Напівпровідникова промисловість для обробки газів RTO

вступ

RTO, або регенеративне термічне окислення, – це ефективний метод контролю забруднення повітря на заводах з виробництва напівпровідників. Ця технологія працює за допомогою високих температур для розщеплення небезпечних сполук у вихлопних газах, що викидаються в процесах виробництва напівпровідників. Зі швидким зростанням напівпровідникової промисловості вкрай важливо мати ефективні заходи контролю забруднення повітря, щоб підтримувати стандарти якості повітря та мінімізувати вплив виробництва напівпровідників на навколишнє середовище.

Що таке обробка газу RTO?

• Очищення газів RTO – це процес, який використовує високі температури для розщеплення небезпечних сполук у вихлопних газах виробничих процесів.
• Цей процес є дуже ефективним у зниженні рівня забруднення та широко використовується в напівпровідниковій промисловості.
• Системи RTO складаються з камери згоряння, керамічного теплообмінника та системи керування.
• Система працює шляхом попереднього нагрівання вхідного газового потоку перед його потраплянням у камеру згоряння, де він нагрівається до температури близько 1500 °F (777 °C).
• Потім гарячий газ проходить через керамічний теплообмінник, де він віддає своє тепло вхідному газовому потоку.
• Вихідний газовий потік потім охолоджується до температури близько 100°F (100°F), перш ніж потрапити в атмосферу.

Як працює обробка газу RTO?

• система RTOпрацюють, використовуючи комбінацію високих температур та часу перебування для розкладання небезпечних сполук у вихлопних газах виробничих процесів.
• Процес починається з попереднього нагрівання вхідного газового потоку до температури близько 800 °F (800 °F).
• Потім попередньо нагрітий газ потрапляє в камеру згоряння, де нагрівається до температури близько 1500 °F.
• Висока температура призводить до розкладання небезпечних сполук у газовому потоці на менш шкідливі сполуки, такі як вода та вуглекислий газ.
• Отриманий газовий потік потім направляється через керамічний теплообмінник, де тепло передається вхідному газовому потоку.
• Вихідний газовий потік потім охолоджується до температури близько 100°F (100°F), перш ніж потрапити в атмосферу.

Переваги обробки газу RTO

• Очищення газів RTO є дуже ефективним у зниженні рівня забруднення та підтримці стандартів якості повітря в напівпровідниковій промисловості.
• Це економічно ефективне рішення для контролю забруднення повітря на заводах з виробництва напівпровідників.
• Системи RTO прості в експлуатації та потребують мінімального обслуговування.
• Вони також енергоефективні, оскільки тепло, отримане з вихідного газового потоку, може бути використане для попереднього нагрівання вхідного газового потоку.
• Системи RTO також можна налаштувати відповідно до конкретних потреб заводів з виробництва напівпровідників.

Застосування обробки газів RTO у напівпровідниковій промисловості

• Обробка газів методом RTO зазвичай використовується в напівпровідниковій промисловості для контролю викидів забруднюючих речовин у повітря.
• Він використовується у виробництві різних напівпровідникових виробів, включаючи мікрочіпи, інтегральні схеми та пристрої пам'яті.
• Системи RTO також використовуються в процесах травлення, літографії та осадження у виробництві напівпровідників.

Майбутнє обробки газів RTO у напівпровідниковій промисловості

• Очікується, що обробка газів методом RTO стане ще більш популярною в напівпровідниковій промисловості в майбутньому, оскільки галузь продовжує зростати.
• Для задоволення конкретних потреб заводів з виробництва напівпровідників розробляються новіші та ефективніші системи RTO.
• Очікується також, що використання обробки газу RTO зросте, оскільки екологічні норми стають суворішими.

Висновок

Очищення газів методом RTO – це ефективний метод контролю забруднення повітря на заводах з виробництва напівпровідників. Зі швидким зростанням напівпровідникової промисловості вкрай важливо мати ефективні заходи контролю забруднення повітря, щоб підтримувати стандарти якості повітря та мінімізувати вплив виробництва напівпровідників на навколишнє середовище. Системи RTO є високоефективними, економічно ефективними, енергоефективними та простими в експлуатації та обслуговуванні. Вони широко використовуються в напівпровідниковій промисловості для контролю викидів забруднюючих речовин у повітря і, як очікується, стануть ще більш популярними в майбутньому.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Вступ до наших платформ досліджень та розробок

1. Випробувальний стенд для високоефективної технології контролю горіння

Цей випробувальний стенд призначений для оцінки та оптимізації процесу горіння для ефективної обробки відхідних газів. Він дозволяє нам вивчати та розробляти передові методи горіння, що забезпечують високу ефективність знищення та низьке споживання енергії.

2. Випробувальний стенд для перевірки ефективності адсорбції молекулярним ситом

За допомогою цього випробувального стенду ми можемо досліджувати та оцінювати ефективність різних адсорбційних матеріалів на основі молекулярних сит. Це дозволяє нам визначити найефективніші адсорбенти для видалення летких органічних сполук, що призводить до підвищення ефективності очищення.

3. Випробувальний стенд для технології керамічного теплового накопичення високої ефективності

Цей випробувальний стенд зосереджений на розробці та оцінці керамічних матеріалів для теплоакумулювання для рекуперації відпрацьованого тепла. Він дозволяє нам перевіряти та оптимізувати теплоємність, довговічність та ефективність теплопередачі різних керамічних матеріалів.

4. Випробувальний стенд для рекуперації надвисокотемпературного відхідного тепла

Використовуючи цей випробувальний стенд, ми можемо досліджувати інноваційні технології для рекуперації та використання надвисокотемпературного відхідного тепла. Це дозволяє нам оцінити ефективність та доцільність різних методів рекуперації відхідного тепла, що сприяє енергозбереженню.

5. Випробувальний стенд для технології герметизації газо-рідинними середовищами

Випробувальний стенд для технології герметизації газофазних рідин призначений для вивчення та покращення герметичності обладнання, що використовується для очищення відпрацьованих газів. Він допомагає нам розробляти передові рішення для герметизації, які мінімізують витоки та забезпечують безпеку експлуатації.

Ми досягли вражаючих успіхів у наших дослідницьких та розробницьких зусиллях, що призвело до отримання численних патентів та відзнак. Ми подали заявки на 68 патентів, включаючи 21 патент на винаходи, що охоплюють критично важливі компоненти наших технологій. Серед них нам видано 4 патенти на винаходи, 41 патент на корисну модель, 6 патентів на промисловий зразок та 7 авторських прав на програмне забезпечення.

Виробнича потужність

1. Автоматична лінія для дробоструминної обробки та фарбування сталевих листів та профілів

Ця виробнича лінія дозволяє ефективно обробляти поверхню сталевих листів та профілів, що використовуються у виробництві нашого обладнання. Вона забезпечує відмінну адгезію покриття та стійкість до корозії, що призводить до отримання довговічних та високоякісних виробів.

2. Виробнича лінія для ручного дробоструминного очищення

Лінія ручного дробоструминного очищення здатна очищати та готувати невеликі та складні компоненти до подальшої обробки. Вона забезпечує точну та ретельну обробку поверхні, забезпечуючи оптимальну продуктивність та довговічність.

3. Обладнання для видалення пилу та захисту навколишнього середовища

На нашій виробничій базі ми маємо сучасне обладнання для виробництва обладнання для видалення пилу та захисту навколишнього середовища. Ці системи ефективно вловлюють та видаляють шкідливі частинки та гази, сприяючи чистому та безпечному робочому середовищу.

4. Автоматична фарбувальна кабіна

Ми маємо сучасну автоматичну фарбувальну камеру, яка забезпечує стабільне та високоякісне покриття нашого обладнання. Це гарантує відмінну естетичну привабливість та стійкість до корозії, що відповідає найвищим галузевим стандартам.

5. Сушильна кімната

Наша сушильна камера оснащена передовим обладнанням для полегшення процесу сушіння нашої продукції. Це забезпечує оптимальні умови сушіння, що призводить до високої якості та продуктивності продукції.

Ми запрошуємо наших клієнтів до співпраці та скористатися нашим досвідом у сфері очищення відпрацьованих газів та енергозберігаючих технологій. Ось шість переваг партнерства з нами:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Великий досвід у обробці летких органічних сполук (ЛОС) відхідних газів та скороченні викидів вуглецю.
• 3. Передові дослідницькі та випробувальні потужності для валідації технологій.
• 4. Підтверджений досвід успішних патентів та технічних досягнень.
• 5. Високоякісні виробничі можливості для надійного та довговічного обладнання.
• 6. Відданість справі захисту довкілля та енергозбереження.

Автор: Мія