů je proces, který využívá vysoké teploty k rozkladu nebezpečných sloučenin ve výfukových plynech z výrobních procesů.
• Tento proces je vysoce účinný při snižování úrovně znečištění a je široce používán v polovodičovém průmyslu.
• Systémy RTO se skládají ze spalovací komory, keramického výměníku tepla a řídicího systému.
• Systém funguje tak, že předehřívá vstupní proud plynu před jeho vstupem do spalovací komory, kde se zahřeje na teplotu přibližně 1500 °F.
• Horký plyn poté prochází keramickým výměníkem tepla, kde předává své teplo vstupujícímu proudu plynu.
• Vycházející proud plynu se poté ochladí na teplotu přibližně 100 °F, než se vypustí do atmosféry.

Jak funguje úprava plynu RTO?

• Systém RTOFungují na principu kombinace vysokých teplot a doby zdržení k rozkladu nebezpečných sloučenin ve výfukových plynech z výrobních procesů.
• Proces začíná předehřátím vstupního proudu plynu na teplotu přibližně 800 °F.
• Předehřátý plyn poté vstupuje do spalovací komory, kde se zahřeje na teplotu okolo 1500 °F.
• Vysoká teplota způsobuje, že se nebezpečné sloučeniny v proudu plynu rozkládají na méně škodlivé sloučeniny, jako je voda a oxid uhličitý.
• Výsledný proud plynu je poté veden přes keramický výměník tepla, kde se teplo přenáší do vstupního proudu plynu.
• Vycházející proud plynu se poté ochladí na teplotu přibližně 100 °F, než se vypustí do atmosféry.

Výhody úpravy plynu RTO

• Čištění plynu RTO je vysoce účinné při snižování úrovně znečištění a udržování standardů kvality ovzduší v polovodičovém průmyslu.
• Je to cenově výhodné řešení pro kontrolu znečištění ovzduší v závodech na výrobu polovodičů.
• Systémy RTO se snadno ovládají a vyžadují minimální údržbu.
• Jsou také energeticky úsporné, protože teplo získané z odcházejícího proudu plynu lze využít k předehřátí vstupního proudu plynu.
• Systémy RTO lze také přizpůsobit specifickým potřebám závodů na výrobu polovodičů.

Aplikace úpravy plynu RTO v polovodičovém průmyslu

• Čištění plynu RTO se běžně používá v polovodičovém průmyslu pro regulaci emisí znečišťujících ovzduší.
• Používá se při výrobě různých polovodičových produktů, včetně mikročipů, integrovaných obvodů a paměťových zařízení.
• Systémy RTO se také používají v procesech leptání, litografie a depozice při výrobě polovodičů.

Budoucnost úpravy plynu RTO v polovodičovém průmyslu

• Očekává se, že úprava plynu metodou RTO se v budoucnu stane v polovodičovém průmyslu ještě populárnější, protože toto odvětví dále roste.
• Vyvíjejí se novější a efektivnější systémy RTO, které splňují specifické potřeby závodů na výrobu polovodičů.
• Očekává se také, že používání úpravy plynu RTO se zvýší s tím, jak se budou zpřísňovat environmentální předpisy.

Závěr

Čištění plynů RTO je účinná metoda kontroly znečištění ovzduší v závodech na výrobu polovodičů. Vzhledem k rychlému růstu polovodičového průmyslu je nezbytné mít zavedena účinná opatření ke kontrole znečištění ovzduší, aby se udržely standardy kvality ovzduší a minimalizoval dopad výroby polovodičů na životní prostředí. Systémy RTO jsou vysoce účinné, nákladově efektivní, energeticky úsporné a snadno se ovládají a udržují. V polovodičovém průmyslu se široce používají ke kontrole emisí znečišťujících látek v ovzduší a očekává se, že v budoucnu se stanou ještě populárnějšími.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Úvod k našim výzkumným a vývojovým platformám

1. Zkušební stolice pro vysoce účinnou technologii regulace spalování

Tato zkušební stolice je navržena k vyhodnocení a optimalizaci spalovacího procesu pro efektivní čištění odpadních plynů. Umožňuje nám studovat a vyvíjet pokročilé techniky spalování, které zajišťují vysokou účinnost odbourávání a nízkou spotřebu energie.

2. Zkušební stolice pro účinnost adsorpce molekulárním sítem

S touto zkušební stolicí můžeme zkoumat a hodnotit výkonnost různých materiálů pro adsorpci molekulárních sít. Umožňuje nám identifikovat nejúčinnější adsorbenty pro odstraňování těkavých organických sloučenin (VOC), což vede ke zvýšení účinnosti čištění.

3. Vysoce účinná zkušební lavice pro keramickou technologii akumulace tepla

Tato zkušební stolice se zaměřuje na vývoj a hodnocení keramických tepelných akumulačních materiálů pro rekuperaci odpadního tepla. Umožňuje nám testovat a optimalizovat tepelnou akumulační kapacitu, trvanlivost a účinnost přenosu tepla různých keramických materiálů.

4. Zkušební stolice pro rekuperaci odpadního tepla při ultravysokých teplotách

Pomocí této zkušební lavice můžeme zkoumat inovativní technologie pro rekuperaci a využití odpadního tepla o velmi vysokých teplotách. Umožňuje nám posoudit výkonnost a proveditelnost různých metod rekuperace odpadního tepla, což přispívá k úspoře energie.

5. Zkušební stolice pro technologii těsnění plynných kapalin

Zkušební stolice pro těsnicí technologie plynných a kapalinových plynů je zaměřena na studium a zlepšování těsnicího výkonu zařízení používaných při čištění odpadních plynů. Pomáhá nám vyvíjet pokročilá těsnicí řešení, která minimalizují úniky a zajišťují provozní bezpečnost.

V našem výzkumu a vývoji jsme dosáhli pozoruhodného úspěchu, což vedlo k získání řady patentů a ocenění. Celkem jsme podali žádosti o 68 patentů, včetně 21 patentů na vynálezy, které se týkají klíčových komponent našich technologií. Z nich nám byly uděleny 4 patenty na vynálezy, 41 patentů na užitné vzory, 6 patentů na průmyslové vzory a 7 autorských práv k softwaru.

Výrobní kapacita

1. Automatická tryskání a lakování ocelových plechů a profilů

Tato výrobní linka umožňuje efektivní povrchovou úpravu ocelových plechů a profilů používaných při výrobě našich zařízení. Zajišťuje vynikající přilnavost povlaků a odolnost proti korozi, což vede k odolným a vysoce kvalitním produktům.

2. Ruční trysková výrobní linka

Ruční trysková výrobní linka je schopna čistit a připravovat malé a složité součásti pro další zpracování. Zajišťuje přesnou a důkladnou povrchovou úpravu, čímž zajišťuje optimální výkon a dlouhou životnost.

3. Zařízení pro odprašování a ochranu životního prostředí

V naší výrobní základně máme moderní zařízení pro výrobu zařízení pro odprašování a ochranu životního prostředí. Tyto systémy účinně zachycují a odstraňují škodlivé částice a plyny, čímž podporují čisté a bezpečné pracovní prostředí.

4. Automatická lakovací kabina

Disponujeme nejmodernější automatickou lakovací kabinou, která zajišťuje konzistentní a vysoce kvalitní nátěry na našich zařízeních. Zaručuje vynikající estetický vzhled a odolnost proti korozi, což splňuje nejvyšší průmyslové standardy.

5. Sušárna

Naše sušárna je vybavena pokročilou technologií, která usnadňuje proces sušení našich vyráběných produktů. Zajišťuje optimální podmínky sušení, což vede k vynikající kvalitě a výkonu produktů.

Zveme naše klienty ke spolupráci a k využití našich odborných znalostí v oblasti čištění odpadních plynů a technologií pro úsporu energie. Zde je šest výhod partnerství s námi:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Rozsáhlé zkušenosti s čištěním odpadních plynů z VOC a snižováním emisí uhlíku.
• 3. Pokročilá výzkumná a testovací zařízení pro validaci technologií.
• 4. Prokazatelné výsledky v oblasti úspěšných patentů a technických úspěchů.
• 5. Vysoce kvalitní výrobní kapacity pro spolehlivé a odolné zařízení.
• 6. Závazek k ochraně životního prostředí a úsporám energie.

Autor: Miya