Рекуперативен термичен окислител за полупроводниковата промишленост

Въведение

Производството на полупроводници включва използването на различни химикали и разтворители, които отделят вредни газове в атмосферата. Тези газове допринасят за замърсяването на въздуха, което е сериозен екологичен проблем. За да се смекчи този проблем, в полупроводниковата индустрия все по-често се използват рекуперативни термични окислители. Рекуперативните термични окислители са устройства за контрол на замърсяването, които унищожават вредните газове и миризми, отделяни по време на производствения процес, като ги превръщат в безвредни вещества.

Как се случва Рекуперативен термичен окислител работа?

Рекуперативният термичен окислител работи чрез използване на високи температури, за да преобразува вредните газове в безвредни вещества. Процесът включва нагряване на замърсения въздух до температура от приблизително 1500°F (760°C), като същевременно се смесва с достатъчно количество кислород. След това сместа преминава през топлообменник, който възстановява топлината, генерирана по време на процеса. Топлината се използва за предварително загряване на входящия замърсен въздух, намалявайки количеството енергия, необходимо за достигане на желаната температура. Докато газовете преминават през горивната камера, те се окисляват и се превръщат във въглероден диоксид, водна пара и топлина. Пречистеният въздух се отделя в атмосферата, докато генерираната топлина може да бъде възстановена и използвана за предварително загряване на входящия въздух, намалявайки консумацията на енергия.

Предимства от използването на рекуперативни термични окислители в полупроводниковата индустрия

Използването на рекуперативни термични окислители в производството на полупроводници носи няколко предимства, включително:

• Намалено замърсяване на въздуха: Рекуперативните термични окислители намаляват количеството вредни газове, отделяни в околната среда, като по този начин намаляват замърсяването на въздуха.
• Спазване на разпоредбите: Използването на рекуперативни термични окислители спомага за спазването на екологичните разпоредби и избягва санкции, които могат да възникнат в резултат на неспазване.
• Енергийна ефективност: Рекуперативните термични окислители са енергийно ефективни и топлината, генерирана по време на процеса, може да бъде възстановена и използвана за предварително загряване на входящия въздух, намалявайки консумацията на енергия.
• Спестяване на разходи: Възстановяването на топлината, генерирана по време на процеса, може да доведе до значителни икономии на разходи за енергия, което прави рекуперативните термични окислители рентабилно решение.
• Подобрена безопасност на работното място: Използването на рекуперативни термични окислители подобрява безопасността на работното място чрез елиминиране на вредните газове, които могат да бъдат опасни при вдишване от работниците.

Видове рекуперативни термични окислители

Съществуват два основни вида рекуперативни термични окислители: рекуперативен термичен окислител с директно нагряване и рекуперативен термичен окислител с непряко нагряване.

Рекуперативен термичен окислител с директно нагряване

Рекуперативните термични окислители с директно горене се използват, когато концентрацията на летливи органични съединения (ЛОС) е относително висока. Процесът включва изгаряне на газовете директно в горивната камера, а генерираната топлина се използва за предварително загряване на входящия въздух.

Рекуперативен термичен окислител с индиректно нагряване

Рекуперативните термични окислители с индиректно нагряване се използват, когато концентрацията на летливи органични съединения (ЛОС) е ниска. Процесът включва индиректно нагряване на газовете чрез преминаването им през топлообменник. Генерираната топлина след това се използва за предварително нагряване на входящия въздух.

Заключение

Рекуперативните термични окислители са ефективно решение за намаляване на емисиите на вредни газове в полупроводниковата индустрия. Ползите от използването на тези устройства включват намалено замърсяване на въздуха, спазване на разпоредбите, енергийна ефективност, икономии на разходи и подобрена безопасност на работното място. Двата основни вида рекуперативни термични окислители са с директно нагряване и с непряко нагряване, всеки със своите специфични приложения. Използването на рекуперативни термични окислители в производството на полупроводници не само помага за опазване на околната среда, но и гарантира спазване на правителствените разпоредби и насърчава безопасността на работното място.

Представяне на компанията

Ние сме високотехнологично производствено предприятие, специализирано в цялостно третиране на отработени газове от летливи органични съединения (ЛОС) и технологии за намаляване на въглеродните емисии, както и в технологии за пестене на енергия. Основните ни технологии включват топлинна енергия, горене, запечатване и автоматично управление. Имаме възможности за симулация на температурни полета, симулация на полета на въздушния поток, производителност на керамични материали за съхранение на топлина, избор на материали за адсорбция на молекулно сито и експериментални тестове за високотемпературно изгаряне и окисление на ЛОС.

Предимства на отбора

Създадохме център за научноизследователска и развойна дейност в областта на RTO технологиите и център за инженерни технологии за намаляване на въглеродните емисии от отработените газове в Сиан, както и производствена база с площ от 30 000 квадратни метра в Янлинг. Ние сме водещ производител на RTO оборудване и оборудване за молекулярни сита по отношение на обема на производство и продажби в световен мащаб. Основният ни технически екип идва от Изследователския институт за аерокосмически течни ракетни двигатели. В момента имаме над 360 служители, включително повече от 60 технологични специалисти в областта на научноизследователската и развойна дейност, включително 3 старши инженери с квалификация на научно ниво, 6 старши инженери и 55 доктори по термодинамика.

Основни продукти

Основните ни продукти включват ротационен термичен окислител (RTO) и колело за адсорбция и концентрация с молекулярно сито. В съчетание с нашия опит в опазването на околната среда и инженерството на топлоенергийни системи, ние можем да предоставим на клиентите цялостни решения за третиране на промишлени отработени газове, намаляване на въглеродните емисии и оползотворяване на топлинна енергия при различни работни условия.

Сертификати, патенти и отличия

• Сертификация на системата за управление на интелектуалната собственост
• Сертифициране на системата за управление на качеството
• Сертифициране на системата за управление на околната среда
• Квалификация на предприятието в строителната индустрия
• Високотехнологично предприятие
• Патент за термичен окислител с ротационен клапан
• Патент за ротационно оборудване за изгаряне на топлина
• Патент за дисково молекулярно сито

Избор на правилното RTO оборудване

• Определяне на характеристиките на отработените газове
• Разберете местните разпоредби и стандарти за емисии
• Оценка на енергийната ефективност
• Обмислете експлоатацията и поддръжката
• Анализ на бюджета и разходите
• Изберете подходящия тип RTO
• Вземете предвид факторите на околната среда и безопасността
• Тестване и проверка на производителността

Обяснение:

Процес на обслужване

• Консултация и оценка
• Дизайн и разработване на решения
• Производство и изработка
• Монтаж и въвеждане в експлоатация
• Следпродажбено обслужване

Обяснение:

Ние сме доставчик на решения на едно гише с професионален екип, посветен на персонализирането на RTO решения за нашите клиенти.

За автора

Автор: Мия