Máy oxy hóa nhiệt RTO cho ngành công nghiệp bán dẫn

Thiết bị oxy hóa nhiệt tái sinh (RTO) là một công nghệ tiên tiến được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn để xử lý các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) và các chất ô nhiễm không khí nguy hại (HAP). Hệ thống hiệu quả cao này đảm bảo tuân thủ các quy định về môi trường và thúc đẩy các hoạt động bền vững trong sản xuất bán dẫn.

Lợi ích của chất oxy hóa nhiệt RTO

• Hiệu quả phá hủy VOC cao

Thiết bị oxy hóa nhiệt RTO được thiết kế để đạt hiệu suất phân hủy VOC cao, thường trên 99%. Điều này đảm bảo loại bỏ hiệu quả khí thải độc hại phát sinh trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

• Hiệu quả năng lượng và tiết kiệm chi phí

Thiết kế tái tạo của Máy oxy hóa nhiệt RTO
Hệ thống này cho phép thu hồi năng lượng nhiệt sinh ra trong quá trình đốt cháy VOC. Năng lượng thu hồi này sau đó được sử dụng để gia nhiệt sơ bộ dòng khí đầu vào, giúp tiết kiệm năng lượng đáng kể và giảm chi phí vận hành.

• Yêu cầu bảo trì thấp

Thiết bị oxy hóa nhiệt RTO có thiết kế đơn giản và chắc chắn, giúp dễ vận hành và bảo trì. Việc không sử dụng các linh kiện phức tạp giúp giảm nhu cầu bảo trì thường xuyên, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và tối đa hóa hiệu quả sản xuất.

• Tuân thủ môi trường

Thiết bị oxy hóa nhiệt RTO đóng vai trò quan trọng trong việc giúp các nhà sản xuất chất bán dẫn đáp ứng các quy định nghiêm ngặt về môi trường. Bằng cách tiêu hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) và hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (HAP), các hệ thống này ngăn chặn việc phát thải chúng vào khí quyển, giảm thiểu tác động môi trường của quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Hoạt động của máy oxy hóa nhiệt RTO

Hoạt động của thiết bị oxy hóa nhiệt RTO bao gồm một số bước chính:

1. Sự hấp phụ

Khí quy trình chứa VOC được đưa vào thiết bị tái sinh đầu tiên, tại đó vật liệu gốm có diện tích bề mặt lớn sẽ hấp thụ VOC.

2. Làm nóng trước

Khí sạch trong quy trình được làm nóng trước khi đi qua bộ tái sinh, sử dụng nhiệt được lưu trữ từ chu trình trước.

3. Sự đốt cháy

Khí được làm nóng trước đi vào buồng đốt, tại đây khí được đưa đến nhiệt độ cần thiết để đốt cháy. Các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) được oxy hóa thành carbon dioxide và hơi nước.

4. Thu hồi nhiệt

Khí nóng, sạch thoát ra khỏi buồng đốt đi qua bộ tái sinh thứ hai, truyền nhiệt tới vật liệu gốm.

5. Làm mát và xả

Khí đã xử lý được làm mát trước khi thải ra khí quyển, trong khi vật liệu gốm trong thiết bị tái sinh đầu tiên được loại bỏ các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) đã hấp thụ bằng luồng không khí sạch.

Nhìn chung, hoạt động của thiết bị oxy hóa nhiệt RTO đảm bảo khả năng phá hủy VOC hiệu quả đồng thời giảm thiểu mức tiêu thụ năng lượng và tuân thủ quy định về môi trường.

Giới thiệu công ty

Chúng tôi là một doanh nghiệp sản xuất thiết bị công nghệ cao, chuyên về quản lý toàn diện khí thải hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC), giảm thiểu phát thải carbon và công nghệ tiết kiệm năng lượng trong ngành công nghiệp bán dẫn. Các công nghệ cốt lõi của chúng tôi bao gồm năng lượng nhiệt, đốt cháy, niêm phong và điều khiển tự động, với khả năng mô phỏng trường nhiệt độ và luồng khí, tính toán mô hình, lựa chọn vật liệu lưu trữ nhiệt gốm, vật liệu hấp phụ sàng phân tử, và thực hiện các thí nghiệm đốt cháy và oxy hóa VOC ở nhiệt độ cao.

Chúng tôi có trung tâm R&D công nghệ RTO và trung tâm công nghệ kỹ thuật giảm thiểu carbon khí thải tại Tây An, cùng cơ sở sản xuất 30.000©O2 tại Dương Lăng. Chúng tôi là nhà sản xuất hàng đầu thế giới về thiết bị RTO và thiết bị quay sàng phân tử xét về sản lượng và doanh số. Đội ngũ công nghệ cốt lõi của chúng tôi đến từ Viện Nghiên cứu Động cơ Tên lửa Chất lỏng Hàng không Vũ trụ (Viện Hàng không Vũ trụ 6). Chúng tôi có hơn 360 nhân viên, bao gồm hơn 60 chuyên gia kỹ thuật nòng cốt về R&D, 3 nghiên cứu viên, 6 kỹ sư cao cấp và 197 tiến sĩ nhiệt động lực học.

Sản phẩm cốt lõi của chúng tôi là thiết bị quay hấp phụ và cô đặc bằng sàng phân tử (RTO) và sàng phân tử. Kết hợp với chuyên môn về công nghệ bảo vệ môi trường và kỹ thuật hệ thống năng lượng nhiệt, chúng tôi có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp toàn diện về xử lý khí thải công nghiệp, sử dụng năng lượng nhiệt, giảm phát thải carbon, v.v.

Chứng nhận, Bằng sáng chế và Danh hiệu

Công ty chúng tôi đã đạt được các chứng chỉ và bằng cấp sau:

• Chứng nhận hệ thống quản lý sở hữu trí tuệ
• Chứng nhận hệ thống quản lý chất lượng
• Chứng nhận hệ thống quản lý môi trường
• Chứng chỉ Doanh nghiệp ngành xây dựng
• Chứng nhận Doanh nghiệp Công nghệ cao
• Bằng sáng chế cho van RTO cho lò oxy hóa lưu trữ nhiệt quay, thiết bị đốt lưu trữ nhiệt quay và thiết bị quay sàng phân tử hình đĩa, v.v.

Hình ảnh:

Cách chọn thiết bị RTO phù hợp

Để lựa chọn thiết bị RTO phù hợp, cần thực hiện theo các bước sau:

1. Xác định đặc tính của khí thải
2. Hiểu các quy định và tiêu chuẩn khí thải của địa phương
3. Đánh giá hiệu quả năng lượng
4. Xem xét hoạt động và bảo trì
5. Phân tích ngân sách và chi phí
6. Chọn loại RTO phù hợp
7. Xem xét các yếu tố môi trường và an toàn
8. Kiểm tra và xác minh hiệu suất

Giải thích:

Quy trình dịch vụ của chúng tôi

Quy trình dịch vụ của chúng tôi bao gồm các bước sau:

1. Tư vấn và đánh giá: tư vấn sơ bộ, kiểm tra tại chỗ, phân tích nhu cầu
2. Thiết kế và lập kế hoạch: thiết kế chương trình, mô phỏng và lập mô hình, đánh giá chương trình
3. Sản xuất và chế tạo: sản xuất theo yêu cầu, kiểm soát chất lượng, thử nghiệm tại nhà máy
4. Lắp đặt và vận hành: lắp đặt, vận hành và vận hành tại chỗ, dịch vụ đào tạo
5. Hỗ trợ sau bán hàng: bảo trì thường xuyên, hỗ trợ kỹ thuật, cung cấp phụ tùng thay thế

Giải thích:

Chúng tôi là nhà cung cấp giải pháp trọn gói với đội ngũ chuyên nghiệp có thể thiết kế các giải pháp RTO theo nhu cầu của khách hàng.

Tác giả: Miya