Xử lý khí RTO Ngành công nghiệp bán dẫn

Giới thiệu

RTO, hay Oxy hóa Nhiệt Tái sinh, là một phương pháp kiểm soát ô nhiễm không khí hiệu quả cho các nhà máy sản xuất chất bán dẫn. Công nghệ này hoạt động bằng cách sử dụng nhiệt độ cao để phân hủy các hợp chất độc hại trong khí thải phát sinh từ các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp bán dẫn, việc áp dụng các biện pháp kiểm soát ô nhiễm không khí hiệu quả là rất cần thiết để duy trì các tiêu chuẩn chất lượng không khí và giảm thiểu tác động môi trường của hoạt động sản xuất chất bán dẫn.

Xử lý khí RTO là gì?

• Xử lý khí RTO là quy trình sử dụng nhiệt độ cao để phân hủy các hợp chất nguy hiểm trong khí thải từ quá trình sản xuất.
• Quá trình này có hiệu quả cao trong việc giảm mức độ ô nhiễm và được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn.
• Hệ thống RTO bao gồm buồng đốt, bộ trao đổi nhiệt gốm và hệ thống điều khiển.
• Hệ thống hoạt động bằng cách làm nóng trước luồng khí đầu vào trước khi đi vào buồng đốt, tại đây luồng khí được làm nóng đến nhiệt độ khoảng 1500¡ãF.
• Sau đó, khí nóng đi qua bộ trao đổi nhiệt gốm, tại đây khí nóng sẽ truyền nhiệt cho luồng khí đi vào.
• Dòng khí đi ra sau đó được làm lạnh xuống nhiệt độ khoảng 100¡ãF trước khi thải vào khí quyển.

Hệ thống xử lý khí RTO hoạt động như thế nào?

• Hệ thống RTOhoạt động bằng cách sử dụng kết hợp nhiệt độ cao và thời gian lưu trú để phân hủy các hợp chất nguy hiểm trong khí thải từ quá trình sản xuất.
• Quá trình này bắt đầu bằng cách làm nóng trước luồng khí đầu vào ở nhiệt độ khoảng 800¡ãF.
• Khí được làm nóng trước sau đó đi vào buồng đốt, tại đây khí được nung nóng đến nhiệt độ khoảng 1500¡ãF.
• Nhiệt độ cao khiến các hợp chất nguy hiểm trong dòng khí bị phân hủy thành các hợp chất ít độc hại hơn như nước và carbon dioxide.
• Dòng khí tạo ra sau đó được dẫn qua bộ trao đổi nhiệt bằng gốm, tại đây nhiệt được truyền đến dòng khí đầu vào.
• Dòng khí đi ra sau đó được làm lạnh xuống nhiệt độ khoảng 100¡ãF trước khi thải vào khí quyển.

Lợi ích của xử lý khí RTO

• Xử lý khí RTO có hiệu quả cao trong việc giảm mức độ ô nhiễm và duy trì tiêu chuẩn chất lượng không khí trong ngành công nghiệp bán dẫn.
• Đây là giải pháp tiết kiệm chi phí để kiểm soát ô nhiễm không khí tại các nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
• Hệ thống RTO dễ vận hành và yêu cầu bảo trì tối thiểu.
• Chúng cũng tiết kiệm năng lượng vì nhiệt thu được từ luồng khí đi ra có thể được sử dụng để làm nóng trước luồng khí đi vào.
• Hệ thống RTO cũng có thể được tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của các nhà máy sản xuất chất bán dẫn.

Ứng dụng của xử lý khí RTO trong ngành công nghiệp bán dẫn

• Xử lý khí RTO thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để kiểm soát khí thải gây ô nhiễm không khí.
• Nó được sử dụng trong sản xuất nhiều sản phẩm bán dẫn khác nhau, bao gồm vi mạch, mạch tích hợp và thiết bị bộ nhớ.
• Hệ thống RTO cũng được sử dụng trong các quá trình khắc, in thạch bản và lắng đọng trong sản xuất chất bán dẫn.

Tương lai của xử lý khí RTO trong ngành công nghiệp bán dẫn

• Công nghệ xử lý khí RTO dự kiến ​​sẽ ngày càng phổ biến hơn trong ngành công nghiệp bán dẫn trong tương lai khi ngành này tiếp tục phát triển.
• Các hệ thống RTO mới hơn và hiệu quả hơn đang được phát triển để đáp ứng nhu cầu cụ thể của các nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
• Việc sử dụng công nghệ xử lý khí RTO cũng được dự đoán sẽ tăng lên khi các quy định về môi trường trở nên nghiêm ngặt hơn.

Phần kết luận

Xử lý khí RTO là một phương pháp kiểm soát ô nhiễm không khí hiệu quả cho các nhà máy sản xuất chất bán dẫn. Với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp bán dẫn, việc áp dụng các biện pháp kiểm soát ô nhiễm không khí hiệu quả là rất cần thiết để duy trì các tiêu chuẩn chất lượng không khí và giảm thiểu tác động môi trường của hoạt động sản xuất chất bán dẫn. Hệ thống RTO có hiệu quả cao, tiết kiệm chi phí, tiết kiệm năng lượng, dễ vận hành và bảo trì. Chúng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn để kiểm soát khí thải ô nhiễm không khí và dự kiến ​​sẽ trở nên phổ biến hơn nữa trong tương lai.

Chúng tôi là một doanh nghiệp công nghệ cao chuyên về xử lý toàn diện khí thải hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) và công nghệ giảm carbon và tiết kiệm năng lượng cho sản xuất thiết bị cao cấp. Đội ngũ kỹ thuật cốt lõi của chúng tôi đến từ Viện nghiên cứu động cơ tên lửa lỏng hàng không vũ trụ (Viện hàng không vũ trụ thứ sáu); có hơn 60 kỹ thuật viên R&D, bao gồm 3 kỹ sư cao cấp ở cấp độ nghiên cứu viên và 16 kỹ sư cao cấp. Công ty có bốn công nghệ cốt lõi: năng lượng nhiệt, đốt cháy, niêm phong và điều khiển tự động; có khả năng mô phỏng trường nhiệt độ và mô hình hóa và tính toán mô phỏng trường luồng không khí; có khả năng kiểm tra hiệu suất của vật liệu lưu trữ nhiệt gốm, lựa chọn vật liệu hấp phụ sàng phân tử và thử nghiệm các đặc tính đốt và oxy hóa ở nhiệt độ cao của chất hữu cơ VOC. Công ty đã xây dựng một trung tâm nghiên cứu và phát triển công nghệ RTO và một trung tâm công nghệ kỹ thuật giảm carbon khí thải tại thành phố cổ Tây An và một cơ sở sản xuất rộng 30.000m2 tại Dương Lăng. Khối lượng sản xuất và bán thiết bị RTO vượt xa trên thế giới.

Giới thiệu về Nền tảng Nghiên cứu và Phát triển của chúng tôi

1. Bệ thử nghiệm công nghệ kiểm soát quá trình đốt cháy hiệu suất cao

Bệ thử nghiệm này được thiết kế để đánh giá và tối ưu hóa quá trình đốt cháy nhằm xử lý khí thải hiệu quả. Nó cho phép chúng tôi nghiên cứu và phát triển các kỹ thuật đốt cháy tiên tiến, đảm bảo hiệu suất phân hủy cao và mức tiêu thụ năng lượng thấp.

2. Máy thử hiệu suất hấp phụ sàng phân tử

Với bệ thử nghiệm này, chúng tôi có thể nghiên cứu và đánh giá hiệu suất của các vật liệu hấp phụ sàng phân tử khác nhau. Nó cho phép chúng tôi xác định chất hấp phụ hiệu quả nhất để loại bỏ VOC, từ đó nâng cao hiệu quả xử lý.

3. Bệ thử nghiệm công nghệ lưu trữ nhiệt gốm hiệu suất cao

Bệ thử nghiệm này tập trung vào việc phát triển và đánh giá vật liệu gốm lưu trữ nhiệt để thu hồi nhiệt thải. Nó cho phép chúng tôi kiểm tra và tối ưu hóa khả năng lưu trữ nhiệt, độ bền và hiệu suất truyền nhiệt của các vật liệu gốm khác nhau.

4. Bàn thử nghiệm thu hồi nhiệt thải ở nhiệt độ cực cao

Sử dụng băng thử nghiệm này, chúng tôi có thể khám phá các công nghệ tiên tiến để thu hồi và sử dụng nhiệt thải ở nhiệt độ cực cao. Nó cho phép chúng tôi đánh giá hiệu suất và tính khả thi của các phương pháp thu hồi nhiệt thải khác nhau, góp phần tiết kiệm năng lượng.

5. Bàn thử nghiệm công nghệ niêm phong chất lỏng khí

Phòng thử nghiệm công nghệ bịt kín khí-lỏng chuyên nghiên cứu và cải thiện hiệu suất bịt kín của thiết bị xử lý khí thải. Nó giúp chúng tôi phát triển các giải pháp bịt kín tiên tiến giúp giảm thiểu rò rỉ và đảm bảo an toàn vận hành.

Chúng tôi đã đạt được những thành công đáng kể trong các nỗ lực nghiên cứu và phát triển, mang lại nhiều bằng sáng chế và danh hiệu. Chúng tôi đã nộp đơn xin cấp tổng cộng 68 bằng sáng chế, bao gồm 21 bằng sáng chế phát minh, bao gồm các thành phần quan trọng trong công nghệ của chúng tôi. Trong số đó, chúng tôi đã được cấp 4 bằng sáng chế phát minh, 41 bằng sáng chế giải pháp hữu ích, 6 bằng sáng chế thiết kế và 7 bản quyền phần mềm.

Năng lực sản xuất

1. Dây chuyền sản xuất phun bi và sơn tự động cho tấm thép và thanh thép

Dây chuyền sản xuất này cho phép xử lý bề mặt hiệu quả các tấm thép và thanh thép được sử dụng trong quá trình sản xuất thiết bị của chúng tôi. Nó đảm bảo độ bám dính lớp phủ và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, tạo ra các sản phẩm bền bỉ và chất lượng cao.

2. Dây chuyền sản xuất phun bi thủ công

Dây chuyền sản xuất phun bi thủ công có khả năng làm sạch và chuẩn bị các chi tiết nhỏ và phức tạp để gia công tiếp. Nó cung cấp quy trình xử lý bề mặt chính xác và kỹ lưỡng, đảm bảo hiệu suất và tuổi thọ tối ưu.

3. Thiết bị loại bỏ bụi và bảo vệ môi trường

Tại cơ sở sản xuất, chúng tôi sở hữu các thiết bị tiên tiến để sản xuất thiết bị khử bụi và bảo vệ môi trường. Các hệ thống này có khả năng thu giữ và loại bỏ hiệu quả các hạt và khí độc hại, góp phần tạo nên một môi trường làm việc sạch sẽ và an toàn.

4. Buồng sơn tự động

Chúng tôi sở hữu buồng sơn tự động hiện đại, đảm bảo lớp phủ đồng đều và chất lượng cao trên thiết bị. Hệ thống này đảm bảo tính thẩm mỹ tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn, đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất của ngành.

5. Phòng sấy

Phòng sấy của chúng tôi được trang bị công nghệ tiên tiến, giúp quá trình sấy khô sản phẩm được thuận lợi hơn. Phòng sấy đảm bảo điều kiện sấy tối ưu, mang lại chất lượng và hiệu suất vượt trội cho sản phẩm.

Chúng tôi trân trọng kính mời quý khách hàng hợp tác và tận dụng chuyên môn của chúng tôi trong lĩnh vực xử lý khí thải và công nghệ tiết kiệm năng lượng. Dưới đây là sáu lợi ích khi hợp tác với chúng tôi:

• 1. Năng lực R&D tiên tiến, đảm bảo các giải pháp sáng tạo và hiệu quả.
• 2. Kinh nghiệm sâu rộng trong xử lý khí thải VOC và giảm thiểu carbon.
• 3. Cơ sở nghiên cứu và thử nghiệm tiên tiến để xác nhận công nghệ.
• 4. Thành tích đã được chứng minh về bằng sáng chế thành công và thành tựu kỹ thuật.
• 5. Khả năng sản xuất chất lượng cao cho thiết bị đáng tin cậy và bền bỉ.
• 6. Cam kết bảo vệ môi trường và tiết kiệm năng lượng.

Tác giả: Miya