Oxidator termic RTO pentru industria semiconductorilor

Oxidatorul termic regenerativ (RTO) este o tehnologie avansată utilizată pe scară largă în industria semiconductorilor pentru tratarea compușilor organici volatili (COV) și a poluanților atmosferici periculoși (HAP). Acest sistem extrem de eficient asigură respectarea reglementărilor de mediu și promovează practici durabile în fabricarea semiconductorilor.

Beneficiile oxidantului termic RTO

• Eficiență ridicată de distrugere a COV-urilor

Oxidatoarele termice RTO sunt proiectate pentru a obține o eficiență ridicată de distrugere a COV-urilor, de obicei peste 99%. Acest lucru asigură eliminarea eficientă a emisiilor nocive eliberate în timpul proceselor de fabricație a semiconductorilor.

• Eficiență energetică și economii de costuri

Designul regenerativ al Oxidant termic RTO
s permite recuperarea energiei termice generate în timpul arderii COV-urilor. Această energie recuperată este apoi utilizată pentru preîncălzirea fluxului de gaze de proces care intră, rezultând economii semnificative de energie și costuri de operare reduse.

• Necesități reduse de întreținere

Oxidatoarele termice RTO au un design simplu și robust, ceea ce le face ușor de utilizat și de întreținut. Absența componentelor complexe reduce necesitatea unei întrețineri frecvente, minimizând timpii de nefuncționare și maximizând eficiența producției.

• Conformitate cu mediul

Oxidatorii termici RTO joacă un rol crucial în a ajuta producătorii de semiconductori să respecte reglementările stricte de mediu. Prin distrugerea eficientă a COV-urilor și a HAP-urilor, aceste sisteme previn eliberarea acestora în atmosferă, reducând impactul asupra mediului al fabricării semiconductorilor.

Funcționarea oxidatorului termic RTO

Funcționarea unui oxidant termic RTO implică mai mulți pași cheie:

1. Adsorbţie

Gazul de proces încărcat cu COV este direcționat către primul regenerator, unde un mediu ceramic cu o suprafață mare adsorbe COV-urile.

2. Preîncălzire

Gazul de proces curat este preîncălzit pe măsură ce trece prin regenerator, utilizând căldura stocată din ciclul anterior.

3. Combustie

Gazul preîncălzit intră în camera de ardere, unde este adus la temperatura necesară pentru ardere. COV-urile sunt oxidate în dioxid de carbon și vapori de apă.

4. Recuperare de căldură

Gazul fierbinte și curat care părăsește camera de ardere trece prin al doilea regenerator, transferându-și căldura către mediul ceramic.

5. Răcire și descărcare

Gazul tratat este răcit înainte de a fi evacuat în atmosferă, în timp ce mediul ceramic din primul regenerator este purjat de COV-uri adsorbite printr-un flux de aer curat.

Per total, funcționarea unui oxidant termic RTO asigură distrugerea eficientă a COV-urilor, reducând în același timp consumul de energie și menținând conformitatea cu reglementările de mediu.

Introducere companie

Suntem o întreprindere producătoare de echipamente de înaltă tehnologie, specializată în gestionarea completă a gazelor de eșapament și a emisiilor de carbon de compuși organici volatili (COV), precum și în tehnologia de economisire a energiei în industria semiconductorilor. Tehnologiile noastre de bază includ energia termică, arderea, etanșarea și controlul automat, cu capacitatea de a simula câmpurile de temperatură și flux de aer, de a calcula modele, de a selecta materiale ceramice de stocare a căldurii, materiale de adsorbție cu site moleculare și de a efectua experimente de incinerare și oxidare a COV-urilor la temperaturi înalte.

We have RTO technology R&D center and waste gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, and a 30,000©O production base in Yangling. We are the leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve rotary equipment in terms of output and sales volume worldwide. Our core technology team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace 6th Institute). We have more than 360 employees, including over 60 R&D technical backbones, 3 research fellows, 6 senior engineers, and 197 thermodynamic doctors.

Produsele noastre principale sunt dispozitive rotative de adsorbție și concentrare RTO și site moleculare. Combinate cu propria noastră expertiză în domeniul protecției mediului și al tehnologiei inginerești a sistemelor de energie termică, putem oferi clienților soluții complete pentru tratarea gazelor de eșapament industriale, utilizarea energiei termice, reducerea emisiilor de carbon și multe altele.

Certificari, brevete și onoruri

Compania noastră a obținut următoarele certificări și calificări:

• Certificarea Sistemului de Management al Proprietății Intelectuale
• Certificarea Sistemului de Management al Calitatii
• Certificarea Sistemului de Management de Mediu
• Calificarea întreprinderii din industria construcțiilor
• Certificare de întreprindere de înaltă tehnologie
• Brevete pentru supape RTO pentru cuptor rotativ de oxidare cu stocare de căldură, echipamente rotative de incinerare cu stocare de căldură și echipamente rotative cu sită moleculară în formă de disc etc.

Imagine:

Cum să alegi echipamentul RTO potrivit

Alegerea echipamentului RTO potrivit necesită următorii pași:

1. Determinați caracteristicile gazelor de eșapament
2. Înțelegeți reglementările locale și standardele de emisii
3. Evaluați eficiența energetică
4. Luați în considerare operarea și întreținerea
5. Analiza bugetului si costurilor
6. Selectați tipul RTO corespunzător
7. Luați în considerare factorii de mediu și de siguranță
8. Testarea și verificarea performanței

Explicaţie:

Procesul nostru de service

Procesul nostru de service include următorii pași:

1. Consultare și evaluare: consultare preliminară, inspecție la fața locului, analiza nevoilor
2. Proiectare și planificare: proiectarea programului, simulare și modelare, revizuirea programului
3. Producție și fabricație: producție personalizată, controlul calității, testare în fabrică
4. Instalare și punere în funcțiune: instalare la fața locului, punere în funcțiune și operare, servicii de instruire
5. Asistență post-vânzare: întreținere regulată, asistență tehnică, furnizare de piese de schimb

Explicaţie:

We are a one-stop solution provider with a professional team that tailors RTO solutions to customers’ needs.

Autor: Miya