Регенеративен термичен окислител в полупроводниковата промишленост

Въведение

Производството на полупроводници е енергоемка индустрия, която разчита на специализирано оборудване за поддържане на качество и ефективност. Регенеративен термичен окислител, или RTO, е ключов компонент на много заводи за производство на полупроводници. В тази статия ще разгледаме значението на RTO в полупроводниковата индустрия, основното им функциониране и как те помагат да се гарантира, че производството на полупроводници е едновременно устойчиво и ефективно.

Какво е RTO?

RTO е вид промишлена система за контрол на замърсяването на въздуха, която се използва за третиране на отработения въздух от промишлени процеси. В случая с полупроводниковата индустрия, RTO са предназначени за третиране на въздуха, който се отделя от различните технологични инструменти, използвани в производството на полупроводници. RTO работи чрез комбинация от топлина и химични реакции, за да преобразува вредните замърсители в отработения въздух в безвредни съединения, преди да ги изпусне в атмосферата.

Как работи RTO?

RTO работи чрез процес, наречен термично окисление, за да разгради и елиминира вредните замърсители от отработения въздух. RTO се състои от три основни компонента: горивна камера, топлообменник и система за управление. Горивната камера е мястото, където се подава отработеният въздух, наситен със замърсители, и се нагрява до висока температура. Топлообменникът е мястото, където горещият отработен въздух се охлажда, а топлината се улавя и използва повторно. Системата за управление е отговорна за наблюдението и контролирането на температурата, дебита и други параметри, за да се гарантира ефективната работа на RTO.

Предимства на RTO в полупроводниковата индустрия

RTO предлагат няколко предимства на полупроводниковата индустрия, включително:

1. Спазване на екологичните разпоредби

Полупроводниковата индустрия е обект на строги екологични разпоредби, а RTO-тата (технологични установки за обработка на отработените газове) помагат за гарантиране на спазването на тези разпоредби. Чрез третиране на отработения въздух от различните технологични инструменти, RTO-тата спомагат за намаляване на емисиите на вредни замърсители, като летливи органични съединения (ЛОС) и азотни оксиди (NOx).

2. Енергийна ефективност

RTO са енергийно ефективни, тъй като са способни да възстановяват и използват повторно голяма част от топлината, генерирана по време на процеса на горене. Това означава, че е необходима по-малко енергия за поддържане на високите температури, необходими за процеса на термично окисление, което води до по-ниски разходи за енергия и повишена устойчивост.

3. Спестяване на разходи

Чрез намаляване на емисиите на вредни замърсители, RTO могат също да помогнат за намаляване на разходите, свързани с екологичното съответствие. Освен това, икономиите на енергия, свързани с RTO, могат да доведат до значителни икономии на разходи с течение на времето.

RTO в действие: Казус

За да илюстрираме ефективността на RTO (технологични установки за пречистване на отработените газове) в полупроводниковата индустрия, нека разгледаме един казус. Завод за производство на полупроводници в Калифорния е изправен пред нарастващ натиск да намали емисиите си на летливи органични съединения (ЛОС) и други вредни замърсители. Заводът инсталира RTO за третиране на отработения въздух от своите технологични инструменти и резултатите бяха впечатляващи. RTO успя да намали емисиите на ЛОС с над 901 TP4T, което доведе до значителни икономии на разходи и по-чиста околна среда.

Заключение

В заключение, RTO играят ключова роля в полупроводниковата индустрия, като помагат за осигуряване на спазването на екологичните разпоредби, насърчават енергийната ефективност и намаляват разходите. Чрез използване на комбинация от топлина и химични реакции, RTO са в състояние да третират отработения въздух от промишлените процеси и да преобразуват вредните замърсители в безвредни съединения. Тъй като производството на полупроводници продължава да расте и да се развива, RTO ще останат съществен компонент на една устойчива и ефективна индустрия.

Представяне на компанията

Ние сме предприятие за производство на висококачествено оборудване, фокусирано върху цялостното третиране на отработените газове от летливи органични съединения (ЛОС) и енергоспестяващите технологии за намаляване на въглеродните емисии в полупроводниковата индустрия.

Основни технологии

• Четири основни технологии за термична обработка, горене, запечатване и самоконтрол
• Възможности за симулация на температурно поле и симулация на полето на въздушния поток
• Способност за провеждане на експериментални тестове за характеристиките на керамични материали за съхранение на топлина, избор на материали за адсорбция на молекулно сито и експериментални тестове за характеристики на окисление при горене при висока температура на летливи органични съединения (ЛОС).

Предимства на отбора

Разполагаме с център за научноизследователска и развойна дейност в областта на RTO технологиите и център за инженерни технологии за намаляване на въглеродните емисии от отпадъчни газове в Сиан, както и с производствена база от 30 000 квадратни метра в Янлинг. Ние сме водещ производител на RTO оборудване и ротационно оборудване с молекулярни сита по отношение на производството и продажбите. Основният ни технически екип идва от Института за изследване на аерокосмическите течни ракетни двигатели (Аерокосмическа Шеста академия). В момента имаме над 360 служители, включително над 60 членове на техническия гръбнак на научноизследователската и развойна дейност, включително 3 старши инженери и 6 старши инженери, и 34 доктори по термодинамика.

Основни продукти

Основните ни продукти са ротационен регенеративен термичен окислител (RTO) и концентратор за адсорбция с молекулярно сито. С нашия опит в опазването на околната среда и инженерството на топлоенергийни системи, ние можем да предоставим на клиентите цялостни решения за пречистване на промишлени отработени газове, оползотворяване на енергия и намаляване на въглеродните емисии при различни работни условия.

Сертификация, патент и отличия на компанията

• Сертификация на системата за управление на интелектуалната собственост
• Сертифициране на системата за управление на качеството
• Сертифициране на системата за управление на околната среда
• Квалификация на предприятието в строителната индустрия
• Високотехнологично предприятие
• Патент за регенеративен термичен окислител с ротационен клапан
• Патент за ротационно оборудване за изгаряне на топлина
• Патент за ротационно оборудване с дисково молекулярно сито

Избор на правилното RTO оборудване

• Обмислете специфичните изисквания на полупроводниковата индустрия

Обяснение: Оборудването RTO трябва да бъде проектирано така, че да отговаря на специфичните нужди и предизвикателства на полупроводниковата индустрия, като например третиране на летливи органични съединения (ЛОС), отделяни по време на производствените процеси.

• Оценете капацитета и ефективността

Обяснение: Оборудването RTO трябва да има необходимия капацитет и висока ефективност, за да третира ефективно обема и концентрацията на летливи органични съединения (ЛОС) в полупроводниковата промишленост.

• Оценете оперативните и разходите за поддръжка

Обяснение: Важно е да се вземат предвид дългосрочните оперативни разходи и изискванията за поддръжка на RTO оборудването, за да се гарантира рентабилност за полупроводниковата индустрия.

• Осигуряване на спазване на екологичните разпоредби

Обяснение: Избраното RTO оборудване трябва да отговаря на съответните екологични разпоредби и стандарти, за да се гарантира законна и устойчива дейност в полупроводниковата индустрия.

Процес на обслужване

1. Консултация и оценка:
• Предварителна консултация
• Проверка на място
• Анализ на нуждите
2. Дизайн и разработване на решения:
• Проектиране на решението
• Симулиране и моделиране
• Преглед на решението
3. Производство и преработка:
• Производство по поръчка
• Контрол на качеството
• Фабрични тестове
4. Монтаж и въвеждане в експлоатация:
• Монтаж на място
• Пускане в експлоатация и експлоатация
• Услуги за обучение
5. Следпродажбена поддръжка:
• Редовна поддръжка
• Техническа поддръжка
• Доставка на резервни части

Ние предлагаме решения на едно гише и разполагаме с професионален екип, който да персонализира RTO решенията за нашите клиенти, гарантирайки успеха на всяка стъпка.

Автор: Мия