La fabrication des semi-conducteurs implique l'utilisation de divers produits chimiques et solvants qui émettent des gaz nocifs dans l'atmosphère. Ces gaz contribuent à la pollution atmosphérique, un problème environnemental majeur. Pour atténuer ce problème, l'industrie des semi-conducteurs utilise de plus en plus d'oxydateurs thermiques récupératifs. Ces dispositifs de dépollution détruisent les gaz nocifs et les odeurs émis lors du processus de fabrication en les convertissant en substances inoffensives.
Un oxydateur thermique à récupération de chaleur utilise les hautes températures pour convertir les gaz nocifs en substances inoffensives. Le procédé consiste à chauffer l'air pollué à environ 815 °C (1500 °F) tout en le mélangeant à une quantité adéquate d'oxygène. Le mélange passe ensuite dans un échangeur de chaleur qui récupère la chaleur générée. Cette chaleur est alors utilisée pour préchauffer l'air pollué entrant, réduisant ainsi la quantité d'énergie nécessaire pour atteindre la température souhaitée. Lors de leur passage dans la chambre de combustion, les gaz sont oxydés et transformés en dioxyde de carbone, en vapeur d'eau et en chaleur. L'air purifié est rejeté dans l'atmosphère, tandis que la chaleur produite peut être récupérée et utilisée pour préchauffer l'air entrant, réduisant ainsi la consommation d'énergie.
L'utilisation d'oxydants thermiques récupératifs dans la fabrication de semi-conducteurs présente plusieurs avantages, notamment :
Il existe deux principaux types d'oxydants thermiques récupératifs : l'oxydant thermique récupératif à combustion directe et l'oxydant thermique récupératif à combustion indirecte.
Les oxydateurs thermiques à récupération de chaleur à combustion directe sont utilisés lorsque la concentration de composés organiques volatils (COV) est relativement élevée. Le procédé consiste à brûler les gaz directement dans la chambre de combustion, et la chaleur produite est utilisée pour préchauffer l'air entrant.
Les oxydateurs thermiques à récupération de chaleur à combustion indirecte sont utilisés lorsque la concentration de COV est faible. Le procédé consiste à chauffer les gaz indirectement en les faisant passer dans un échangeur de chaleur. La chaleur ainsi produite est ensuite utilisée pour préchauffer l'air entrant.
Les oxydateurs thermiques à récupération constituent une solution efficace pour réduire les émissions de gaz nocifs dans l'industrie des semi-conducteurs. Leur utilisation présente plusieurs avantages : réduction de la pollution atmosphérique, conformité réglementaire, efficacité énergétique, économies de coûts et amélioration de la sécurité au travail. Il existe deux principaux types d'oxydateurs thermiques à récupération : à combustion directe et à combustion indirecte, chacun ayant ses propres applications. L'adoption de ces oxydateurs dans la fabrication des semi-conducteurs contribue non seulement à la protection de l'environnement, mais garantit également le respect des réglementations gouvernementales et favorise la sécurité au travail.
Nous sommes une entreprise de fabrication de haute technologie spécialisée dans le traitement complet des gaz d'échappement contenant des composés organiques volatils (COV), la réduction des émissions de carbone et les technologies d'économie d'énergie. Nos technologies clés comprennent l'énergie thermique, la combustion, l'étanchéité et le contrôle automatique. Nous maîtrisons la simulation des champs de température et d'écoulement d'air, l'évaluation des performances des matériaux de stockage de chaleur céramiques, la sélection des matériaux d'adsorption par tamis moléculaire, ainsi que les essais expérimentaux d'incinération et d'oxydation à haute température des COV.
We have established an RTO technology research and development center and an exhaust gas carbon reduction engineering technology center in Xi’an, as well as a 30,000 square meter production base in Yangling. We are a leading manufacturer of RTO equipment and molecular sieve wheel equipment in terms of production and sales volume globally. Our core technical team comes from the Aerospace Liquid Rocket Engine Research Institute. We currently have over 360 employees, including more than 60 R&D technology backbones, including 3 senior engineers with research-level qualifications, 6 senior engineers, and 55 thermodynamics PhDs.
Nos principaux produits comprennent l'oxydateur thermique à vanne rotative (RTO) et la roue de concentration par adsorption sur tamis moléculaire. Grâce à notre expertise en protection de l'environnement et en ingénierie des systèmes d'énergie thermique, nous proposons à nos clients des solutions complètes pour le traitement des gaz d'échappement industriels, la réduction des émissions de carbone et la valorisation de l'énergie thermique dans diverses conditions d'exploitation.
Explication:
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Nous sommes un fournisseur de solutions unique avec une équipe professionnelle dédiée à la personnalisation des solutions RTO pour nos clients.
Auteur : Miya
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