Industria semiconductorilor pentru tratarea gazelor RTO

Introducere

RTO, sau Oxidarea Termică Regenerativă, este o metodă eficientă de control al poluării aerului pentru fabricile de fabricație a semiconductorilor. Această tehnologie funcționează prin utilizarea temperaturilor ridicate pentru a descompune compușii periculoși din gazele de eșapament emise de procesele de fabricație a semiconductorilor. Având în vedere creșterea rapidă a industriei semiconductorilor, este esențial să existe măsuri eficiente de control al poluării aerului pentru a menține standardele de calitate a aerului și a minimiza impactul asupra mediului al fabricării semiconductorilor.

Ce este tratarea gazelor RTO?

• Tratarea gazelor RTO este un proces care utilizează temperaturi ridicate pentru a descompune compușii periculoși din gazele de eșapament provenite din procesele de fabricație.
• Acest proces este extrem de eficient în reducerea nivelului de poluare și este utilizat pe scară largă în industria semiconductorilor.
• Sistemele RTO constau dintr-o cameră de ardere, un schimbător de căldură ceramic și un sistem de control.
• Sistemul funcționează prin preîncălzirea fluxului de gaz de intrare înainte de a intra în camera de ardere, unde este încălzit la o temperatură de aproximativ 1500°F.
• Gazul fierbinte trece apoi prin schimbătorul de căldură ceramic, unde cedează căldura fluxului de gaz care intră.
• Fluxul de gaz ieșit este apoi răcit la o temperatură de aproximativ 38,8 °C înainte de a fi eliberat în atmosferă.

Cum funcționează tratarea gazelor RTO?

• sistem RTOFuncționează utilizând o combinație de temperaturi ridicate și timp de staționare pentru a descompune compușii periculoși din gazele de eșapament provenite din procesele de fabricație.
• Procesul începe prin preîncălzirea fluxului de gaz admis la o temperatură de aproximativ 800°F.
• Gazul preîncălzit intră apoi în camera de ardere, unde este încălzit la o temperatură de aproximativ 1500°F.
• Temperatura ridicată face ca compușii periculoși din fluxul de gaz să se descompună în compuși mai puțin nocivi, cum ar fi apa și dioxidul de carbon.
• Fluxul de gaz rezultat este apoi direcționat printr-un schimbător de căldură ceramic, unde căldura este transferată fluxului de gaz admis.
• Fluxul de gaz ieșit este apoi răcit la o temperatură de aproximativ 38,8 °C înainte de a fi eliberat în atmosferă.

Beneficiile tratării gazelor RTO

• Tratarea gazelor RTO este extrem de eficientă în reducerea nivelurilor de poluare și menținerea standardelor de calitate a aerului în industria semiconductorilor.
• Este o soluție eficientă din punct de vedere al costurilor pentru controlul poluării aerului în fabricile de producție a semiconductorilor.
• Sistemele RTO sunt ușor de operat și necesită o întreținere minimă.
• De asemenea, sunt eficiente din punct de vedere energetic, deoarece căldura recuperată din fluxul de gaz la ieșire poate fi utilizată pentru preîncălzirea fluxului de gaz la intrare.
• Sistemele RTO pot fi, de asemenea, personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale fabricilor de producție de semiconductori.

Aplicații ale tratamentului gazelor RTO în industria semiconductorilor

• Tratarea gazelor RTO este utilizată în mod obișnuit în industria semiconductorilor pentru controlul emisiilor de poluare a aerului.
• Este utilizat în fabricarea diferitelor produse semiconductoare, inclusiv microcipuri, circuite integrate și dispozitive de memorie.
• Sistemele RTO sunt utilizate și în procesele de gravare, litografie și depunere în fabricarea semiconductorilor.

Viitorul tratării gazelor RTO în industria semiconductorilor

• Se așteaptă ca tratamentul gazelor RTO să devină și mai popular în industria semiconductorilor în viitor, pe măsură ce industria continuă să crească.
• Sisteme RTO mai noi și mai eficiente sunt dezvoltate pentru a satisface nevoile specifice ale fabricilor de producție de semiconductori.
• Se așteaptă ca utilizarea tratării gazelor RTO să crească, de asemenea, pe măsură ce reglementările de mediu devin mai stricte.

Concluzie

Tratarea gazelor RTO este o metodă eficientă de control al poluării aerului pentru fabricile de fabricație a semiconductorilor. Având în vedere creșterea rapidă a industriei semiconductorilor, este esențial să existe măsuri eficiente de control al poluării aerului pentru a menține standardele de calitate a aerului și a minimiza impactul asupra mediului al fabricării semiconductorilor. Sistemele RTO sunt extrem de eficiente, rentabile, eficiente din punct de vedere energetic și ușor de operat și întreținut. Acestea sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorilor pentru controlul emisiilor de poluare a aerului și se așteaptă să devină și mai populare în viitor.

We are a high-tech enterprise specializing in the comprehensive treatment of volatile organic compounds (VOCs) waste gas and carbon reduction and energy-saving technology for high-end equipment manufacturing. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute (Aerospace Sixth Institute); it has more than 60 R&D technicians, including 3 senior engineers at the researcher level and 16 senior engineers. It has four core technologies: thermal energy, combustion, sealing, and automatic control; it has the ability to simulate temperature fields and air flow field simulation modeling and calculation; it has the ability to test the performance of ceramic thermal storage materials, the selection of molecular sieve adsorption materials, and the experimental testing of the high-temperature incineration and oxidation characteristics of VOCs organic matter. The company has built an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in the ancient city of Xi’an, and a 30,000m2 production base in Yangling. The production and sales volume of RTO equipment is far ahead in the world.

Introducere în platformele noastre de cercetare și dezvoltare

1. Banc de testare a tehnologiei de control al arderii de înaltă eficiență

Acest banc de testare este conceput pentru a evalua și optimiza procesul de ardere pentru tratarea eficientă a gazelor reziduale. Ne permite să studiem și să dezvoltăm tehnici avansate de ardere, asigurând o eficiență ridicată a distrugerii și un consum redus de energie.

2. Banc de testare a eficienței adsorbției prin sită moleculară

Cu acest banc de testare, putem investiga și evalua performanța diferitelor materiale de adsorbție prin sită moleculară. Ne permite să identificăm cei mai eficienți adsorbanți pentru îndepărtarea COV, ceea ce duce la o eficiență îmbunătățită a tratamentului.

3. Banc de testare pentru tehnologie de stocare termică ceramică de înaltă eficiență

Acest banc de testare se concentrează pe dezvoltarea și evaluarea materialelor ceramice de stocare termică pentru recuperarea căldurii reziduale. Ne permite să testăm și să optimizăm capacitatea de stocare termică, durabilitatea și eficiența transferului de căldură a diferitelor materiale ceramice.

4. Banc de testare pentru recuperarea căldurii reziduale la temperaturi ultra-înalte

Folosind acest banc de testare, putem explora tehnologii inovatoare pentru recuperarea și utilizarea căldurii reziduale la temperaturi ultra-înalte. Ne permite să evaluăm performanța și fezabilitatea diferitelor metode de recuperare a căldurii reziduale, contribuind la conservarea energiei.

5. Banc de testare pentru tehnologie de etanșare a fluidelor de gaz

Bancul de testare a tehnologiei de etanșare a fluidului gazos este dedicat studierii și îmbunătățirii performanței de etanșare a echipamentelor utilizate în tratarea gazelor reziduale. Ne ajută să dezvoltăm soluții avansate de etanșare care minimizează scurgerile și asigură siguranța operațională.

Am obținut un succes remarcabil în eforturile noastre de cercetare și dezvoltare, rezultând numeroase brevete și onoruri. Am aplicat pentru un total de 68 de brevete, inclusiv 21 de brevete de invenție, care acoperă componentele critice ale tehnologiilor noastre. Dintre acestea, ni s-au acordat 4 brevete de invenție, 41 de brevete de model de utilitate, 6 brevete de design și 7 drepturi de autor pentru software.

Capacitatea de producție

1. Linie de producție automată de sablare și vopsire din plăci de oțel și profil

Această linie de producție permite tratarea eficientă a suprafeței plăcilor și profilelor de oțel utilizate în fabricarea echipamentelor noastre. Asigură o aderență excelentă a stratului și rezistență la coroziune, rezultând produse durabile și de înaltă calitate.

2. Linie de producție de sablare manuală

Linia de producție de sablare manuală este capabilă să curețe și să pregătească componente mici și complexe pentru prelucrare ulterioară. Oferă un tratament precis și amănunțit al suprafeței, asigurând performanțe optime și longevitate.

3. Echipamente pentru îndepărtarea prafului și protecția mediului

În baza noastră de producție, avem facilități avansate pentru fabricarea echipamentelor de îndepărtare a prafului și de protecție a mediului. Aceste sisteme captează și îndepărtează eficient particulele și gazele dăunătoare, promovând un mediu de lucru curat și sigur.

4. Cabina automată de vopsire

Avem o cabină automată de vopsire de ultimă generație care asigură acoperiri consistente și de înaltă calitate pe echipamentele noastre. Garantează un aspect estetic excelent și rezistență la coroziune, îndeplinind cele mai înalte standarde din industrie.

5. Camera de uscare

Camera noastră de uscare este echipată cu tehnologie avansată pentru a facilita procesul de uscare pentru produsele noastre fabricate. Asigură condiții optime de uscare, conducând la o calitate și performanță superioară a produsului.

Ne invităm clienții să colaboreze cu noi și să beneficieze de expertiza noastră în tratarea gazelor reziduale și tehnologii de economisire a energiei. Iată șase avantaje ale parteneriatului cu noi:

• 1. Cutting-edge R&D capabilities, ensuring innovative and effective solutions.
• 2. Experiență vastă în tratarea gazelor reziduale COV și reducerea carbonului.
• 3. Facilități avansate de cercetare și testare pentru validarea tehnologiei.
• 4. Istoricul dovedit de brevete de succes și realizări tehnice.
• 5. Capacități de producție de înaltă calitate pentru echipamente fiabile și durabile.
• 6. Angajamentul față de protecția mediului și conservarea energiei.

Autor: Miya