Регенеративний термічний окислювач у напівпровідниковій промисловості

вступ

Виробництво напівпровідників — це енергоємна галузь, яка залежить від спеціалізованого обладнання для підтримки якості та ефективності. Регенеративний термічний окислювач, або RTO, є ключовим компонентом багатьох заводів з виробництва напівпровідників. У цій статті ми розглянемо важливість RTO у напівпровідниковій промисловості, їхнє основне функціонування та те, як вони допомагають забезпечити сталий та ефективний розвиток виробництва напівпровідників.

Що таке RTO?

RTO – це тип промислової системи контролю забруднення повітря, яка використовується для очищення відпрацьованого повітря від промислових процесів. У випадку напівпровідникової промисловості RTO призначені для очищення повітря, яке відпрацьовується різними технологічними інструментами, що використовуються у виробництві напівпровідників. RTO працює за допомогою комбінації теплових та хімічних реакцій для перетворення шкідливих забруднювачів у відпрацьованому повітрі на нешкідливі сполуки перед їх викидом в атмосферу.

Як працює RTO?

RTO працює за допомогою процесу, який називається термічним окисленням, для розкладання та видалення шкідливих забруднюючих речовин з відпрацьованого повітря. RTO складається з трьох основних компонентів: камери згоряння, теплообмінника та системи керування. Камера згоряння – це місце, куди подається забруднене відпрацьоване повітря та нагрівається до високої температури. Теплообмінник – це місце, де гаряче відпрацьоване повітря охолоджується, а тепло уловлюється та використовується повторно. Система керування відповідає за моніторинг та керування температурою, швидкістю потоку та іншими параметрами, щоб забезпечити ефективну роботу RTO.

Переваги RTO у напівпровідниковій промисловості

RTO пропонують кілька переваг для напівпровідникової промисловості, зокрема:

1. Дотримання екологічних норм

На напівпровідникову промисловість поширюються суворі екологічні норми, і установки для обробки повітря (RTO) допомагають забезпечити їх дотримання. Очищаючи відпрацьоване повітря від різних технологічних інструментів, RTO допомагають зменшити викиди шкідливих забруднюючих речовин, таких як леткі органічні сполуки (ЛОС) та оксиди азоту (NOx).

2. Енергоефективність

Термічні теплообмінники (RTO) є енергоефективними, оскільки вони здатні рекуперувати та повторно використовувати значну частину тепла, що утворюється під час процесу горіння. Це означає, що для підтримки високих температур, необхідних для процесу термічного окислення, потрібно менше енергії, що призводить до зниження витрат на енергію та підвищення екологічності.

3. Економія коштів

Зменшуючи викиди шкідливих забруднюючих речовин, RTO також можуть допомогти зменшити витрати, пов'язані з дотриманням екологічних норм. Крім того, економія енергії, пов'язана з RTO, також може призвести до значної економії коштів з часом.

RTO в дії: тематичне дослідження

Щоб проілюструвати ефективність установок RTO (операцій, що виробляють леткі органічні сполуки) у напівпровідниковій промисловості, розглянемо конкретний випадок. Завод з виробництва напівпровідників у Каліфорнії зіткнувся зі зростаючим тиском щодо скорочення викидів летких органічних сполук (ЛОС) та інших шкідливих забруднювачів. Завод встановив установку RTO для очищення відпрацьованого повітря від своїх технологічних інструментів, і результати були вражаючими. Установка RTO змогла скоротити викиди ЛОС більш ніж на 901 TP4T, що призвело до значної економії коштів та чистішого навколишнього середовища.

Висновок

На завершення, RTO відіграють вирішальну роль у напівпровідниковій промисловості, допомагаючи забезпечити дотримання екологічних норм, сприяючи енергоефективності та знижуючи витрати. Використовуючи комбінацію теплових та хімічних реакцій, RTO здатні очищувати відпрацьоване повітря від промислових процесів та перетворювати шкідливі забруднювачі на нешкідливі сполуки. Оскільки виробництво напівпровідників продовжує зростати та розвиватися, RTO залишатимуться важливим компонентом сталого та ефективного виробництва.

Представлення компанії

Ми є підприємством з виробництва високоякісного обладнання, що спеціалізується на комплексній обробці відпрацьованих газів летких органічних сполук (ЛОС) та енергозберігаючих технологіях зменшення викидів вуглецю в напівпровідниковій промисловості.

Основні технології

• Чотири основні технології теплового, горіння, герметизації та самоконтролю
• Можливості моделювання температурного поля та моделювання поля повітряного потоку
• Здатність проводити випробування характеристик керамічного матеріалу для акумулювання тепла, вибору матеріалу для адсорбції молекулярних сит та експериментальних випробувань характеристик окислення летких органічних сполук при високотемпературному спалюванні

Переваги команди

У нас є дослідницький та розробницький центр технології RTO та центр інженерних технологій скорочення викидів вуглецю з відхідних газів у Сіані, а також виробнича база площею 30 000 квадратних метрів у Янліні. Ми є провідним виробником обладнання RTO та роторного обладнання молекулярних сит з точки зору виробництва та продажів. Наша основна технічна команда походить з Науково-дослідного інституту аерокосмічних рідинних ракетних двигунів (Шоста аерокосмічна академія). Наразі у нас працює понад 360 співробітників, включаючи понад 60 членів технічної бази досліджень та розробок, зокрема 3 старших інженерів та 6 старших інженерів, а також 34 доктори наук з термодинаміки.

Основні продукти

Нашими основними продуктами є регенеративний термічний окислювач (RTO) з роторним клапаном та адсорбційний концентратор на основі молекулярного сита. Завдяки нашому досвіду в галузі охорони навколишнього середовища та проектування теплоенергетичних систем, ми можемо запропонувати клієнтам комплексні рішення для промислової обробки вихлопних газів, використання енергії та зменшення викидів вуглецю в різних умовах експлуатації.

Сертифікація, патент та почесні звання компанії

• Сертифікація системи управління інтелектуальною власністю
• Сертифікація системи управління якістю
• Сертифікація системи екологічного менеджменту
• Кваліфікація підприємства будівельної індустрії
• Високотехнологічне підприємство
• Патент на регенеративний термічний окислювач з поворотним клапаном
• Патент на роторне обладнання для спалювання тепла
• Патент на роторне обладнання для дискового молекулярного сита

Вибір правильного обладнання RTO

• Врахуйте специфічні вимоги напівпровідникової промисловості

Пояснення: Обладнання RTO має бути розроблене з урахуванням конкретних потреб та викликів напівпровідникової промисловості, таких як обробка летких органічних сполук, що виділяються під час виробничих процесів.

• Оцініть потужність та ефективність

Пояснення: Обладнання RTO повинно мати необхідну потужність та високу ефективність для ефективної обробки обсягу та концентрації летких органічних сполук у напівпровідниковій промисловості.

• Оцінити експлуатаційні витрати та витрати на технічне обслуговування

Пояснення: Важливо враховувати довгострокові експлуатаційні витрати та вимоги до технічного обслуговування обладнання RTO, щоб забезпечити економічну ефективність для напівпровідникової промисловості.

• Забезпечити дотримання екологічних норм

Пояснення: Обране обладнання RTO повинно відповідати відповідним екологічним нормам та стандартам для забезпечення законної та сталої діяльності в напівпровідниковій промисловості.

Процес обслуговування

1. Консультація та оцінка:
• Попередня консультація
• Огляд на місці
• Аналіз потреб
2. Розробка дизайну та рішення:
• Проектування рішення
• Моделювання та симуляція
• Огляд рішення
3. Виробництво та виготовлення:
• Індивідуальне виробництво
• Контроль якості
• Заводські випробування
4. Монтаж і введення в експлуатацію:
• Установка на місці
• Введення в експлуатацію та експлуатація
• Послуги з навчання
5. Післяпродажна підтримка:
• Регулярне обслуговування
• Технічна підтримка
• Постачання запасних частин

Ми пропонуємо комплексні рішення та маємо професійну команду для налаштування рішень RTO для наших клієнтів, забезпечуючи успіх кожного кроку.

Автор: Мія