반도체 산업용 회수형 열 산화기

소개

반도체 제조에는 유해 가스를 대기 중으로 방출하는 다양한 화학 물질과 용매가 사용됩니다. 이러한 가스는 심각한 환경 문제인 대기 오염의 원인이 됩니다. 이러한 문제를 완화하기 위해 반도체 산업에서는 회수식 산화기(Recuperative Thermal Oxidizer) 사용이 점차 증가하고 있습니다. 회수식 산화기는 제조 공정에서 발생하는 유해 가스와 악취를 무해한 물질로 변환하여 제거하는 오염 제어 장치입니다.

어떻게 회수형 열 산화 장치 일하다?

회수식 열 산화기는 고온을 이용하여 유해 가스를 무해한 물질로 변환합니다. 이 공정은 오염된 공기를 약 740℃(1500℉)까지 가열하면서 적정량의 산소와 혼합하는 과정을 포함합니다. 혼합된 공기는 열교환기를 통과하면서 발생된 열을 회수합니다. 이 열은 유입되는 오염 공기를 예열하는 데 사용되어 원하는 온도에 도달하는 데 필요한 에너지를 절감합니다. 가스는 연소실을 통과하면서 산화되어 이산화탄소, 수증기, 그리고 열로 전환됩니다. 정화된 공기는 대기로 방출되고, 생성된 열은 회수되어 유입되는 공기를 예열하는 데 사용되어 에너지 소비를 절감합니다.

반도체 산업에서 회수형 열 산화기를 사용하는 이점

반도체 제조에 회수형 열 산화제를 사용하면 다음과 같은 여러 가지 이점이 있습니다.

대기 오염 감소: 회수형 열 산화기는 환경으로 배출되는 유해 가스의 양을 줄여 대기 오염을 줄입니다.
규정 준수: 회수형 열 산화제를 사용하면 환경 규정을 준수하는 데 도움이 되며, 규정을 준수하지 않을 경우 부과될 수 있는 벌금을 피할 수 있습니다.
에너지 효율성: 회수형 열 산화기는 에너지 효율적이며, 공정 중에 생성된 열을 회수하여 유입 공기를 예열하는 데 사용할 수 있어 에너지 소비를 줄일 수 있습니다.
비용 절감: 공정 중 발생하는 열을 회수하면 에너지 비용을 상당히 절감할 수 있으므로 회수형 열 산화기는 비용 효율적인 솔루션입니다.
향상된 작업장 안전: 회수형 열 산화제를 사용하면 작업자가 흡입할 경우 위험할 수 있는 유해 가스를 제거하여 작업장 안전이 향상됩니다.

회수형 열 산화 장치의 유형

회수형 열 산화기에는 직접 연소 회수형 열 산화기와 간접 연소 회수형 열 산화기라는 두 가지 주요 유형이 있습니다.

직접 연소식 회수 열 산화기

직접 연소식 회수식 열 산화제는 휘발성 유기 화합물(VOC) 농도가 비교적 높을 때 사용됩니다. 이 공정은 연소실에서 가스를 직접 연소시키고, 생성된 열을 유입 공기를 예열하는 데 사용합니다.

간접 연소식 회수 열 산화기

간접 연소식 열회수 산화기는 VOC 농도가 낮을 때 사용됩니다. 이 공정은 가스를 열교환기를 통과시켜 간접적으로 가열하는 방식입니다. 생성된 열은 유입되는 공기를 예열하는 데 사용됩니다.

결론

열회수식 산화기는 반도체 산업에서 유해 가스 배출을 줄이는 효과적인 솔루션입니다. 이 장치를 사용하면 대기 오염 감소, 규정 준수, 에너지 효율, 비용 절감, 그리고 작업장 안전 향상 등의 이점을 얻을 수 있습니다. 열회수식 산화기는 직접 연소식과 간접 연소식의 두 가지 주요 유형으로, 각각 특정 용도에 따라 사용됩니다. 반도체 제조에 열회수식 산화기를 사용하면 환경 보호에 도움이 될 뿐만 아니라 정부 규정 준수와 작업장 안전 증진에도 도움이 됩니다.

반도체 산업용 회수형 열 산화기

회사 소개

저희는 휘발성 유기 화합물(VOC) 배기가스 종합 처리 및 탄소 저감, 에너지 절감 기술을 전문으로 하는 첨단 제조 기업입니다. 당사의 핵심 기술은 열에너지, 연소, 밀봉, 자동 제어입니다. 온도장 시뮬레이션, 공기 유동장 시뮬레이션 모델링, 세라믹 축열재 성능 분석, 분자체 흡착재 선정, 그리고 VOC 고온 소각 및 산화 실험 시험 분야의 역량을 보유하고 있습니다.

팀의 장점

We have established an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, as well as a 30,000 square meter production base in Yangling. We are a leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve wheel equipment in terms of production and sales volume globally. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute. We currently have over 360 employees, including more than 60 R&D technology backbones, including 3 senior engineers with research-level qualifications, 6 senior engineers, and 55 thermodynamics PhDs.

핵심 제품

당사의 핵심 제품으로는 회전 밸브 열 산화기(RTO)와 분자체 흡착 농축 휠이 있습니다. 환경 보호 및 열에너지 시스템 엔지니어링 분야의 전문성을 결합하여 다양한 운전 조건에서 산업 배기가스 처리, 탄소 저감 및 열에너지 활용을 위한 종합적인 솔루션을 고객에게 제공합니다.